1 Cov ntsiab lus ntawm cov yeeb yaj kiab kho qhov muag
Hauv tsab xov xwm no, peb yuav qhia txog cov hauv paus ntsiab lus ntawm cov yeeb yaj kiab optical nyias, feem ntau siv software tsim thiab txheej txheej tshuab.
Lub hauv paus ntsiab lus ntawm vim li cas cov yeeb yaj kiab kho qhov muag tuaj yeem ua tiav cov haujlwm tshwj xeeb xws li kev tiv thaiv kev cuam tshuam, kev xav tau siab lossis lub teeb pom kev yog qhov nyias-zaj duab xis cuam tshuam ntawm lub teeb. Cov yeeb yaj kiab nyias feem ntau yog tsim los ntawm ib lossis ntau pawg ntawm cov khoom siv hluav taws xob siab refractive index cov txheej txheem thiab cov khoom siv qis refractive index cov txheej txheem hloov pauv. Cov ntaub ntawv txheej zaj duab xis no feem ntau yog oxides, hlau lossis fluorides. Los ntawm kev teeb tsa tus naj npawb, tuab thiab cov txheej txheem sib txawv ntawm cov yeeb yaj kiab, qhov sib txawv ntawm qhov ntsuas qhov ntsuas ntawm cov khaubncaws sab nraud povtseg tuaj yeem tswj qhov cuam tshuam ntawm cov kab teeb ntawm lub teeb ntawm cov txheej txheem kom tau txais cov haujlwm uas yuav tsum tau ua.
Cia peb ua ib qho kev tiv thaiv kev cuam tshuam los ua piv txwv los piav qhia qhov tshwm sim no. Txhawm rau kom ua tiav lossis txo qhov cuam tshuam, qhov kho qhov muag tuab ntawm txheej txheej feem ntau yog 1/4 (QWOT) lossis 1/2 (HWOT). Nyob rau hauv daim duab hauv qab no, lub refractive index ntawm qhov teeb meem nruab nrab yog n0, thiab lub refractive index ntawm lub substrate yog ns. Yog li ntawd, ib daim duab ntawm qhov refractive index ntawm cov khoom siv zaj duab xis uas tuaj yeem tsim kev cuam tshuam kev tshem tawm tuaj yeem raug xam. Lub teeb beam reflected los ntawm sab saum toj ntawm cov zaj duab xis txheej yog R1, lub teeb beam reflected los ntawm sab saum toj ntawm zaj duab xis yog R2. Thaum lub optical thickness ntawm zaj duab xis yog 1/4 wavelength, optical txoj kev sib txawv ntawm R1 thiab R2 yog 1/2 wavelength, thiab cov xwm txheej cuam tshuam tau ntsib, yog li tsim kev cuam tshuam kev cuam tshuam. Phem.
Nyob rau hauv no txoj kev, qhov kev siv ntawm lub reflected beam ua heev me me, yog li ua tiav lub hom phiaj ntawm anti-reflection.
2 Optical nyias zaj duab xis tsim software
Txhawm rau pab txhawb cov kws tshaj lij los tsim cov tshuab ua yeeb yaj kiab uas ua tau raws li ntau yam haujlwm tshwj xeeb, nyias zaj duab xis tsim software tau tsim. Tus tsim software integrates feem ntau siv txheej cov ntaub ntawv thiab lawv tsis, zaj duab xis txheej simulation thiab optimization algorithms thiab tsom xam functions, ua rau nws yooj yim rau cov kws kho mob los tsim thiab txheeb xyuas. Ntau yam kev ua yeeb yaj kiab. Feem ntau siv zaj duab xis tsim software yog raws li nram no:
A.TFCalc
TFCalc yog ib qho cuab yeej siv thoob ntiaj teb rau kev tsim kho qhov muag pom thiab tsom xam. Nws tuaj yeem siv los tsim ntau hom kev tiv thaiv kev cuam tshuam, kev cuam tshuam siab, bandpass, spectroscopic, theem thiab lwm yam kev ua yeeb yaj kiab. TFCalc tuaj yeem tsim cov txheej txheem ua yeeb yaj kiab ob sab ntawm lub substrate, nrog txog li 5,000 zaj duab xis txheej ntawm ib qho chaw. Nws txhawb cov tswv yim ntawm zaj duab xis pawg qauv thiab tuaj yeem simulate ntau hom teeb pom kev zoo: xws li lub khob hliav qab, random radiation kab teeb, thiab lwm yam. Secondly, lub software muaj tej yam optimization functions, thiab siv tau txoj kev xws li huab nqi thiab variational txoj kev optimize lub reflectivity, transmittance, absorbance, theem, ellipsometry tsis thiab lwm lub hom phiaj ntawm zaj duab xis system. Lub software integrates ntau yam kev tsom xam functions, xws li reflectivity, transmittance, absorbance, ellipsometry parameter tsom xam, hluav taws xob teb siv faib nkhaus, zaj duab xis system xav txog thiab kis xim tsom xam, siv lead ua tswj nkhaus xam, zaj duab xis txheej kam rau ua thiab rhiab heev tsom xam, Yield tsom, thiab lwm yam. Lub lag luam interface ntawm TFCalc yog raws li nram no:
Nyob rau hauv lub lag luam interface qhia saum toj no, los ntawm inputting parameters thiab ciam teb tej yam kev mob thiab optimizing, koj yuav tau txais ib tug zaj duab xis system raws li koj xav tau. Kev ua haujlwm yog qhov yooj yim thiab siv tau yooj yim.
B. Essential Macleod
Essential Macleod yog qhov ua tiav qhov kev tshuaj ntsuam xyuas zaj duab xis thiab tsim software pob nrog ntau cov ntaub ntawv ua haujlwm tiag tiag. Nws tuaj yeem ua tau raws li ntau yam kev xav tau hauv kev tsim kho qhov muag, los ntawm cov yeeb yaj kiab ib txheej yooj yim mus rau cov yeeb yaj kiab spectroscopic nruj. , nws tseem tuaj yeem ntsuas qhov sib txawv wavelength division multiplexing (WDM) thiab ntom wavelength division multiplexing (DWDM) lim. Nws tuaj yeem tsim los ntawm kos lossis txhim kho cov qauv uas twb muaj lawm, thiab tuaj yeem tshawb xyuas qhov yuam kev hauv kev tsim. Nws yog nplua nuj hauv kev ua haujlwm thiab muaj zog.
Tus tsim interface ntawm lub software yog qhia nyob rau hauv daim duab hauv qab no:
C. OptiLayer
OptiLayer software txhawb nqa tag nrho cov txheej txheem ntawm optical nyias zaj duab xis: tsis - tsim - ntau lawm - inversion tsom xam. Nws suav nrog peb ntu: OptiLayer, OptiChar, thiab OptiRE. Kuj tseem muaj OptiReOpt dynamic link tsev qiv ntawv (DLL) uas tuaj yeem txhim kho cov haujlwm ntawm cov software.
OptiLayer tshuaj xyuas qhov kev ntsuam xyuas kev ua haujlwm los ntawm kev tsim mus rau lub hom phiaj, ua tiav lub hom phiaj tsim los ntawm kev ua kom zoo dua qub, thiab ua haujlwm ua ntej kev tsim khoom yuam kev. OptiChar tshuaj xyuas qhov sib txawv ntawm cov khoom txheej txheej spectral yam ntxwv thiab nws cov yam ntxwv ntsuas spectral nyob rau hauv ntau yam tseem ceeb nyob rau hauv nyias zaj duab xis txoj kev xav, thiab tau txais ib tug zoo dua thiab tiag tiag txheej txheej qauv thiab cov kev cuam tshuam ntawm txhua yam ntawm cov qauv tam sim no, taw qhia txog kev siv dab tsi. yam yuav tsum tau xav txog thaum tsim cov txheej txheem no? OptiRE tshuaj xyuas cov yam ntxwv spectral ntawm tus qauv tsim thiab cov yam ntxwv spectral ntawm tus qauv ntsuas kev sim tom qab tsim khoom. Los ntawm engineering inversion, peb tau txais qee qhov yuam kev tsim tawm thaum lub sijhawm tsim khoom thiab pub lawv rov qab rau cov txheej txheem tsim khoom los coj kev tsim khoom. Cov qauv saum toj no tuaj yeem txuas los ntawm kev sib txuas ntawm lub tsev qiv ntawv muaj nuj nqi, yog li paub txog cov haujlwm xws li tsim, hloov kho thiab saib xyuas lub sijhawm tiag tiag hauv cov txheej txheem los ntawm kev tsim zaj duab xis mus rau ntau lawm.
3 Txheej technology
Raws li kev sib txawv ntawm cov txheej txheem plating, nws tuaj yeem muab faib ua ob pawg: chemical txheej tshuab thiab lub cev txheej tshuab. Cov txheej txheem tshuaj lom neeg feem ntau yog muab faib ua immersion plating thiab txau plating. Cov thev naus laus zis no muaj kuab paug ntau dua thiab muaj kev ua yeeb yaj kiab tsis zoo. Nws yog maj mam hloov los ntawm ib tiam tshiab ntawm lub cev txheej tshuab. Lub cev txheej yog nqa tawm los ntawm lub tshuab nqus tsev evaporation, ion plating, thiab lwm yam. Nqus txheej yog ib txoj kev ntawm evaporating (los yog sputtering) hlau, tebchaw thiab lwm yam ntaub ntawv zaj duab xis nyob rau hauv lub nqus tsev vacuum tso rau ntawm lub substrate yuav coated. Nyob rau hauv ib puag ncig lub tshuab nqus tsev, cov khoom siv txheej txheej muaj tsawg dua impurities, uas tuaj yeem tiv thaiv oxidation ntawm cov khoom nto thiab pab kom cov spectral uniformity thiab thickness sib xws ntawm zaj duab xis, yog li nws yog dav siv.
Nyob rau hauv ib txwm muaj, 1 atmospheric siab yog hais txog 10 mus rau lub hwj chim ntawm 5 Pa, thiab cov huab cua siab yuav tsum tau rau lub tshuab nqus tsev txheej yog feem ntau 10 mus rau lub hwj chim ntawm 3 Pa thiab siab dua, uas belongs rau lub tshuab nqus tsev txheej. Hauv lub tshuab nqus tsev, qhov chaw ntawm cov khoom siv kho qhov muag yuav tsum tau huv heev, yog li lub tshuab nqus tsev lub sijhawm ua haujlwm kuj yuav tsum tau huv heev. Tam sim no, txoj hauv kev kom tau txais lub tshuab nqus tsev huv si feem ntau yog siv lub tshuab nqus tsev. Roj diffusion twj, Lub twj tso kua mis molecular lossis condensation twj tso kua mis yog siv los rho tawm lub tshuab nqus tsev thiab tau txais lub tshuab nqus tsev siab. Roj diffusion twj xav tau dej txias thiab lub twj tso kua mis rov qab. Lawv yog cov loj loj thiab siv lub zog siab, uas yuav ua rau muaj kuab paug rau txheej txheej txheej txheej. Molecular twj feem ntau xav tau lub twj tso kua mis rov qab los pab lawv txoj haujlwm thiab kim. Piv txwv li, condensation twj tso kua mis tsis ua rau muaj kuab paug. , tsis xav tau lub twj tso kua mis rov qab, muaj kev ua haujlwm siab thiab kev ntseeg tau zoo, yog li nws yog qhov tsim nyog tshaj plaws rau cov tshuab nqus tsev kho qhov muag. Sab hauv chamber ntawm lub tshuab nqus tsev sib xyaw yog qhia hauv daim duab hauv qab no:
Nyob rau hauv lub tshuab nqus tsev txheej, cov ntaub ntawv zaj duab xis yuav tsum tau rhuab mus rau ib tug gaseous lub xeev thiab ces muab tso rau saum npoo ntawm substrate los tsim ib zaj duab xis txheej. Raws li cov txheej txheem sib txawv, nws tuaj yeem muab faib ua peb hom: thermal evaporation cua sov, sputtering cua sov thiab ion plating.
Thermal evaporation cua sov feem ntau yog siv cov hlau tsis muaj zog los yog siab zaus induction kom sov lub crucible, thiaj li hais tias cov ntaub ntawv nyob rau hauv lub crucible yog rhuab thiab vaporized los tsim ib txheej.
Sputtering cua sov muab faib ua ob hom: ion beam sputtering cua sov thiab magnetron sputtering cua sov. Ion beam sputtering cua sov siv ib rab phom ion kom emit ion beam. Lub ion beam bombards lub hom phiaj ntawm ib tug tej yam tshwm sim lub kaum sab xis thiab sputters tawm nws nto txheej. atoms, uas tso rau saum npoo ntawm substrate los ua ib zaj duab xis nyias. Lub ntsiab qhov tsis zoo ntawm ion beam sputtering yog qhov chaw tawg ntawm lub hom phiaj ntawm qhov chaw me me dhau lawm thiab feem ntau ntawm cov deposition feem ntau tsawg. Magnetron sputtering cua sov txhais tau hais tias cov hluav taws xob nrawm rau ntawm lub substrate nyob rau hauv qhov kev txiav txim ntawm hluav taws xob teb. Thaum cov txheej txheem no, electrons tsoo nrog argon gas atoms, ionizing ntau ntawm argon ions thiab electrons. Cov electrons ya mus rau lub substrate, thiab argon ions yog rhuab los ntawm hluav taws xob teb. Lub hom phiaj yog nrawm thiab foob pob nyob rau hauv qhov kev txiav txim ntawm lub hom phiaj, thiab lub hom phiaj nruab nrab atoms nyob rau hauv lub hom phiaj yog tso rau ntawm lub substrate los tsim ib zaj duab xis. Magnetron sputtering yog tus cwj pwm los ntawm kev tsim cov yeeb yaj kiab siab, qis substrate kub, zoo zaj duab xis adhesion, thiab tuaj yeem ua tiav thaj tsam loj.
Ion plating yog hais txog ib txoj hauv kev uas siv cov pa tawm mus rau ib nrab ionize roj lossis cov khoom evaporated, thiab tso cov khoom evaporated rau ntawm lub substrate nyob rau hauv lub bombardment ntawm cov roj ions los yog evaporated ions. Ion plating yog kev sib xyaw ntawm lub tshuab nqus tsev vacuum thiab sputtering tshuab. Nws muab cov txiaj ntsig zoo ntawm cov txheej txheem evaporation thiab sputtering thiab tuaj yeem coated workpieces nrog cov txheej txheem ua yeeb yaj kiab.
4 Kev xaus
Nyob rau hauv tsab xov xwm no, peb thawj zaug qhia txog cov hauv paus ntsiab lus ntawm optical films. Los ntawm kev teeb tsa tus naj npawb thiab tuab ntawm zaj duab xis thiab qhov sib txawv ntawm qhov ntsuas qhov sib txawv ntawm cov txheej txheem zaj duab xis sib txawv, peb tuaj yeem ua tiav qhov cuam tshuam ntawm lub teeb kab nruab nrab ntawm cov yeeb yaj kiab txheej, yog li tau txais cov txheej txheem zaj duab xis yuav tsum tau ua. Kab lus no ces qhia txog kev siv zaj duab xis tsim software los muab txhua tus nkag siab ua ntej ntawm kev tsim zaj duab xis. Hauv qhov thib peb ntawm tsab xov xwm, peb muab cov ncauj lus kom ntxaws txog txheej txheej txheej txheem, tsom mus rau lub tshuab nqus tsev txheej tshuab uas tau siv dav hauv kev xyaum. Kuv ntseeg tias dhau los ntawm kev nyeem cov kab lus no, txhua tus neeg yuav muaj kev nkag siab zoo dua ntawm cov txheej txheem kho qhov muag. Nyob rau hauv tsab xov xwm tom ntej no, peb yuav muab cov txheej txheem kuaj txheej txheem ntawm cov txheej txheem coated, yog li nyob twj ywm.
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