1 Parametreyên performansê piştî xêzkirinê
Di gotara paşîn de, me fonksiyon, prensîb, nermalava sêwiranê û teknîkên pêvekirina hevpar ên fîlimên nazik ên optîkî destnîşan kir. Di vê gotarê de, em ceribandina pîvanên paşîn-paqijkirinê destnîşan dikin. Parametreyên performansê yên rûbera pêkhateya piştî xêzkirinê di nav xwe de Veguheztin (Transmittance), Reflektans (R), Absorptance (A) û hwd. Wekî din, vegirtin (Transmittance) û hwd. Taybetmendiya belavbûna S (Scatter) ya rûyê fîlimê jî pêdivî ye ku were ceribandin û analîz kirin.
Veguhastina T rêjeya enerjiya tundiya ronahiyê ya ku di fîlimê re derbas dibe bi enerjiya ronahiya bûyerê re ye. Refleksa R rêjeya enerjiya zexm e ku ji hêla rûxara kincê ve tê xuyang kirin bi enerjiya bûyerê re. Absorption A rêjeya enerjiya ronahiyê ya ku ji hêla qata fîlimê ve tê kişandin bi enerjiya ronahiya rûdanê re ye. Ji bo van sê parameteran, têkiliyên jêrîn hene:
T + R + A = 1
Ango, berhevoka veguheztin, refleks û vegirtinê ya tebeqeya fîlimê domdar e 1. Ev tê wê wateyê ku piştî ku tîrêjê ronahiyê di parzûnê re derbas dibe, beşek jê derbas dibe, beşek jê tê xuyang kirin û ya mayî. ji hêla parzûnê ve tê kişandin.
Li serpêkhateya optîkîxêzkirin, veguheztin an refleksa rûbera fîlimê bi gelemperî hewce ye, û pêdivî ye ku rêza spektral û goşeya qewimîna di binê rewşa serîlêdanê de bi zelalî were destnîşankirin. Ger polarîzasyon jî hewce be, pêdivî ye ku rêjeya dewletên polarîzasyonê bi zelalî were destnîşankirin. Mînakî, hewcedariyên xêzkirinê yên di jimareya jêrîn de ev in ku di 770nm de, pêdivî ye ku refleks di bûyera 45 pileyî de ji% 88 kêmtir nebe, û di 550 nm de, pêdivî ye ku veguheztina di bûyera 45 derece de ji% 70 kêmtir nebe.
Ji bilî taybetmendiyên optîkî yên jorîn, pêdivî ye ku taybetmendiyên mekanîkî û kîmyewî yên qata fîlima optîkî jî were hesibandin, di nav de berxwedana kincan, hişkbûn, çareserbûna fîlimê. Digel vê yekê, pêdivî ye ku kalîteya rûyê optîkî ya piştî xêzkirinê jî were hesibandin, di nav de hewcedariyên ji bo xêzkirin, xêzkirin, qirêj, reng, hwd.
2 Prensîba spectrophotometer
Di vê gotarê de, em balê dikişînin ser taybetmendiyên optîkî yên rêbazên ceribandina fîlimê da ku, di pratîkê de, Spectrophotometera sereke (Spectrophotometer) û Ellipsometer (Ellipsometer) ji bo ceribandina pîvanên fîlimê, spectrophotometer dikare veguheztin, refleksîyon û taybetmendiyên vegirtinê yên optîkî biceribîne. berhemên. Elipsometer dikare hûrbûn û taybetmendiyên polarîzasyona fîlimê bipîve, û prensîba herduyan jî wekhev e.
Struktura amûrek wusa dikare li du beşan kanala hilberîna tîrêjê û kanala wergirtina tîrêjê were dabeş kirin, dema ku pêdivî ye ku veguheztina beşê were ceribandin, pêkhate di nîvê her du kanalan de tê danîn, da ku tîrêj. di nav nimûneyê re derbas dibe, dema ku pêdivî ye ku refleksbûna pêkhateyê were ceribandin, pêkhate li heman aliyê du kanalan tê danîn, da ku tîrêj ji hêla nimûneyê ve were xuyang kirin. Wekî mînak, prensîba spektrofotometerek ji bo pîvandina veguheztina nimûneyek di jimareya jêrîn de tê xuyang kirin:
Di jimareya jor de, dawiya çepê kanala hilberîna tîrêjê ye, ku çavkaniyek ronahiyê ya fireh bikar tîne da ku ronahiyê derxîne, û dûv re bi perçebûna tîrêjê û bijartina şiklê, dirêjahiya pêleka taybetî ya ronahiyê derdixe, tîrêj di nav re derbas dibe. kolîmator 1, dibe tîrêjek hevedudanî, û dûv re di polarîzatora ku dikare Goşeyê bizivirîne re derbas dibe, dibe ronahiyek polarîzekirî, û ronahiya polarîzekirî ji hêla spektroskopê ve piştî berhevkirina kolimator 2 li 2 tîrêjan tê dabeş kirin. Tîrêjek ronahiyê di detektora referansê de tê xuyang kirin, li wir tîrêjê ronahiya berhevkirî wekî referans tê bikar anîn da ku veguheztina enerjiyê ji ber guheztinên çavkaniya ronahiyê rast bike, û tîrêjek din a ronahiyê di nav nimûneyê re derbas dibe, ji hêla kolimator 3 û kolimator ve ji nû ve tê şekil kirin. 4, û dikeve detektorê li dawiya rastê ya testê. Di ceribandina rastîn de, du nirxên enerjiyê bi danîn û derxistina nimûneya ceribandinê têne wergirtin, û veguhestina nimûneyê bi berhevkirina enerjiyê dikare were bidestxistin.
Prensîba elipsometerê dişibihe prensîba spektrofotometra jorîn, ji bilî ku di kanala şandina tîrêjê û kanala wergirtinê de plakaya pêlê ya 1/4 ya zivirî wekî hêmanek tezmînatê tê zêdekirin û di kanala wergirtinê de polarîzatorek jî tê zêdekirin. , da ku taybetmendiyên polarîzasyona nimûneyê bêtir bi nermî were analîz kirin. Di hin rewşan de, elipsometer dê rasterast çavkaniyek ronahiyê ya berfireh bikar bîne, û di dawiya wergirtinê de spektrometerek şikestî û veqetandî, bi detektorek rêza rêzê re, bi dest bixe da ku ceribandina performansê ya beşê bi dest bixe.
3. Testa veguhestinê
Di ceribandina veguheztinê de, ji bo ku ji ronîkirina detektorê ku tîrêjê ronahiyê werdigire dûr nekevin, qada entegrasyonê bi gelemperî wekî wergir tê bikar anîn, prensîb wiha tê destnîşan kirin:
Wekî ku ji jimareya jorîn tê dîtin, qada yekbûyî qadek valahiyek e ku bi materyalê pêça refleksa belavkirî ya spî ya li ser dîwarê hundur ve hatî pêçandî ye, û li ser dîwarê topê qulikek pencereyê heye, ku wekî qulika ronahiya ronahiya bûyerê tê bikar anîn. û qula wergirtina dedektora ronahiyê. Bi vî rengî, ronahiya ku dikeve qada entegrasyonê çend caran bi navgîniya dîwarê hundur ve tê xuyang kirin, li ser dîwarê hundur ronahiyek yekgirtî çêdike, û ji hêla dedektorê ve tê wergirtin.
Wekî nimûne, strukturek amûrek ku ji bo ceribandina veguheztina plakaya optîkî tê bikar anîn li jêr tê xuyang kirin
Di jimareya jor de, nimûneya ceribandinê li ser tabloyek verastkirinê ku dikare di rêgezên x û y de were guheztin tê danîn. Veguheztina nimûneyê dikare li her pozîsyonê bi kontrola komputerê ya tabloya verastkirinê were ceribandin. Dabeşkirina veguheztinê ya tevahiya cama rûkê jî dikare bi ceribandina şopandinê were bidestxistin, û çareseriya ceribandinê bi mezinahiya tîrêjê ve girêdayî ye.
4. Testa Reflectivity
Ji bo pîvandina refleksa fîlimê ya optîkî, bi gelemperî du rê hene, yek pîvana têkildar û ya din jî pîvana bêkêmasî ye. Rêbaza pîvana têkildar hewce dike ku refleksek bi refleksa naskirî wekî referans ji bo ceribandina berhevdanê were bikar anîn. Di pratîkê de, pêdivî ye ku refleksa neynika referansê bi rêkûpêk bi pîrbûn an qirêjbûna qata fîlimê re were pîvandin. Ji ber vê yekê, vê rêbazê xeletiyên pîvana potansiyel hene. Rêbaza pîvandina refleksiyonê ya bêkêmasî bêyî danîna nimûneyê pêdivî bi kalibrasyona refleksbûna amûra ceribandinê heye. Di jimareya jêrîn de, strukturên cîhaza VW ya klasîk tê destnîşan kirin ku pîvana bêkêmasî ya refleksa nimûneyê bi dest bixe:
Di jimareya jorîn de jimareya çepê avahiyek bi teşe V-yê ku ji sê neynikên M1, M2 û M3 pêk tê nîşan dide. Pêşîn, nirxa tundiya ronahiyê di vê modê de tê ceribandin û wekî P1 tê tomar kirin. Dûv re, di jimareya rastê de, nimûneya di bin ceribandinê de tê danîn, û neynika M2 li pozîsyona jorîn tê zivirandin da ku avahiyek bi teşe W ava bike. Refleksiyona bêkêmasî ya nimûneya pîvandî dikare were bidestxistin. Ev amûr di heman demê de dikare were çêtir kirin, mînakî, nimûneya di bin ceribandinê de jî bi tabloyek zivirî ya serbixwe ve tê stend kirin, da ku nimûneya di bin ceribandinê de li her Angle were zivirandin, bi zivirandina neynika M2 berbi pozîsyona refleksê ya têkildar, da ku bigihîje hilberîna tîrêjê, da ku refleksa nimûneyê li gelek goşeyan were ceribandin.
Mînakî, strukturek amûrek ku ji bo ceribandina refleksa plakaya optîkî tê bikar anîn li jêr tê xuyang kirin:
Di jimareya jor de, nimûneya ceribandinê li ser tabloya sererastkirina wergera x/y tê danîn, û refleksa nimûneyê dikare li her pozîsyonê bi riya kontrola komputerê ya tabloya verastkirinê were ceribandin. Bi ceribandina şopandinê re, nexşeya belavkirina refleksê ya tevahî cama rûvî jî dikare were bidestxistin.
Têkelî:
Email:jasmine@pliroptics.com ;
Telefon / Whatsapp / Wechat: 86 19013265659
web: www.pliroptics.com
Zêde bike: Avahiya 1, No.1558, riya îstîxbaratê, qingbaijiang, chengdu, sichuan, çîn
Dema şandinê: Avrêl-23-2024
