ການທົດສອບພາລາມິເຕີຂອງຮູບເງົາ – ການຖ່າຍທອດແລະການສະທ້ອນ

ນອກເຫນືອໄປຈາກຄຸນສົມບັດ optical ຂ້າງເທິງນີ້, ຄຸນສົມບັດກົນຈັກແລະເຄມີຂອງຊັ້ນຮູບເງົາ optical ຍັງຈໍາເປັນຕ້ອງໄດ້ພິຈາລະນາ, ລວມທັງການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່, ຄວາມຫມັ້ນຄົງ, ການລະລາຍຂອງຊັ້ນຮູບເງົາ. ນອກຈາກນັ້ນ, ຄຸນນະພາບຂອງພື້ນຜິວ optical ຫຼັງຈາກການເຄືອບຍັງຕ້ອງໄດ້ຮັບການພິຈາລະນາ, ລວມທັງຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບການ pitting, scratches, ຝຸ່ນ, stains, ແລະອື່ນໆ.
2 ຫຼັກການຂອງ spectrophotometer

ໃນເອກະສານນີ້, ພວກເຮົາສຸມໃສ່ຄຸນສົມບັດທາງ optical ຂອງວິທີການທົດສອບຮູບເງົາເພື່ອແນະນໍາ, ໃນການປະຕິບັດ, Spectrophotometer ຕົ້ນຕໍ (Spectrophotometer) ແລະ Ellipsometer (Ellipsometer) ເພື່ອທົດສອບພາລາມິເຕີຮູບເງົາ, spectrophotometer ສາມາດທົດສອບການສົ່ງ, ການສະທ້ອນແລະການດູດຊຶມຂອງ optical. ຜະ​ລິດ​ຕະ​ພັນ. ellipsometer ສາມາດວັດແທກຄວາມຫນາແລະລັກສະນະ polarization ຂອງຊັ້ນຮູບເງົາ, ແລະຫຼັກການຂອງທັງສອງແມ່ນຄ້າຍຄືກັນ.
ໂຄງສ້າງຂອງອຸປະກອນດັ່ງກ່າວສາມາດແບ່ງອອກເປັນສອງສ່ວນຂອງຊ່ອງທາງການຜະລິດ beam ແລະຊ່ອງທາງຮັບ beam, ເມື່ອການຖ່າຍທອດຂອງອົງປະກອບຕ້ອງໄດ້ຮັບການທົດສອບ, ອົງປະກອບແມ່ນຖືກຈັດໃສ່ຢູ່ເຄິ່ງກາງຂອງສອງຊ່ອງທາງ, ດັ່ງນັ້ນ beam. ຜ່ານຕົວຢ່າງ, ໃນເວລາທີ່ການສະທ້ອນຂອງອົງປະກອບຕ້ອງໄດ້ຮັບການທົດສອບ, ອົງປະກອບແມ່ນຖືກຈັດໃສ່ໃນດ້ານດຽວກັນຂອງສອງຊ່ອງ, ດັ່ງນັ້ນ beam ໄດ້ຖືກສະທ້ອນໃຫ້ເຫັນໂດຍຕົວຢ່າງ. ຕົວຢ່າງ, ຫຼັກການຂອງ spectrophotometer ເພື່ອວັດແທກການຖ່າຍທອດຂອງຕົວຢ່າງແມ່ນສະແດງຢູ່ໃນຮູບຕໍ່ໄປນີ້:

ໃນຮູບຂ້າງເທິງ, ປາຍຊ້າຍແມ່ນຊ່ອງທາງການຜະລິດ beam, ການນໍາໃຊ້ແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງ spectrum ກ້ວາງເພື່ອ emission ແສງສະຫວ່າງ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນໂດຍຜ່ານການແຍກ grating ແລະການຄັດເລືອກຂອງ slit ໄດ້, output a wavelength ສະເພາະຂອງແສງສະຫວ່າງ, beam ຜ່ານ. collimator 1, ກາຍເປັນ beam collimated, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນຜ່ານ polarizer ທີ່ສາມາດ rotate ມຸມ, ກາຍເປັນ polarized light, ແລະ polarized light ແບ່ງອອກເປັນ 2 beam ໂດຍ spectroscope ຫຼັງຈາກ collimator 2 ລວບລວມ. ລໍາແສງຖືກສະທ້ອນເຂົ້າໄປໃນເຄື່ອງກວດຈັບການອ້າງອິງ, ບ່ອນທີ່ລໍາແສງສະຫວ່າງທີ່ເກັບກໍາໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ເປັນການອ້າງອິງເພື່ອແກ້ໄຂການລອຍຕົວຂອງພະລັງງານເນື່ອງຈາກການເຫນັງຕີງຂອງແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງ, ແລະລໍາແສງອື່ນຈະຜ່ານຕົວຢ່າງ, ຖືກປ່ຽນໃຫມ່ໂດຍ collimator 3 ແລະ collimator. 4, ແລະເຂົ້າໄປໃນເຄື່ອງກວດຈັບຢູ່ປາຍຂວາມືຂອງການທົດສອບ. ໃນການທົດສອບຕົວຈິງ, ສອງຄ່າພະລັງງານແມ່ນໄດ້ຮັບໂດຍການໃສ່ໃນແລະເອົາອອກຕົວຢ່າງການທົດສອບ, ແລະການຖ່າຍທອດຂອງຕົວຢ່າງສາມາດໄດ້ຮັບໂດຍການປຽບທຽບພະລັງງານ.
ຫຼັກການຂອງ ellipsometer ແມ່ນຄ້າຍຄືກັນກັບຫຼັກການຂອງ spectrophotometer ຂ້າງເທິງ, ຍົກເວັ້ນວ່າ rotating 1/4 wave plate ໄດ້ຖືກເພີ່ມເປັນອົງປະກອບການຊົດເຊີຍໃນຊ່ອງສົ່ງ beam ແລະຊ່ອງທາງຮັບ, ແລະ polarizer ໄດ້ຖືກເພີ່ມໃນຊ່ອງທາງຮັບ. , ເພື່ອໃຫ້ຄຸນລັກສະນະ polarization ຂອງຕົວຢ່າງສາມາດວິເຄາະໄດ້ຫຼາຍຂື້ນ. ໃນບາງກໍລະນີ, ellipsometer ຍັງຈະໃຊ້ແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງ spectrum ກວ້າງໂດຍກົງ, ແລະຮັບຮອງເອົາ spectrometer slit ແລະ splitter ໃນຕອນທ້າຍຂອງການຮັບ, ສົມທົບກັບເຄື່ອງກວດຈັບ array ເສັ້ນ, ເພື່ອບັນລຸການທົດສອບປະສິດທິພາບຂອງອົງປະກອບ.
3. ການທົດສອບການຖ່າຍທອດ

ໃນການທົດສອບການສົ່ງຕໍ່, ເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການສະທ້ອນຂອງເຄື່ອງກວດຈັບໄດ້ຮັບແສງສະຫວ່າງ, ຂອບເຂດປະສົມປະສານມັກຈະຖືກນໍາໃຊ້ເປັນຕົວຮັບ, ຫຼັກການແມ່ນສະແດງດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

ດັ່ງທີ່ເຫັນໄດ້ຈາກຮູບຂ້າງເທິງ, ທໍ່ປະສົມປະສານແມ່ນຮູບທໍ່ກົມທີ່ເຄືອບດ້ວຍວັດສະດຸເຄືອບການສະທ້ອນການແຜ່ກະຈາຍສີຂາວຢູ່ເທິງຝາຊັ້ນໃນ, ແລະມີຮູປ່ອງຢ້ຽມຢູ່ເທິງຝາບານ, ເຊິ່ງໃຊ້ເປັນຮູແສງສະຫວ່າງຂອງແສງສະຫວ່າງ. ແລະຮູຮັບຂອງເຄື່ອງກວດຈັບແສງ. ດ້ວຍວິທີນີ້, ແສງສະຫວ່າງທີ່ເຂົ້າໄປໃນພື້ນທີ່ປະສົມປະສານແມ່ນສະທ້ອນໃຫ້ເຫັນຫຼາຍຄັ້ງໂດຍຜ່ານການເຄືອບຝາພາຍໃນ, ເຮັດໃຫ້ມີແສງສະຫວ່າງທີ່ເປັນເອກະພາບໃນກໍາແພງພາຍໃນ, ແລະໄດ້ຮັບໂດຍເຄື່ອງກວດຈັບ.
ຕົວຢ່າງ, ໂຄງສ້າງຂອງອຸປະກອນທີ່ໃຊ້ໃນການທົດສອບການສົ່ງສັນຍານຂອງແຜ່ນ optical ແມ່ນສະແດງໃຫ້ເຫັນຂ້າງລຸ່ມນີ້

ໃນຮູບຂ້າງເທິງ, ຕົວຢ່າງທີ່ທົດສອບໄດ້ຖືກວາງໄວ້ໃນຕາຕະລາງການປັບຕົວທີ່ສາມາດປ່ຽນໄດ້ໃນທິດທາງ x ແລະ y. ການຖ່າຍທອດຂອງຕົວຢ່າງສາມາດຖືກທົດສອບຢູ່ໃນຕໍາແຫນ່ງໃດກໍ່ຕາມໂດຍການຄວບຄຸມຄອມພິວເຕີຂອງຕາຕະລາງການປັບຕົວ. ການແຜ່ກະຈາຍການແຜ່ກະຈາຍຂອງແກ້ວແປທັງຫມົດຍັງສາມາດໄດ້ຮັບໂດຍການທົດສອບການສະແກນ, ແລະຄວາມລະອຽດຂອງການທົດສອບແມ່ນຂຶ້ນກັບຂະຫນາດຈຸດຂອງ beam.
4. ການທົດສອບສະທ້ອນແສງ

ສໍາລັບການວັດແທກການສະທ້ອນຂອງຟິມ optical, ປົກກະຕິແລ້ວມີສອງວິທີ, ຫນຶ່ງແມ່ນການວັດແທກພີ່ນ້ອງແລະອີກດ້ານຫນຶ່ງແມ່ນການວັດແທກຢ່າງແທ້ຈິງ. ວິທີການວັດແທກທີ່ກ່ຽວຂ້ອງຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການສະທ້ອນແສງທີ່ມີການສະທ້ອນທີ່ຮູ້ຈັກເພື່ອນໍາໃຊ້ເປັນເອກະສານອ້າງອີງສໍາລັບການທົດສອບການປຽບທຽບ. ໃນທາງປະຕິບັດ, ການສະທ້ອນຂອງກະຈົກອ້າງອິງຕ້ອງໄດ້ຮັບການປັບທຽບເປັນປົກກະຕິກັບອາຍຸຫຼືການປົນເປື້ອນຂອງຊັ້ນຮູບເງົາ. ດັ່ງນັ້ນ, ວິທີການນີ້ມີຄວາມຜິດພາດໃນການວັດແທກທີ່ເປັນໄປໄດ້. ວິທີການວັດແທກການສະທ້ອນແສງຢ່າງແທ້ຈິງຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການປັບຕົວສະທ້ອນແສງຂອງອຸປະກອນການທົດສອບໂດຍບໍ່ມີການວາງຕົວຢ່າງ. ໃນຮູບຂ້າງລຸ່ມນີ້, ໂຄງສ້າງຂອງອຸປະກອນ VW ຄລາສສິກໄດ້ຖືກມອບໃຫ້ເພື່ອບັນລຸການວັດແທກຢ່າງແທ້ຈິງຂອງການສະທ້ອນຂອງຕົວຢ່າງ:

ຮູບຊ້າຍໃນຮູບຂ້າງເທິງສະແດງໃຫ້ເຫັນໂຄງສ້າງຮູບ V ປະກອບດ້ວຍສາມກະຈົກ, M1, M2 ແລະ M3. ທໍາອິດ, ຄ່າຄວາມເຂັ້ມຂອງແສງສະຫວ່າງໃນໂຫມດນີ້ຖືກທົດສອບແລະບັນທຶກເປັນ P1. ຫຼັງຈາກນັ້ນ, ໃນຮູບທີ່ຖືກຕ້ອງ, ຕົວຢ່າງທີ່ຢູ່ພາຍໃຕ້ການທົດສອບຖືກໃສ່ໃນ, ແລະກະຈົກ M2 ຖືກຫມຸນໄປຕໍາແຫນ່ງເທິງເພື່ອສ້າງເປັນໂຄງສ້າງຮູບ W. ການສະທ້ອນຢ່າງແທ້ຈິງຂອງຕົວຢ່າງທີ່ວັດແທກສາມາດໄດ້ຮັບ. ອຸປະກອນນີ້ຍັງສາມາດປັບປຸງໄດ້, ສໍາລັບການຍົກຕົວຢ່າງ, ຕົວຢ່າງທີ່ຢູ່ພາຍໃຕ້ການທົດສອບແມ່ນມີຕາຕະລາງ rotating ເອກະລາດ, ດັ່ງນັ້ນຕົວຢ່າງທີ່ຢູ່ພາຍໃຕ້ການທົດສອບສາມາດຫມຸນໄປມຸມໃດ, ໂດຍການຫມຸນກະຈົກ M2 ກັບຕໍາແຫນ່ງສະທ້ອນທີ່ສອດຄ້ອງກັນ, ເພື່ອບັນລຸໄດ້. beam output, ດັ່ງນັ້ນການສະທ້ອນຂອງຕົວຢ່າງສາມາດທົດສອບໄດ້ຫຼາຍມຸມ.
ສໍາລັບຕົວຢ່າງ, ໂຄງສ້າງຂອງອຸປະກອນທີ່ໃຊ້ໃນການທົດສອບການສະທ້ອນຂອງແຜ່ນ optical ແມ່ນສະແດງໃຫ້ເຫັນຂ້າງລຸ່ມນີ້:

ໃນຮູບຂ້າງເທິງ, ຕົວຢ່າງທີ່ທົດສອບໄດ້ຖືກວາງໄວ້ໃນຕາຕະລາງການປັບການແປພາສາ x / y, ແລະການສະທ້ອນຂອງຕົວຢ່າງສາມາດຖືກທົດສອບຢູ່ທຸກຕໍາແຫນ່ງໂດຍຜ່ານຄອມພິວເຕີ້ຄວບຄຸມຕາຕະລາງປັບ. ໂດຍຜ່ານການທົດສອບການສະແກນ, ແຜນທີ່ການແຈກຢາຍການສະທ້ອນຂອງແກ້ວແປທັງຫມົດຍັງສາມາດໄດ້ຮັບ.

ຕິດຕໍ່:
Email:jasmine@pliroptics.com ;
ໂທລະສັບ/Whatsapp/Wechat:86 19013265659
ເວັບໄຊທ໌: www.pliroptics.com

ເພີ່ມ: ອາຄານ 1, No.1558, ຖະຫນົນປັນຍາ, Qingbaijiang, Chengdu, Sichuan, ຈີນ