1 Paraiméadair feidhmíochta tar éis sciath
San alt roimhe seo, thugamar isteach feidhmeanna, prionsabail, bogearraí deartha agus teicnící sciath coitianta scannáin tanaí optúla. San Airteagal seo, tugaimid isteach tástáil paraiméadair iar-sciath. Áirítear ar pharaiméadair feidhmíochta dromchla an chomhpháirt tar éis sciath an Tarchur (Tarchur), Frithchaitheamh (R), Ionsúite (A), etc. Ina theannta sin, an ionsú (Tarchur) agus mar sin de. Ní mór an tréith scaipthe S (scaipthe) de dhromchla an scannáin a thástáil agus a anailísiú freisin.
Is é an tarchur T an cóimheas idir an fuinneamh déine solais a théann tríd an scannán agus an fuinneamh solais teagmhais. Is é an frithchaitheamh R an cóimheas idir an fuinneamh déine a léirítear ag dromchla an sciath leis an bhfuinneamh teagmhais. Is é ionsú A an cóimheas idir an fuinneamh solais a ghlacann an ciseal scannáin leis an bhfuinneamh solais eachtra. Maidir leis na trí pharaiméadar seo, tá na caidrimh seo a leanas ann:
T+R+A=1
Is é sin, is é an tairiseach suim an tarchurtha, an fhrithchaiteacht agus an ionsú na ciseal scannáin ná an tairiseach 1. Ciallaíonn sé seo, tar éis don bhíoma solais dul tríd an membrane, go ndéantar cuid de a rith, go léirítear cuid de ar shiúl, agus an chuid eile. Tá absorbed ag an scannán.
Ar anchomhpháirt optúillíníochtaí, is gá tarchur nó frithchaiteacht an dromchla scannáin de ghnáth, agus is gá an raon speictreach agus uillinn minicíochta faoi staid an iarratais a shainiú go soiléir. Má tá gá le polarú freisin, is gá raon na stáit polaraithe a shainiú go soiléir. Mar shampla, is iad na ceanglais sciath san fhigiúr thíos ná go gcaithfidh an frithchaiteacht a bheith níos lú ná 88% ag minicíocht 45 céim ag 770nm, agus ag 550nm, ní gá go mbeadh an tarchur níos lú ná 70% ag minicíocht 45 céim.
Chomh maith leis na hairíonna optúla thuas, ní mór airíonna meicniúla agus ceimiceacha an chiseal scannáin optúla a mheas freisin, lena n-áirítear friotaíocht caitheamh, daingean, tuaslagthacht na ciseal scannáin. Ina theannta sin, ní mór cáilíocht an dromchla optúil tar éis sciath a mheas freisin, lena n-áirítear na ceanglais maidir le pitting, scratches, dirt, stains, etc.
2 Prionsabal an speictreafótaiméadar
Sa pháipéar seo, dírímid ar airíonna optúla na modhanna tástála scannáin chun na príomh-speictrophotometer (Spectrophotometer) agus Ellipsometer (Ellipsometer) a thabhairt isteach, go praiticiúil, chun na paraiméadair scannáin a thástáil, is féidir le speictrophotometer tréithe tarchurtha, frithchaiteacht agus ionsú optúla a thástáil. táirgí. Is féidir leis an éilipsiméadar tiús agus tréithe polaraithe an chiseal scannáin a thomhas, agus tá prionsabal an dá chomhchosúil.
Is féidir struchtúr feiste den sórt sin a roinnt ina dhá chuid den chainéal giniúna bhíoma agus an cainéal glactha bhíoma, nuair is gá tarchur na comhpháirte a thástáil, cuirtear an chomhpháirt i lár an dá chainéal, ionas go mbeidh an bhíoma Téann tríd an sampla, nuair is gá frithchaiteacht an chomhpháirte a thástáil, cuirtear an chomhpháirt ar an taobh céanna den dá chainéal, ionas go mbeidh an bhíoma léirithe ag an sampla. Mar shampla, léirítear san fhigiúr seo a leanas prionsabal speictreafótaiméadar chun tarchur samplach a thomhas:
Sa fhigiúr thuas, is é an taobh clé an cainéal giniúna bhíoma, ag baint úsáide as foinse solais speictrim leathan chun solas a astú, agus ansin trí scoilteadh an ghríl agus roghnú an scoilt, aschur tonnfhad solais ar leith, téann an bhíoma tríd. an collimator 1, thiocfaidh chun bheith ina bhíoma collimated, agus ansin téann tríd an polarizer is féidir a rothlú an Uillinn, a thiocfaidh chun bheith ina solas polaraithe, agus tá an solas polaraithe roinnte ina 2 bhíoma ag an speictreascóp tar éis an collimator 2 a bhailiú. Léirítear beam solais isteach sa bhrathadóir tagartha, áit a n-úsáidtear an bhíoma solais bailithe mar thagairt chun an sruth fuinnimh a cheartú mar gheall ar luaineachtaí na foinse solais, agus téann léas solais eile tríd an sampla, athmhúnlú ag collimator 3 agus collimator. 4, agus téann sé isteach sa bhrathadóir ag an taobh deas den tástáil. Sa tástáil iarbhír, faightear dhá luach fuinnimh tríd an sampla tástála a chur isteach agus a thógáil amach, agus is féidir tarchur an tsampla a fháil tríd an bhfuinneamh a chur i gcomparáid.
Tá prionsabal an éilipsiméadar cosúil le prionsabal an speictrophotometer thuas, ach amháin go gcuirtear pláta tonn rothlach 1/4 mar eilimint cúitimh sa chainéal seolta beam agus sa chainéal glactha, agus cuirtear polarizer freisin sa chainéal glactha. , ionas gur féidir anailís a dhéanamh ar shaintréithe polaraithe an tsampla ar bhealach níos solúbtha. I gcásanna áirithe, úsáidfidh an éilipsiméadar foinse solais speictrim leathan go díreach, agus glacfaidh sé speictriméadar slit agus scoilteoir ag an deireadh glactha, in éineacht le brathadóir eagar líneach, chun tástáil feidhmíochta an chomhpháirte a bhaint amach.
3. Tástáil ar tharchur
Sa tástáil tarchurtha, chun machnamh an bhrathadóra a fhaigheann an bhíoma solais a sheachaint, is minic a úsáidtear an sféar comhtháthaithe mar ghlacadóir, léirítear an prionsabal mar seo a leanas:
Mar atá le feiceáil ón bhfigiúr thuas, is é an sféar comhtháthaithe ná sféar cuas atá brataithe le hábhar sciath machnaimh idirleata bán ar an mballa istigh, agus tá poll fuinneoige ar an mballa liathróid, a úsáidtear mar pholl solais an tsolais eachtra. agus poll glactha an bhrathadóra solais. Ar an mbealach seo, léirítear an solas ag dul isteach sa sféar comhtháthaithe arís agus arís eile tríd an sciath balla istigh, ag cruthú soilsiú aonfhoirmeach ar an mballa istigh, agus faigheann an brathadóir é.
Mar shampla, taispeántar thíos struchtúr feiste a úsáidtear chun tarchur pláta optúil a thástáil
San fhigiúr thuas, cuirtear an sampla tástáladh ar tábla coigeartaithe is féidir a aistriú sna treoracha x agus y. Is féidir tarchur an tsampla a thástáil ag aon suíomh trí rialú ríomhaire ar an tábla coigeartaithe. Is féidir dáileadh tarchuradais na gloine comhréidh ar fad a fháil freisin trí thástáil scanadh, agus braitheann réiteach na tástála ar mhéid spot an bhíoma.
4. Tástáil machnamhach
Chun frithchaiteacht scannáin optúla a thomhas, de ghnáth tá dhá bhealach ann, is é ceann amháin tomhas coibhneasta agus is tomhas iomlán an ceann eile. Éilíonn an modh tomhais coibhneasta frithchaiteoir a bhfuil frithchaitheamh aitheanta air a úsáid mar thagairt le haghaidh tástála comparáide. Go praiticiúil, is gá frithchaitheamh an scátháin tagartha a chalabrú go rialta le dul in aois nó éilliú na ciseal scannáin. Dá bhrí sin, tá earráidí tomhais féideartha ag an modh seo. Éilíonn an modh tomhais frithchaiteachta absalóideach go gcalabrófar frithchaiteacht na feiste tástála gan an sampla a chur. Sa fhigiúr thíos, tugtar struchtúr an fheiste VW clasaiceach chun tomhas iomlán frithchaiteacht an tsampla a bhaint amach:
Taispeánann an figiúr ar chlé san fhíor thuas struchtúr V-chruthach comhdhéanta de thrí scáthán, M1, M2 agus M3. Ar dtús, déantar an luach déine solais sa mhodh seo a thástáil agus a thaifeadadh mar P1. Ansin, sa fhigiúr ceart, cuirtear an sampla faoi thástáil isteach, agus rothlaíonn an scáthán M2 go dtí an suíomh barr chun struchtúr W-chruthach a fhoirmiú. Is féidir frithchaiteacht iomlán an tsampla tomhaiste a fháil. Is féidir an gléas seo a fheabhsú freisin, mar shampla, tá an sampla faoi thástáil feistithe freisin le tábla rothlach neamhspleách, ionas gur féidir an sampla faoi thástáil a rothlú go dtí aon Uillinn, tríd an scáthán M2 a rothlú go dtí an suíomh machnaimh comhfhreagrach, chun an aschur bíoma, ionas gur féidir frithchaiteacht an tsampla a thástáil ar iluillinneacha.
Mar shampla, taispeántar thíos struchtúr feiste a úsáidtear chun frithchaiteacht pláta optúil a thástáil:
San fhigiúr thuas, cuirtear an sampla tástáladh ar an tábla coigeartaithe aistriúcháin x/y, agus is féidir frithchaiteacht an tsampla a thástáil ag aon suíomh trí rialú ríomhaire an tábla coigeartaithe. Tríd an tástáil scanadh, is féidir léarscáil dáileadh frithchaiteachais na gloine comhréidh ar fad a fháil freisin.
Teagmháil:
Email:jasmine@pliroptics.com ;
Fón/Whatsapp/Wechat:86 19013265659
láithreán gréasáin: www.pliroptics.com
Cuir: Foirgneamh 1, Uimh.1558, bóthar faisnéise, qingbaijiang, chengdu, sichuan, an tSín
Am poist: Aibreán-23-2024
