1 Prensîbên fîlmên optîkî
Di vê gotarê de, em ê prensîbên fîlimên nazik ên optîkî, nermalava sêwiranê ya bi gelemperî têne bikar anîn û teknolojiya xêzkirinê bidin nasîn.
Prensîba bingehîn a çima fîlimên optîkî dikarin fonksiyonên bêhempa yên wekî dijî-refleks, refleksa bilind an dabeşkirina ronahiyê bi dest bixin, destwerdana fîlima zirav a ronahiyê ye. Fîlmên tenik bi gelemperî ji yek an çend koman ji qatên maddî yên bi îndeksa refraksiyonê ya bilind û qatên maddî yên bi îndeksa refraksiyonê ya nizm ku li gorî hev têne ser hev têne çêkirin. Van materyalên qata fîlimê bi gelemperî oksîd, metal an florîd in. Bi danîna hejmar, stûrbûn û qatên fîlimê yên cihêreng ên fîlimê, Cûdahiya di nîşaneya refraksiyonê ya di navbera qatan de dikare destwerdana tîrêjên ronahiyê di navbera qatên fîlimê de birêkûpêk bike da ku fonksiyonên pêwîst bidest bixe.
Werin em ji bo ronîkirina vê diyardeyê pêvekek hevbeş a dijî-refleksîyonê wekî mînakek bigirin. Ji bo ku zêdekirin an kêmkirina destwerdanê, stûrbûna optîkî ya qata pêvekirinê bi gelemperî 1/4 (QWOT) an 1/2 (HWOT) e. Di jimareya jêrîn de, nîşaneya refraksiyonê ya navgîna bûyerê n0, û nîşaneya refaksiyonê ya substratê ns e. Ji ber vê yekê, wêneyek nîşana refraksiyonê ya materyalê fîlimê ku dikare şertên betalkirina destwerdanê çêbike dikare were hesibandin. Tîra ronahiyê ya ku ji hêla rûxara jorîn a fîlimê ve tê xuyang kirin R1 e, Tîra ronahiyê ya ku ji rûyê jêrîn ê fîlimê ve hatî xuyang kirin R2 e. Gava ku stûrbûna optîkî ya fîlimê 1/4 dirêjahiya pêlê ye, cûdahiya riya optîkî ya di navbera R1 û R2 de 1/2 dirêjahiya pêlê ye, û şertên destwerdanê têne bicîh kirin, bi vî rengî destwerdana wêranker a destwerdanê çêdike. Fenomen.
Bi vî rengî, tundiya tîrêjê ya ronîkirî pir piçûk dibe, bi vî rengî armanca dij-refleksê digihîje.
2 Nermalava sêwirana fîlima nazik a optîkî
Ji bo hêsankirina teknîsyenan ji bo sêwirana pergalên fîlimê yên ku fonksiyonên cihêreng ên taybetî bicîh tînin, nermalava sêwirana fîlima nazik hatî pêşve xistin. Nermalava sêwiranê materyalên xêzkirinê yên ku bi gelemperî têne bikar anîn û parametreyên wan, algorîtmayên simulasyona qata fîlimê û xweşbîniyê û fonksiyonên analîzê yek dike, ji bo teknîsyenan pêşkeftin û analîzkirin hêsantir dike. Pergalên fîlimê yên cihêreng. Nermalava sêwirana fîlimê ya ku bi gelemperî têne bikar anîn wiha ne:
A.TFCalc
TFCalc ji bo sêwirandin û analîzkirina fîlima zirav a optîkî amûrek gerdûnî ye. Ew dikare ji bo sêwirana cûrbecûr pergalên fîlimê yên dijî-refleks, refleksên bilind, bandpass, spektroskopî, qonax û yên din were bikar anîn. TFCalc dikare pergalek fîlimê ya du-alî li ser substratek sêwirîne, bi 5,000 qatên fîlimê li ser rûyek yekane. Ew têketina formulên stûna fîlimê piştgirî dike û dikare cûrbecûr ronahiyê simule bike: wek tîrêjên konê, tîrêjên radyasyonê yên bêserûber, hwd. Ya duyemîn jî, nermalavê hin fonksiyonên xweşbîniyê hene, û dikare rêbazên wekî nirxa giran û rêbazên guherbar bikar bîne da ku xweşbîniyê bike. refleksbûn, veguheztin, vegirtin, qonax, pîvanên elipsometry û armancên din ên pergala fîlimê. Nermalava cûrbecûr fonksiyonên analîzê, wekî refleksbûn, veguheztin, vegirtin, analîza parametreya elîpsometrî, kêşa belavkirina tundiya zeviya elektrîkê, refleksa pergala fîlimê û analîza rengê veguheztinê, hesabkirina kembera kontrolkirina krîstal, tolerasyona fîlimê û analîza hestiyariyê, analîza hilberînê, hwd. Navbera operasyonê ya TFCalc wiha ye:
Di navgîniya operasyonê de ku li jor hatî destnîşan kirin, bi têketina pîvan û mercên sînor û xweşbîniyê, hûn dikarin pergalek fîlimê ya ku hewcedariyên we bicîh tîne bistînin. Operasyon bi karanîna hêsan û hêsan e.
B. Essential Macleod
Essential Macleod pakêtek nermalava analîz û sêwirana fîlima optîkî ya bêkêmasî ye ku bi navbeynkariya operasyona pir-belgeya rastîn e. Ew dikare di sêwirana pêlava optîkî de, ji fîlimên yek-qatkî yên hêsan heya fîlimên hişk ên spektroskopî, hewcedariyên cihêreng bicîh bîne. , di heman demê de dikare fîlterên piralîkirina dabeşkirina dirêjahiya pêlê (WDM) û fîlterên piralîkirina dirêjahiya pêlê (DWDM) binirxîne. Ew dikare ji sifirê sêwiran bike an sêwiranên heyî xweşbîn bike, û dikare xeletiyên di sêwiranê de lêkolîn bike. Ew bi fonksiyonên dewlemend û hêzdar e.
Navbera sêwirana nermalavê di wêneya jêrîn de tê xuyang kirin:
C. OptiLayer
Nermalava OptiLayer tevahiya pêvajoya fîlimên zirav ên optîkî piştgirî dike: Parametre - sêwirandin - hilberandin - analîza berevajîkirinê. Ew sê beşan pêk tîne: OptiLayer, OptiChar, û OptiRE. Di heman demê de pirtûkxaneyek girêdana dînamîkî ya OptiReOpt (DLL) jî heye ku dikare fonksiyonên nermalavê zêde bike.
OptiLayer fonksiyona nirxandinê ji sêwiranê heya armancê dikole, armanca sêwiranê bi xweşbîniyê digihîje, û analîza xeletiya pêş-hilberînê pêk tîne. OptiChar fonksiyona ciyawaziya di navbera taybetmendiyên spektraliya materyalê ya qatê û taybetmendiyên wê yên spektral ên pîvandî de di bin faktorên cihêreng ên girîng de di teoriya fîlima zirav de vedikole, û modelek materyalê ya qatek çêtir û rastîn û bandora her faktorek li ser sêwirana heyî peyda dike, û destnîşan dike ku karanîna çi ye. dema sêwirana vê qatê materyalê pêdivî ye ku faktor bêne hesibandin? OptiRE taybetmendiyên spektral ên modela sêwiranê û taybetmendiyên spektral ên modelê yên ku piştî hilberînê bi ceribandinê têne pîvandin lêkolîn dike. Bi guheztina endezyariyê, em hin xeletiyên ku di dema hilberînê de hatine çêkirin digirin û wan vedigerînin pêvajoya hilberînê da ku hilberînê rêve bibe. Modulên jorîn dikarin bi fonksiyona pirtûkxaneya girêdana dînamîkî ve werin girêdan, bi vî rengî fonksiyonên wekî sêwirandin, guheztin û çavdêriya rast-demê di rêzek pêvajoyan de ji sêwirana fîlimê heya hilberînê pêk bînin.
3 Teknolojiya pêvekirinê
Li gorî rêgezên cûda yên plating, ew dikare li du kategoriyan were dabeş kirin: Teknolojiya pêlavkirina kîmyewî û teknolojiya pêvekirina laşî. Teknolojiya nixumandina kîmyewî bi giranî li ser çîpkirina nixumandinê û rijandina spreyê tê dabeş kirin. Ev teknolojî bêtir qirêj e û performansa fîlimê xirab e. Ew hêdî hêdî ji hêla nifşek nû ya teknolojiya pêlava laşî ve tê guheztin. Kişandina fizîkî bi evaporasyona valahiya, îyonkirina îyonan, û hwd tê kirin. Rakirina valahiya rêbazek e ku metal, pêkhate û materyalên fîlimê yên din di valahiya valahiyê de hildiweşîne (an jî dirijîne) da ku wan li ser substratê ku were xêzkirin. Di hawîrdorek valahiyê de, alavên nixumandinê kêm nepakî hene, ku dikare pêşî li oksîdasyona rûyê materyalê bigire û bibe alîkar ku yekrengiya spektral û domdariya stûrbûna fîlimê misoger bike, ji ber vê yekê ew bi berfirehî tê bikar anîn.
Di bin şert û mercên normal de, 1 zexta atmosferê bi qasî 10 bi hêza 5 Pa ye, û tansiyona hewayê ya ku ji bo kişandina valahiya pêdivî ye bi gelemperî 10 ji hêza 3 Pa û jor e, ku girêdayî xêzkirina valahiya bilind e. Di pêlava valahiya de, rûbera pêkhateyên optîkî pêdivî ye ku pir paqij be, ji ber vê yekê jûreya valahiya di dema pêvajoyê de jî pêdivî ye ku pir paqij be. Heya nuha, awayê bidestxistina jîngehek valahiya paqij bi gelemperî karanîna valahiya ye. Pompeyên belavkirina neftê, Pompek molekular an pompek kondensasyonê ji bo derxistina valahiya û bidestxistina jîngehek valahiya bilind tê bikar anîn. Pompeyên belavkirina neftê pêdivî bi ava sarkirinê û pompek piştê heye. Ew bi mezinahî mezin in û enerjiya pir zêde dixwin, ku dê bibe sedema qirêjiya pêvajoya xêzkirinê. Pompeyên molekular bi gelemperî pompek piştgir hewce dike ku di xebata wan de bibe alîkar û biha ne. Berevajî vê, pompeyên kondensasyonê nabin sedema qirêjiyê. , hewcedariya pompek piştgiriyê nake, xwedan karîgerîyek bilind û pêbaweriyek baş e, ji ber vê yekê ew ji bo pêlava valahiya optîkî ya herî maqûl e. Odeya hundurîn a makîneyek pêvekirina valahiya hevpar di wêneya jêrîn de tê xuyang kirin:
Di pêlêdana valahiya de, pêdivî ye ku materyalê fîlimê di rewşek gazê de were germ kirin û dûv re li ser rûyê substratê were razandin da ku fîlimek çêbike. Li gorî awayên cihêreng ên lêdanê, ew dikare li sê celeban were dabeş kirin: germkirina evaporkirina termal, germkirina şûştinê û vekirina ion.
Germkirina evaporkirina termal bi gelemperî têla berxwedanê an înduksiyonek bi frekansa bilind bikar tîne da ku kavilê germ bike, ji ber vê yekê maddeya fîlimê ya di qulikê de tê germkirin û hilmijandin da ku pêçek çêbike.
Germkirina avêtinê li du celeban tê dabeş kirin: Germkirina tîrêjê ya ion û germkirina rijandina magnetron. Germkirina avêtina tîrêjê ya yonê çekek îon bikar tîne da ku tîrêjek îyonê derxe. Tîra îyonê di qonaxek bûyerek diyar de armancê bombe dike û tebeqeya rûyê wê derdixe. atomên, ku li ser rûyê substratê dakêşin ku fîlimek zirav çêbikin. Kêmasiya sereke ya rijandina tîrêjê ion ev e ku devera ku li ser rûyê armancê tê bombebaran kirin pir piçûk e û rêjeya hilweşandinê bi gelemperî kêm e. Germkirina rijandina Magnetron tê vê wateyê ku elektron di bin çalakiya zeviyek elektrîkê de ber bi substratê ve bilez dibin. Di vê pêvajoyê de, elektron bi atomên gaza argonê re li hev dikevin, hejmareke mezin a îyon û elektronên argon îyonîze dikin. Elektron ber bi substratê ve difirin û îyonên argon bi qada elektrîkê germ dibin. Hedef di bin çalakiya armancê de tê lezandin û bombebaran kirin, û atomên hedefa bêalî yên di hedefê de li ser substratê têne danîn da ku fîlimek çêbikin. Sputtering Magnetron ji hêla rêjeya avakirina fîlimê ya bilind, germahiya substratê ya nizm, girêdana fîlimê ya baş ve tête taybetmend kirin, û dikare bigihîje pêlava qadeke mezin.
Rakirina îyonê rêgezek e ku vekêşana gazê bikar tîne da ku bi qismî gazê an maddeyên hilmikî îyonîze bike, û maddeyên hilmikî li ser bingehek di bin bombekirina îyonên gazê an îyonên maddeya hilkirî de radike. Plating Ion tevliheviyek ji teknolojiya valahiya valahiya û sputterkirinê ye. Ew avantajên pêvajoyên evaporasyon û rijandinê li hev dike û dikare perçeyên xebatê bi pergalên fîlimê yên tevlihev ve girêbide.
4 Encam
Di vê gotarê de, em pêşî prensîbên bingehîn ên fîlimên optîkî destnîşan dikin. Bi danîna hejmar û qalindahiya fîlimê û cûdahiya nîşana refraksiyonê ya di navbera qatên fîlimê yên cihêreng de, em dikarin destwerdana tîrêjên ronahiyê di navbera qatên fîlimê de bi dest bixin, bi vî rengî fonksiyona pêlava fîlimê ya pêdivî bi dest bixin. Dûv re ev gotar nermalava sêwirana fîlimê ya ku bi gelemperî tête bikar anîn destnîşan dike da ku her kes têgihiştinek pêşîn a sêwirana fîlimê bide. Di beşa sêyemîn a gotarê de, em danasînek hûrgulî li ser teknolojiya xêzkirinê didin, balê dikişînin ser teknolojiya valahiya ku bi gelemperî di pratîkê de tê bikar anîn. Ez bawer dikim ku bi xwendina vê gotarê re, her kes dê li ser pêlava optîkî çêtir fam bike. Di gotara din de, em ê rêbaza ceribandina pêlavê ya pêkhateyên pêçandî parve bikin, ji ber vê yekê li bendê bin.
Têkelî:
Email:info@pliroptics.com ;
Telefon / Whatsapp / Wechat: 86 19013265659
tevn:www.pliroptics.com
Zêde bike: Avahiya 1, No.1558, riya îstîxbaratê, qingbaijiang, chengdu, sichuan, çîn
Dema şandinê: Avrêl-10-2024
