1 Қаптаудан кейінгі өнімділік параметрлері
Алдыңғы мақалада біз оптикалық жұқа пленкалардың функцияларын, принциптерін, дизайн бағдарламалық жасақтамасын және жалпы бояу әдістерін таныстырдық. Бұл мақалада біз жабудан кейінгі параметрлерді сынауды енгіземіз. Компонент бетінің жабудан кейінгі өнімділік параметрлеріне Өткізу (өткізу), шағылыстыру (R), сіңіру (A) және т.б. кіреді. Сонымен қатар, сіңіру (өткізу) және т.б. Пленка бетінің шашырау сипаттамасы S (Scatter) де сыналуды және талдауды қажет етеді.
Өткізгіштік T – пленка арқылы өтетін жарық интенсивтілігі энергиясының түскен жарық энергиясына қатынасы. Шағылыстыру R – бұл жабынның бетінде шағылған қарқындылық энергиясының түскен энергияға қатынасы. Абсорбция А – қабықша қабаты жұтқан жарық энергиясының түскен жарық энергиясына қатынасы. Осы үш параметр үшін келесі байланыстар бар:
T + R + A = 1
Яғни пленка қабатының өткізгіштігінің, шағылыстыруының және жұтуының қосындысы тұрақты 1. Бұл жарық сәулесі мембранадан өткеннен кейін оның бір бөлігі өтеді, бір бөлігі шағылысып, қалған бөлігі мембрана арқылы сіңіріледі.
бойыншаоптикалық компонентсызбаларда пленка бетінің өткізгіштігі немесе шағылыстыру қабілеті әдетте талап етіледі және қолдану жағдайындағы спектрлік диапазон мен түсу бұрышы нақты анықталуы керек. Егер поляризация қажет болса, поляризация күйлерінің ауқымын нақты анықтау қажет. Мысал ретінде төмендегі суреттегі жабынға қойылатын талаптар 770 нм кезінде 45 градустық жиілікте шағылысу 88% кем болмауы керек және 550 нм кезінде 45 градустық жиілікте өткізгіштік 70% кем болмауы керек.
Жоғарыда көрсетілген оптикалық қасиеттерден басқа, оптикалық қабықша қабатының механикалық және химиялық қасиеттерін де ескеру қажет, соның ішінде қабықша қабатының тозуға төзімділігі, қаттылығы, ерігіштігі. Сонымен қатар, жабудан кейінгі оптикалық бетінің сапасын да ескеру қажет, оның ішінде шұңқырларға, сызаттарға, ластануға, дақтарға және т.б.
2 Спектрофотометрдің жұмыс істеу принципі
Бұл жұмыста біз пленканы сынау әдістерінің оптикалық қасиеттеріне тоқталамыз, іс жүзінде негізгі спектрофотометрді (Спектрофотометр) және пленка параметрлерін сынау үшін эллипсометрді (эллипсометр), спектрофотометр оптикалық заттардың өткізгіштік, шағылыстыру және сіңіру сипаттамаларын тексере алады. өнімдер. Эллипсометр пленка қабатының қалыңдығын және поляризациялық сипаттамаларын өлшей алады және екеуінің принципі ұқсас.
Мұндай құрылғының құрылымын екі бөлікке бөлуге болады сәулені генерациялау арнасы және сәулені қабылдау арнасы, құрамдас бөліктің өткізгіштігін тексеру қажет болғанда, компонент екі арнаның ортасына орналастырылады, осылайша сәуле үлгі арқылы өтеді, құрамдас бөліктің шағылыстыру қабілетін тексеру қажет болғанда, компонент екі арнаның бір жағына орналастырылады, осылайша сәуле үлгі арқылы шағылысады. Мысал ретінде үлгінің өткізгіштігін өлшеуге арналған спектрофотометрдің принципі келесі суретте көрсетілген:
Жоғарыдағы суретте сол жақ ұшы жарық шығару үшін кең спектрлі жарық көзін пайдаланып, сәулені генерациялау арнасы болып табылады, содан кейін торды бөлу және саңылауды таңдау арқылы жарықтың белгілі бір толқын ұзындығын шығарады, сәуле арқылы өтеді. коллиматор 1, коллиматорлық сәулеге айналады, содан кейін бұрышты айналдыра алатын поляризатор арқылы өтіп, поляризацияланған жарыққа айналады және поляризацияланған жарық коллиматор 2 жиналғаннан кейін спектроскоппен 2 сәулеге бөлінеді. Жарық сәулесі эталондық детекторға шағылысады, онда жиналған жарық сәулесі жарық көзінің ауытқуына байланысты энергияның ауытқуын түзету үшін сілтеме ретінде пайдаланылады, ал басқа жарық сәулесі үлгі арқылы өтеді, коллиматор 3 және коллиматор арқылы пішінін өзгертеді. 4 және сынақтың оң жақ шетіндегі детекторға кіреді. Нақты сынақта сыналған үлгіні енгізу және шығару арқылы екі энергия мәні алынады, ал үлгінің өткізгіштігін энергияны салыстыру арқылы алуға болады.
Эллипсометрдің жұмыс істеу принципі жоғарыда аталған спектрофотометрдің принципіне ұқсас, тек сәулені жіберу және қабылдау арнасында компенсациялық элемент ретінде айналмалы 1/4 толқындық пластина қосылады, ал қабылдау арнасында поляризатор қосылады. , осылайша үлгінің поляризация сипаттамаларын икемді түрде талдауға болады. Кейбір жағдайларда эллипсометр сонымен қатар кең спектрлі жарық көзін тікелей пайдаланады және құрамдас бөліктің өнімділігін тексеруге қол жеткізу үшін сызықтық массив детекторымен біріктірілген қабылдау ұшында саңылау және бөлу спектрометрін қабылдайды.
3. Өткізгіштік сынағы
Өткізгіштік сынағы кезінде жарық сәулесін қабылдайтын детектордың шағылысуын болдырмау үшін қабылдағыш ретінде интеграциялық сфера жиі пайдаланылады, принцип келесідей көрсетіледі:
Жоғарыдағы суреттен көрініп тұрғандай, интегралдаушы сфера ішкі қабырғасында ақ диффузды шағылысатын жабын материалымен қапталған қуысты шар болып табылады, ал шар қабырғасында түскен жарықтың жарық тесігі ретінде пайдаланылатын терезе тесігі бар. және жарық детекторының қабылдау тесігі. Осылайша, интеграциялық сфераға түсетін жарық ішкі қабырға жабыны арқылы бірнеше рет шағылысып, ішкі қабырғада біркелкі жарықтандыруды қалыптастырады және детектормен қабылданады.
Мысал ретінде оптикалық пластинаның өткізгіштігін тексеру үшін қолданылатын құрылғының құрылымы төменде көрсетілген
Жоғарыдағы суретте сыналған үлгі х және у бағыттарында жылжытуға болатын реттеу үстеліне орналастырылған. Үлгінің өткізгіштігін реттеу кестесін компьютерлік басқару арқылы кез келген позицияда тексеруге болады. Бүкіл жалпақ әйнектің өткізгіштігінің таралуын сканерлеу сынағы арқылы да алуға болады, ал сынақтың рұқсаты сәуленің нүкте өлшеміне байланысты.
4. Рефлексия тесті
Оптикалық пленканың шағылыстыру қабілетін өлшеу үшін әдетте екі әдіс бар, біреуі салыстырмалы өлшеу, екіншісі абсолютті өлшеу. Салыстырмалы өлшеу әдісі салыстыру сынағы үшін анықтама ретінде пайдалану үшін белгілі шағылысу қабілеті бар рефлекторды қажет етеді. Тәжірибеде эталондық айнаның шағылысуы пленка қабатының қартаюына немесе ластануына байланысты жүйелі түрде калибрлеуді қажет етеді. Сондықтан бұл әдісте ықтимал өлшеу қателері бар. Абсолютті шағылыстыруды өлшеу әдісі сынақ құрылғысының шағылыстыру қабілетін үлгіні орналастырмай калибрлеуді талап етеді. Төмендегі суретте үлгінің шағылыстыру қабілетін абсолютті өлшеуге қол жеткізу үшін классикалық VW құрылғысының құрылымы берілген:
Жоғарыдағы суреттегі сол жақ суретте M1, M2 және M3 үш айнадан тұратын V-тәрізді құрылым көрсетілген. Біріншіден, осы режимдегі жарық қарқындылығының мәні тексеріледі және P1 ретінде жазылады. Содан кейін оң жақ суретте сыналатын үлгі салынып, M2 айнасы W-тәрізді құрылымды қалыптастыру үшін жоғарғы орынға бұрылады. Өлшенген үлгінің абсолютті шағылыстыру қабілетін алуға болады. Бұл құрылғыны да жақсартуға болады, мысалы, сыналатын үлгі тәуелсіз айналмалы үстелмен жабдықталған, осылайша сыналатын үлгіні кез келген бұрышқа бұруға болады. үлгінің шағылыстыру қабілетін бірнеше бұрыштарда сынауға болатындай етіп сәуле шығару.
Мысал ретінде оптикалық пластинаның шағылыстыру қабілетін тексеру үшін қолданылатын құрылғының құрылымы төменде көрсетілген:
Жоғарыдағы суретте сыналған үлгі x/y трансляцияны реттеу кестесіне орналастырылған және үлгінің шағылыстыру қабілетін реттеу кестесін компьютерлік басқару арқылы кез келген позицияда тексеруге болады. Сканерлеу сынағы арқылы бүкіл жалпақ әйнектің шағылысу таралу картасын алуға болады.
Байланыс:
Email:jasmine@pliroptics.com ;
Телефон/Whatsapp/Wechat:86 19013265659
веб-сайт: www.pliroptics.com
Қосу: 1-ғимарат, №1558, барлау жолы, Цинбайцзян, Чэнду, Сычуань, Қытай
Жіберу уақыты: 23 сәуір 2024 ж
