ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಅಂಶಗಳ ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿ

ಸಬ್‌ಸರ್ಫೇಸ್ ಹಾನಿ ರೆಂಡರಿಂಗ್

2 ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿ ಮಾಪನ ವಿಧಾನಗಳು

ಉಪ-ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯನ್ನು ನಿರ್ಲಕ್ಷಿಸಲಾಗದ ಕಾರಣ, ಅದನ್ನು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕ ತಯಾರಕರು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಬೇಕು. ಅದನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲು, ಘಟಕದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿನ ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯ ಗಾತ್ರವನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ಗುರುತಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಕಂಡುಹಿಡಿಯುವುದು ಅವಶ್ಯಕವಾಗಿದೆ, ಕಳೆದ ಶತಮಾನದ ಆರಂಭದಿಂದಲೂ ಜನರು ಗಾತ್ರವನ್ನು ಅಳೆಯಲು ಮತ್ತು ಮೌಲ್ಯಮಾಪನ ಮಾಡಲು ವಿವಿಧ ವಿಧಾನಗಳನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಿದ್ದಾರೆ. ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕದ ಮೇಲಿನ ಪ್ರಭಾವದ ಮಟ್ಟಕ್ಕೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಘಟಕದ ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯನ್ನು ಎರಡು ವರ್ಗಗಳಾಗಿ ವಿಂಗಡಿಸಬಹುದು: ವಿನಾಶಕಾರಿ ಮಾಪನ ಮತ್ತು ವಿನಾಶಕಾರಿಯಲ್ಲದ ಮಾಪನ (ನಾನ್-ವಿನಾಶಕಾರಿ ಪರೀಕ್ಷೆ).

ವಿನಾಶಕಾರಿ ಮಾಪನ ವಿಧಾನ, ಹೆಸರೇ ಸೂಚಿಸುವಂತೆ, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಅಂಶದ ಮೇಲ್ಮೈ ರಚನೆಯನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸುವ ಅವಶ್ಯಕತೆಯಿದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ವೀಕ್ಷಿಸಲು ಸುಲಭವಲ್ಲದ ಉಪ-ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯನ್ನು ಬಹಿರಂಗಪಡಿಸಬಹುದು, ಮತ್ತು ನಂತರ ಸೂಕ್ಷ್ಮದರ್ಶಕ ಮತ್ತು ಇತರ ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ಬಳಸಿ ವೀಕ್ಷಿಸಲು ಮಾಪನ ವಿಧಾನ, ಈ ವಿಧಾನವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸಮಯ ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಅದರ ಮಾಪನ ಫಲಿತಾಂಶಗಳು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾಗಿರುತ್ತವೆ. ವಿನಾಶಕಾರಿಯಲ್ಲದ ಮಾಪನ ವಿಧಾನಗಳು, ಇದು ಘಟಕದ ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಹಾನಿಯನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುವುದಿಲ್ಲ, ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿ ಪದರವನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಲು ಬೆಳಕು, ಧ್ವನಿ ಅಥವಾ ಇತರ ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ಅಲೆಗಳನ್ನು ಬಳಸಿ ಮತ್ತು ಗಾತ್ರವನ್ನು ನಿರ್ಣಯಿಸಲು ಪದರದಲ್ಲಿ ಸಂಭವಿಸುವ ಆಸ್ತಿ ಬದಲಾವಣೆಗಳ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ಬಳಸಿ. SSD, ಅಂತಹ ವಿಧಾನಗಳು ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಅನುಕೂಲಕರ ಮತ್ತು ತ್ವರಿತ, ಆದರೆ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಗುಣಾತ್ಮಕ ವೀಕ್ಷಣೆ. ಈ ವರ್ಗೀಕರಣದ ಪ್ರಕಾರ, ಉಪ-ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಗಾಗಿ ಪ್ರಸ್ತುತ ಪತ್ತೆ ವಿಧಾನಗಳನ್ನು ಕೆಳಗಿನ ಚಿತ್ರದಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಲಾಗಿದೆ:

ಉಪಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿ ಪತ್ತೆ ವಿಧಾನಗಳ ವರ್ಗೀಕರಣ ಮತ್ತು ಸಾರಾಂಶ

ಈ ಮಾಪನ ವಿಧಾನಗಳ ಸಂಕ್ಷಿಪ್ತ ವಿವರಣೆ ಹೀಗಿದೆ:

A. ವಿನಾಶಕಾರಿ ವಿಧಾನಗಳು

ಎ) ಹೊಳಪು ಮಾಡುವ ವಿಧಾನ

ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟೋರೋಹಿಯಾಲಾಜಿಕಲ್ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ಕಾಣಿಸಿಕೊಳ್ಳುವ ಮೊದಲು, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಕೆಲಸಗಾರರು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳ ಉಪ-ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯನ್ನು ವಿಶ್ಲೇಷಿಸಲು ಟೇಪರ್ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಬಳಸುತ್ತಾರೆ, ಅಂದರೆ ಓರೆಯಾದ ಕೋನದ ಉದ್ದಕ್ಕೂ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಕತ್ತರಿಸಿ ಓರೆಯಾದ ಆಂತರಿಕ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ಮತ್ತು ನಂತರ ಓರೆಯಾದ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಹೊಳಪು ಮಾಡುತ್ತಾರೆ. ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡುವಿಕೆಯು ಮೂಲ ಉಪ-ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯನ್ನು ಉಲ್ಬಣಗೊಳಿಸುವುದಿಲ್ಲ ಎಂದು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ನಂಬಲಾಗಿದೆ. ರಾಸಾಯನಿಕ ಕಾರಕಗಳೊಂದಿಗೆ ಇಮ್ಮರ್ಶನ್ ಸವೆತದ ಮೂಲಕ SSD ಪದರದ ಬಿರುಕುಗಳು ಹೆಚ್ಚು ಸ್ಪಷ್ಟವಾಗಿ ಬಹಿರಂಗಗೊಳ್ಳುತ್ತವೆ. ಇಮ್ಮರ್ಶನ್ ನಂತರ ಇಳಿಜಾರಾದ ಮೇಲ್ಮೈಯ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ವೀಕ್ಷಣೆಯಿಂದ ಉಪ-ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿ ಪದರದ ಆಳ, ಉದ್ದ ಮತ್ತು ಇತರ ಮಾಹಿತಿಯನ್ನು ಅಳೆಯಬಹುದು. ನಂತರ, ವಿಜ್ಞಾನಿಗಳು ಬಾಲ್ ಡಿಂಪ್ಲಿಂಗ್ ವಿಧಾನವನ್ನು (ಬಾಲ್ ಡಿಂಪ್ಲಿಂಗ್) ಕಂಡುಹಿಡಿದರು, ಇದು ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್, ಪಿಟ್ ಅನ್ನು ಎಸೆದ ನಂತರ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಹೊಳಪು ಮಾಡಲು ಗೋಲಾಕಾರದ ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡುವ ಸಾಧನವನ್ನು ಬಳಸುವುದು, ಪಿಟ್ನ ಆಳವು ಸಾಧ್ಯವಾದಷ್ಟು ಆಳವಾಗಿರಬೇಕು, ಆದ್ದರಿಂದ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ ಪಿಟ್ನ ಬದಿಯ ಮೂಲ ಮೇಲ್ಮೈಯ ಉಪಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿ ಮಾಹಿತಿಯನ್ನು ಪಡೆಯಬಹುದು.

ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಅಂಶಗಳ ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಲು ಸಾಮಾನ್ಯ ವಿಧಾನಗಳು

ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟೋರೋಹಿಯಾಲಾಜಿಕಲ್ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ (MRF) ಎನ್ನುವುದು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಹೊಳಪು ಮಾಡಲು ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟಿಕ್ ಫ್ಲೂಯಿಡ್ ಸ್ಟ್ರಿಪ್ ಅನ್ನು ಬಳಸುವ ಒಂದು ತಂತ್ರವಾಗಿದೆ, ಇದು ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಆಸ್ಫಾಲ್ಟ್/ಪಾಲಿಯುರೆಥೇನ್ ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡುವಿಕೆಗಿಂತ ಭಿನ್ನವಾಗಿದೆ. ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡುವ ವಿಧಾನದಲ್ಲಿ, ಹೊಳಪು ಮಾಡುವ ಉಪಕರಣವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ದೊಡ್ಡ ಸಾಮಾನ್ಯ ಬಲವನ್ನು ಬೀರುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಮಿಸ್ಟರ್ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಸ್ಪರ್ಶದ ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿ ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಶ್ರೀ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮೇಲ್ಮೈಯ ಮೂಲ ಉಪ-ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸುವುದಿಲ್ಲ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಮಿಸ್ಟರ್ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ತೋಡು ಹೊಳಪು ಮಾಡಲು ಬಳಸಬಹುದು. ನಂತರ ಮೂಲ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮೇಲ್ಮೈಯ ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯ ಗಾತ್ರವನ್ನು ಮೌಲ್ಯಮಾಪನ ಮಾಡಲು ಹೊಳಪು ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ವಿಶ್ಲೇಷಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಎ) ಬ್ಲಾಕ್ ಅಂಟಿಸುವ ವಿಧಾನ

ಉಪ-ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯನ್ನು ಪರೀಕ್ಷಿಸಲು ಈ ವಿಧಾನವನ್ನು ಸಹ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ವಾಸ್ತವವಾಗಿ, ಒಂದೇ ಆಕಾರ ಮತ್ತು ವಸ್ತುಗಳೊಂದಿಗೆ ಚದರ ಮಾದರಿಯನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಿ, ಮಾದರಿಯ ಎರಡು ಮೇಲ್ಮೈಗಳನ್ನು ಹೊಳಪು ಮಾಡಿ, ತದನಂತರ ಮಾದರಿಯ ಎರಡು ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಿದ ಮೇಲ್ಮೈಗಳನ್ನು ಒಟ್ಟಿಗೆ ಅಂಟು ಮಾಡಲು ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಬಳಸಿ, ಮತ್ತು ನಂತರ ಎರಡು ಮಾದರಿಗಳ ಬದಿಗಳನ್ನು ಒಟ್ಟಿಗೆ ಪುಡಿಮಾಡಿ. ಸಮಯ. ರುಬ್ಬಿದ ನಂತರ, ಎರಡು ಚದರ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ಪ್ರತ್ಯೇಕಿಸಲು ರಾಸಾಯನಿಕ ಕಾರಕಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಹಂತದಿಂದ ಉಂಟಾದ ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯ ಗಾತ್ರವನ್ನು ಸೂಕ್ಷ್ಮದರ್ಶಕದೊಂದಿಗೆ ಬೇರ್ಪಡಿಸಿದ ನಯಗೊಳಿಸಿದ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ವೀಕ್ಷಿಸುವ ಮೂಲಕ ಮೌಲ್ಯಮಾಪನ ಮಾಡಬಹುದು. ವಿಧಾನದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ರೇಖಾಚಿತ್ರವು ಈ ಕೆಳಗಿನಂತಿರುತ್ತದೆ:

ಬ್ಲಾಕ್ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ವಿಧಾನದಿಂದ ಉಪಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿ ಪತ್ತೆಹಚ್ಚುವಿಕೆಯ ಸ್ಕೀಮ್ಯಾಟಿಕ್ ರೇಖಾಚಿತ್ರ

ಈ ವಿಧಾನವು ಕೆಲವು ಮಿತಿಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಜಿಗುಟಾದ ಮೇಲ್ಮೈ ಇರುವುದರಿಂದ, ಜಿಗುಟಾದ ಮೇಲ್ಮೈಯ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಯು ರುಬ್ಬಿದ ನಂತರ ವಸ್ತುವಿನೊಳಗಿನ ನಿಜವಾದ ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯನ್ನು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಪ್ರತಿಬಿಂಬಿಸುವುದಿಲ್ಲ, ಆದ್ದರಿಂದ ಮಾಪನ ಫಲಿತಾಂಶಗಳು SSD ಪರಿಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ಸ್ವಲ್ಪ ಮಟ್ಟಿಗೆ ಮಾತ್ರ ಪ್ರತಿಬಿಂಬಿಸಬಹುದು.

ಎ) ರಾಸಾಯನಿಕ ಎಚ್ಚಣೆ

ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮೇಲ್ಮೈಯ ಹಾನಿಗೊಳಗಾದ ಪದರವನ್ನು ನಾಶಮಾಡಲು ವಿಧಾನವು ಸೂಕ್ತವಾದ ರಾಸಾಯನಿಕ ಏಜೆಂಟ್ಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ. ಸವೆತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಪೂರ್ಣಗೊಂಡ ನಂತರ, ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯನ್ನು ಮೇಲ್ಮೈ ಆಕಾರ ಮತ್ತು ಘಟಕ ಮೇಲ್ಮೈಯ ಒರಟುತನ ಮತ್ತು ಸವೆತ ದರದ ಸೂಚ್ಯಂಕ ಬದಲಾವಣೆಯಿಂದ ಮೌಲ್ಯಮಾಪನ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ರಾಸಾಯನಿಕ ಕಾರಕಗಳೆಂದರೆ ಹೈಡ್ರೋಫ್ಲೋರಿಕ್ ಆಮ್ಲ (HF), ಅಮೋನಿಯಂ ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಫ್ಲೋರೈಡ್ (NH4HF) ಮತ್ತು ಇತರ ನಾಶಕಾರಿ ಏಜೆಂಟ್.

ಬಿ) ಅಡ್ಡ ವಿಭಾಗದ ವಿಧಾನ

ಮಾದರಿಯನ್ನು ವಿಭಜಿಸಲಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಸೂಕ್ಷ್ಮದರ್ಶಕವನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯ ಗಾತ್ರವನ್ನು ವೀಕ್ಷಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಸಿ) ಡೈ ಒಳಸೇರಿಸುವಿಕೆಯ ವಿಧಾನ

ನೆಲದ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಅಂಶದ ಮೇಲ್ಮೈ ಪದರವು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಂಖ್ಯೆಯ ಮೈಕ್ರೋಕ್ರ್ಯಾಕ್ಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುವುದರಿಂದ, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ತಲಾಧಾರದೊಂದಿಗೆ ಬಣ್ಣ ವ್ಯತಿರಿಕ್ತತೆಯನ್ನು ಅಥವಾ ತಲಾಧಾರದೊಂದಿಗೆ ವ್ಯತಿರಿಕ್ತತೆಯನ್ನು ರೂಪಿಸುವ ಬಣ್ಣಗಳನ್ನು ವಸ್ತುವಿನೊಳಗೆ ಒತ್ತಬಹುದು. ತಲಾಧಾರವು ಡಾರ್ಕ್ ವಸ್ತುವನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದರೆ, ಪ್ರತಿದೀಪಕ ಬಣ್ಣಗಳನ್ನು ಬಳಸಬಹುದು. ಉಪ-ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯನ್ನು ದೃಗ್ವೈಜ್ಞಾನಿಕವಾಗಿ ಅಥವಾ ವಿದ್ಯುನ್ಮಾನವಾಗಿ ಸುಲಭವಾಗಿ ಪರಿಶೀಲಿಸಬಹುದು. ಬಿರುಕುಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಹಳ ಸೂಕ್ಷ್ಮವಾಗಿರುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ವಸ್ತುವಿನೊಳಗೆ ಇರುವುದರಿಂದ, ಡೈ ನುಗ್ಗುವಿಕೆಯ ಒಳಹೊಕ್ಕು ಆಳವು ಸಾಕಷ್ಟಿಲ್ಲದಿದ್ದಾಗ, ಅದು ಮೈಕ್ರೋಕ್ರ್ಯಾಕ್ನ ನಿಜವಾದ ಆಳವನ್ನು ಪ್ರತಿನಿಧಿಸುವುದಿಲ್ಲ. ಬಿರುಕಿನ ಆಳವನ್ನು ಎಷ್ಟು ಸಾಧ್ಯವೋ ಅಷ್ಟು ನಿಖರವಾಗಿ ಪಡೆಯಲು, ಬಣ್ಣಗಳನ್ನು ಒಳಸೇರಿಸಲು ಹಲವಾರು ವಿಧಾನಗಳನ್ನು ಪ್ರಸ್ತಾಪಿಸಲಾಗಿದೆ: ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಪ್ರಿಪ್ರೆಸಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಕೋಲ್ಡ್ ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಪ್ರೆಸ್ಸಿಂಗ್, ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಪ್ರೋಬ್ ಮೈಕ್ರೋಅನಾಲಿಸಿಸ್ (ಇಪಿಎಂಎ) ಬಳಕೆ ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆ ಸಾಂದ್ರತೆಗಳಲ್ಲಿ ಡೈ ಕುರುಹುಗಳನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಲು.

ಬಿ, ವಿನಾಶಕಾರಿಯಲ್ಲದ ವಿಧಾನಗಳು

ಎ) ಅಂದಾಜು ವಿಧಾನ

ಅಪಘರ್ಷಕ ವಸ್ತುವಿನ ಕಣದ ಗಾತ್ರ ಮತ್ತು ಘಟಕದ ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನದ ಗಾತ್ರಕ್ಕೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಉಪ-ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯ ಆಳವನ್ನು ಅಂದಾಜು ವಿಧಾನವು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಅಂದಾಜು ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಅಪಘರ್ಷಕ ವಸ್ತುವಿನ ಕಣದ ಗಾತ್ರ ಮತ್ತು ಉಪ-ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯ ಆಳದ ನಡುವಿನ ಅನುಗುಣವಾದ ಸಂಬಂಧವನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸಲು ಸಂಶೋಧಕರು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಂಖ್ಯೆಯ ಪರೀಕ್ಷೆಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತಾರೆ, ಜೊತೆಗೆ ಘಟಕದ ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನದ ಗಾತ್ರ ಮತ್ತು ಉಪ-ಭಾಗದ ನಡುವಿನ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯ ಕೋಷ್ಟಕ. ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿ. ಪ್ರಸ್ತುತ ಘಟಕ ಮೇಲ್ಮೈಯ ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯನ್ನು ಅವುಗಳ ಪತ್ರವ್ಯವಹಾರವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಅಂದಾಜು ಮಾಡಬಹುದು.

ಬಿ) ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಕೊಹೆರೆನ್ಸ್ ಟೊಮೊಗ್ರಫಿ (OCT)

ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಕೋಹೆರೆನ್ಸ್ ಟೊಮೊಗ್ರಫಿ, ಇದರ ಮೂಲ ತತ್ವವೆಂದರೆ ಮೈಕೆಲ್ಸನ್ ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪ, ಬೆಳಕಿನ ಎರಡು ಕಿರಣಗಳ ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪ ಸಂಕೇತಗಳ ಮೂಲಕ ಅಳತೆ ಮಾಡಿದ ಮಾಹಿತಿಯನ್ನು ಮೌಲ್ಯಮಾಪನ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಈ ತಂತ್ರವನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಜೈವಿಕ ಅಂಗಾಂಶಗಳನ್ನು ವೀಕ್ಷಿಸಲು ಮತ್ತು ಅಂಗಾಂಶದ ಮೇಲ್ಮೈ ರಚನೆಯ ಅಡ್ಡ-ವಿಭಾಗದ ಟೊಮೊಗ್ರಫಿ ನೀಡಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮೇಲ್ಮೈಯ ಉಪಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯನ್ನು ವೀಕ್ಷಿಸಲು OCT ತಂತ್ರವನ್ನು ಬಳಸಿದಾಗ, ನಿಜವಾದ ಬಿರುಕು ಆಳವನ್ನು ಪಡೆಯಲು ಅಳತೆ ಮಾಡಲಾದ ಮಾದರಿಯ ವಕ್ರೀಕಾರಕ ಸೂಚ್ಯಂಕ ನಿಯತಾಂಕವನ್ನು ಪರಿಗಣಿಸಬೇಕು. ವಿಧಾನವು ವರದಿಯ ಪ್ರಕಾರ 20μm ಗಿಂತ ಉತ್ತಮವಾದ ಲಂಬ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್‌ನೊಂದಿಗೆ 500μm ಆಳದಲ್ಲಿ ದೋಷಗಳನ್ನು ಪತ್ತೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ವಸ್ತುಗಳ SSD ಪತ್ತೆಗಾಗಿ ಇದನ್ನು ಬಳಸಿದಾಗ, SSD ಪದರದಿಂದ ಪ್ರತಿಫಲಿಸುವ ಬೆಳಕು ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ದುರ್ಬಲವಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪವನ್ನು ರೂಪಿಸುವುದು ಕಷ್ಟ. ಹೆಚ್ಚುವರಿಯಾಗಿ, ಮೇಲ್ಮೈ ಸ್ಕ್ಯಾಟರಿಂಗ್ ಮಾಪನ ಫಲಿತಾಂಶಗಳ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಮಾಪನದ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುವ ಅಗತ್ಯವಿದೆ.

ಸಿ) ಲೇಸರ್ ಸ್ಕ್ಯಾಟರಿಂಗ್ ವಿಧಾನ

ಫೋಟೊಮೆಟ್ರಿಕ್ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಲೇಸರ್ ವಿಕಿರಣವು, ಲೇಸರ್ನ ಸ್ಕ್ಯಾಟರಿಂಗ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯ ಗಾತ್ರವನ್ನು ನಿರ್ಣಯಿಸಲು ಸಹ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಅಧ್ಯಯನ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ. ಸಾಮಾನ್ಯವಾದವುಗಳೆಂದರೆ ಟೋಟಲ್ ಇಂಟರ್ನಲ್ ರಿಫೆಕ್ಷನ್ ಮೈಕ್ರೋಸ್ಕೋಪಿ (TIRM), ಕಾನ್ಫೋಕಲ್ ಲೇಸರ್ ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್ ಮೈಕ್ರೋಸ್ಕೋಪಿ (CLSM), ಮತ್ತು ಛೇದಿಸುವ ಧ್ರುವೀಕರಣ ಕಾನ್ಫೋಕಲ್ ಮೈಕ್ರೋಸ್ಕೋಪಿ (CPCM). ಅಡ್ಡ-ಧ್ರುವೀಕರಣ ಕಾನ್ಫೋಕಲ್ ಮೈಕ್ರೋಸ್ಕೋಪಿ, ಇತ್ಯಾದಿ.

ಡಿ) ಅಕೌಸ್ಟಿಕ್ ಸೂಕ್ಷ್ಮದರ್ಶಕವನ್ನು ಸ್ಕ್ಯಾನ್ ಮಾಡುವುದು

ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್ ಅಕೌಸ್ಟಿಕ್ ಮೈಕ್ರೋಸ್ಕೋಪಿ (SAM), ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ಪತ್ತೆ ವಿಧಾನವಾಗಿ, ಆಂತರಿಕ ದೋಷಗಳನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಲು ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ವಿನಾಶಕಾರಿಯಲ್ಲದ ಪರೀಕ್ಷಾ ವಿಧಾನವಾಗಿದೆ. ಈ ವಿಧಾನವನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ನಯವಾದ ಮೇಲ್ಮೈಗಳೊಂದಿಗೆ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ಅಳೆಯಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಮಾದರಿಯ ಮೇಲ್ಮೈ ತುಂಬಾ ಒರಟಾಗಿದ್ದಾಗ, ಮೇಲ್ಮೈ ಚದುರಿದ ಅಲೆಗಳ ಪ್ರಭಾವದಿಂದಾಗಿ ಮಾಪನ ನಿಖರತೆ ಕಡಿಮೆಯಾಗುತ್ತದೆ.

3 ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿ ನಿಯಂತ್ರಣ ವಿಧಾನಗಳು

ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳ ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸುವುದು ಮತ್ತು SSDS ಅನ್ನು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕುವ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಪಡೆಯುವುದು ನಮ್ಮ ಅಂತಿಮ ಗುರಿಯಾಗಿದೆ. ಸಾಮಾನ್ಯ ಸಂದರ್ಭಗಳಲ್ಲಿ, ಉಪ-ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯ ಆಳವು ಅಪಘರ್ಷಕ ಕಣದ ಗಾತ್ರದ ಗಾತ್ರಕ್ಕೆ ಅನುಪಾತದಲ್ಲಿರುತ್ತದೆ, ಅಪಘರ್ಷಕ ಕಣದ ಗಾತ್ರವು ಚಿಕ್ಕದಾಗಿದೆ, ಆಳವಿಲ್ಲದ ಉಪ-ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿ, ಆದ್ದರಿಂದ, ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ನ ಗ್ರ್ಯಾನ್ಯುಲಾರಿಟಿಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವ ಮೂಲಕ ಮತ್ತು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್, ನೀವು ಉಪ-ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಸುಧಾರಿಸಬಹುದು. ಹಂತಗಳಲ್ಲಿ ಉಪ-ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿ ನಿಯಂತ್ರಣದ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ರೇಖಾಚಿತ್ರವನ್ನು ಕೆಳಗಿನ ಚಿತ್ರದಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಲಾಗಿದೆ:

ಭೂಗರ್ಭದ ಹಾನಿಯನ್ನು ಹಂತಗಳಲ್ಲಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ
ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್‌ನ ಮೊದಲ ಹಂತವು ಖಾಲಿ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿನ ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯನ್ನು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಈ ಹಂತದಲ್ಲಿ ಹೊಸ ಉಪಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ನಂತರ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್‌ನ ಎರಡನೇ ಹಂತದಲ್ಲಿ, ಮೊದಲ ಹಂತದಲ್ಲಿ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾದ SSD ಅನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುವುದು ಮತ್ತು ಹೊಸ ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುವುದು ಅವಶ್ಯಕ. ಮತ್ತೆ, ಪ್ರತಿಯಾಗಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೊಳಿಸುವುದು, ಮತ್ತು ಅಪಘರ್ಷಕ ಕಣಗಳ ಗಾತ್ರ ಮತ್ತು ಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಿ, ಮತ್ತು ಅಂತಿಮವಾಗಿ ನಿರೀಕ್ಷಿತ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಪಡೆದುಕೊಳ್ಳಿ. ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ತಯಾರಿಕೆಯು ನೂರಾರು ವರ್ಷಗಳಿಂದ ಅನುಸರಿಸುತ್ತಿರುವ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ತಂತ್ರವಾಗಿದೆ.

ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಂತರ, ಘಟಕದ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಉಪ್ಪಿನಕಾಯಿ ಮಾಡುವುದು ಉಪ-ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.

ಸಂಪರ್ಕ:
Email:jasmine@pliroptics.com ;
ಫೋನ್/Whatsapp/Wechat:86 19013265659
ವೆಬ್:www.pliroptics.com

ಸೇರಿಸಿ:ಕಟ್ಟಡ 1, ನಂ.1558, ಗುಪ್ತಚರ ರಸ್ತೆ, ಕಿಂಗ್ಬೈಜಿಯಾಂಗ್, ಚೆಂಗ್ಡು, ಸಿಚುವಾನ್, ಚೀನಾ