1 Veikimo parametrai po dengimo
Ankstesniame straipsnyje pristatėme optinių plonų plėvelių funkcijas, principus, projektavimo programinę įrangą ir įprastas dengimo technologijas. Šiame straipsnyje pristatome po dengimo parametrų testavimą. Komponento paviršiaus eksploataciniai parametrai po padengimo apima pralaidumą (transmittance), atspindį (R), absorbciją (A) ir tt Be to, sugertis (pralaidumas) ir pan. Taip pat reikia išbandyti ir išanalizuoti plėvelės paviršiaus sklaidos charakteristiką S (Scatter).
Pralaidumas T yra šviesos intensyvumo energijos, praeinančios per plėvelę, ir krintančios šviesos energijos santykis. Atspindys R yra dangos paviršiaus atspindimos intensyvumo energijos ir krintančios energijos santykis. Absorbcija A yra plėvelės sluoksnio sugertos šviesos energijos ir krintančios šviesos energijos santykis. Šiems trims parametrams būdingi šie ryšiai:
T + R + A = 1
Tai yra, plėvelės sluoksnio pralaidumo, atspindžio ir sugerties suma yra konstanta 1. Tai reiškia, kad šviesos pluoštui prasiskverbus pro membraną, dalis jo praeina, dalis atsispindi, o likusi dalis. yra absorbuojamas membranos.
Antoptinis komponentasbrėžiniuose, paprastai reikalingas plėvelės paviršiaus pralaidumas arba atspindėjimas, o spektrinis diapazonas ir kritimo kampas taikymo būsenoje turi būti aiškiai apibrėžti. Jei taip pat reikalinga poliarizacija, poliarizacijos būsenų diapazonas turi būti aiškiai apibrėžtas. Pavyzdžiui, dangos reikalavimai toliau pateiktame paveikslėlyje yra tokie, kad esant 770 nm, atspindžio koeficientas turi būti ne mažesnis kaip 88 % esant 45 laipsnių nuolydžiui, o esant 550 nm, pralaidumas turi būti ne mažesnis kaip 70 % esant 45 laipsnių kampui.
Be minėtų optinių savybių, reikia atsižvelgti ir į optinės plėvelės sluoksnio mechanines ir chemines savybes, įskaitant plėvelės sluoksnio atsparumą dilimui, tvirtumą, tirpumą. Be to, reikia atsižvelgti ir į optinio paviršiaus kokybę po padengimo, įskaitant reikalavimus dėl įdubimų, įbrėžimų, nešvarumų, dėmių ir kt.
2 Spektrofotometro principas
Šiame darbe mes sutelkiame dėmesį į optines plėvelės bandymo metodų savybes, kad praktiškai pristatytume pagrindinį spektrofotometrą (spektrofotometrą) ir elipsometrą (elipsometrą), kad būtų galima patikrinti plėvelės parametrus, spektrofotometras gali patikrinti optinio pluošto pralaidumą, atspindį ir sugerties charakteristikas. produktų. Elipsometras gali išmatuoti plėvelės sluoksnio storį ir poliarizacijos charakteristikas, o abiejų principas yra panašus.
Tokio įrenginio struktūrą galima suskirstyti į dvi dalis pluošto generavimo kanalo ir pluošto priėmimo kanalo, kai reikia patikrinti komponento pralaidumą, komponentas dedamas į dviejų kanalų vidurį, kad spindulys eina per mėginį, kai reikia patikrinti komponento atspindį, komponentas dedamas toje pačioje dviejų kanalų pusėje, kad spindulys atsispindėtų mėginyje. Kaip pavyzdys, spektrofotometro, skirto mėginio pralaidumui matuoti, principas parodytas šiame paveikslėlyje:
Aukščiau esančiame paveikslėlyje kairysis galas yra pluošto generavimo kanalas, naudojant plataus spektro šviesos šaltinį šviesai skleisti, o tada perskaidžius groteles ir pasirinkus plyšį, išvedamas tam tikras šviesos bangos ilgis, spindulys praeina pro kolimatorius 1 tampa kolimuotu pluoštu, o tada praeina per poliarizatorių, galintį pasukti kampą, tampa poliarizuota šviesa, o surinkus kolimatorių 2, poliarizuotą šviesą spektroskopas padalija į 2 pluoštus. Šviesos spindulys atsispindi atskaitos detektoriuje, kur surinktas šviesos spindulys naudojamas kaip atskaitos taškas energijos dreifui dėl šviesos šaltinio svyravimų koreguoti, o kitas šviesos spindulys, praeinantis per mėginį, performuojamas kolimatoriumi 3 ir kolimatoriumi. 4 ir patenka į detektorių dešiniajame testo gale. Tikrajame bandyme įdedant ir išimant tiriamąjį pavyzdį gaunamos dvi energijos vertės, o bandinio pralaidumą galima gauti palyginus energiją.
Elipsometro principas yra panašus į aukščiau pateikto spektrofotometro principą, išskyrus tai, kad pluošto siuntimo kanale ir priėmimo kanale kaip kompensavimo elementas pridedama besisukanti 1/4 bangos plokštė, o priėmimo kanale taip pat yra poliarizatorius. , kad būtų galima lanksčiau analizuoti mėginio poliarizacijos charakteristikas. Kai kuriais atvejais elipsometras taip pat tiesiogiai naudos plataus spektro šviesos šaltinį, o priėmimo gale priims plyšio ir skirstytuvo spektrometrą kartu su linijinio matricos detektoriumi, kad būtų atliktas komponento veikimo testas.
3. Pralaidumo bandymas
Atliekant pralaidumo testą, siekiant išvengti šviesos spindulį priimančio detektoriaus atspindžio, integruojanti sfera dažnai naudojama kaip imtuvas, principas parodytas taip:
Kaip matyti iš aukščiau esančio paveikslo, integruojanti sfera yra ertmės rutulys, padengtas balta difuzine atspindžio danga ant vidinės sienos, o rutulinėje sienelėje yra lango anga, kuri naudojama kaip krintančios šviesos šviesos skylė. ir šviesos detektoriaus priėmimo anga. Tokiu būdu į integruojančią sferą patenkanti šviesa kelis kartus atsispindi per vidinės sienos dangą, suformuodama vienodą apšvietimą vidinėje sienelėje, ir ją priima detektorius.
Kaip pavyzdys parodyta prietaiso, naudojamo optinės plokštės pralaidumui tikrinti, struktūra
Aukščiau esančiame paveikslėlyje išbandytas pavyzdys dedamas ant reguliavimo stalo, kurį galima perkelti x ir y kryptimis. Mėginio pralaidumą galima patikrinti bet kurioje padėtyje, kompiuteriniu reguliavimo stalo valdymu. Viso plokščio stiklo pralaidumo pasiskirstymą taip pat galima gauti skenuojant, o bandymo skiriamoji geba priklauso nuo spindulio taško dydžio.
4. Atspindėjimo testas
Optinės plėvelės atspindžio matavimas paprastai yra du būdai: vienas yra santykinis, o kitas - absoliutus matavimas. Taikant santykinį matavimo metodą, kaip palyginimo bandymo etaloną reikia naudoti atšvaitą su žinomu atspindžio koeficientu. Praktiškai etaloninio veidrodžio atspindžio koeficientas turi būti reguliariai kalibruojamas, atsižvelgiant į plėvelės sluoksnio senėjimą arba užteršimą. Todėl šis metodas turi galimų matavimo klaidų. Taikant absoliutaus atspindžio matavimo metodą, bandymo įtaiso atspindį reikia kalibruoti nededant bandinio. Žemiau esančiame paveikslėlyje pateikta klasikinio VW įrenginio struktūra, kad būtų pasiektas absoliutus mėginio atspindžio matavimas:
Kairiajame paveikslėlyje aukščiau pateiktame paveikslėlyje pavaizduota V formos konstrukcija, susidedanti iš trijų veidrodžių M1, M2 ir M3. Pirma, šio režimo šviesos intensyvumo vertė yra patikrinama ir įrašoma kaip P1. Tada dešiniajame paveikslėlyje įdedamas bandomasis pavyzdys, o M2 veidrodis pasukamas į aukščiausią padėtį, kad susidarytų W formos struktūra. Galima gauti absoliutų išmatuoto mėginio atspindžio koeficientą. Šį įtaisą taip pat galima patobulinti, pavyzdžiui, bandomame pavyzdyje taip pat yra nepriklausomas besisukantis stalas, kad bandomąjį pavyzdį būtų galima pasukti bet kokiu kampu, pasukant M2 veidrodį į atitinkamą atspindžio padėtį, kad būtų pasiektas pluošto išvestis, kad mėginio atspindį būtų galima išbandyti keliais kampais.
Kaip pavyzdys parodyta prietaiso, naudojamo optinės plokštės atspindžiui tikrinti, struktūra:
Aukščiau esančiame paveikslėlyje išbandytas pavyzdys dedamas ant x/y transliacijos reguliavimo lentelės, o mėginio atspindį galima patikrinti bet kurioje padėtyje, naudojant kompiuterinį reguliavimo lentelės valdymą. Atliekant nuskaitymo testą, taip pat galima gauti viso plokščio stiklo atspindžio pasiskirstymo žemėlapį.
Susisiekite:
Email:jasmine@pliroptics.com ;
Telefonas/Whatsapp/Wechat: 86 19013265659
svetainė: www.pliroptics.com
Pridėti: 1 pastatas, Nr. 1558, žvalgybos kelias, Čingbaidziangas, Čengdu, Sičuanas, Kinija
Paskelbimo laikas: 2024-04-23
