1 Бүрээсний дараах гүйцэтгэлийн үзүүлэлтүүд
Өмнөх нийтлэлд бид оптик нимгэн хальсны үйл ажиллагаа, зарчим, дизайны програм хангамж, бүрэх нийтлэг аргуудыг танилцуулсан. Энэ нийтлэлд бид өнгөлгөөний дараах параметрүүдийн туршилтыг танилцуулж байна. Бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн гадаргуугийн гүйцэтгэлийн үзүүлэлтүүд нь өнгөлгөөний (дамжуулалт), тусгал (R), шингээх чадвар (A) гэх мэт. Үүнээс гадна шингээлт (дамжуулагч) гэх мэт. Мөн хальсны гадаргуугийн тархалтын шинж чанар S (Scatter) -ийг шалгаж, шинжлэх шаардлагатай.
Дамжуулах чадвар T нь хальсаар дамжин өнгөрөх гэрлийн эрчимийг туссан гэрлийн энергитэй харьцуулсан харьцаа юм. Тусгал R нь бүрхүүлийн гадаргуугаас туссан эрчим хүчний энергийн туссан энергийн харьцаа юм. Шингээлт А гэдэг нь хальсан давхаргад шингэсэн гэрлийн энергийг туссан гэрлийн энергитэй харьцуулсан харьцаа юм. Эдгээр гурван параметрийн хувьд дараахь хамаарал бий.
T + R + A = 1
Өөрөөр хэлбэл, хальсны давхаргын дамжуулалт, тусгал, шингээлтийн нийлбэр нь тогтмол 1. Энэ нь гэрлийн туяа мембранаар дамжин өнгөрсний дараа нэг хэсэг нь дамжин өнгөрч, нэг хэсэг нь ойж, үлдсэн хэсэг нь туссан гэсэн үг юм. мембранаар шингэдэг.
дээроптик бүрэлдэхүүн хэсэгЗураг дээр хальсны гадаргуугийн дамжуулалт эсвэл тусгалыг ихэвчлэн шаарддаг бөгөөд хэрэглээний төлөв дэх спектрийн хүрээ ба тусгалын өнцгийг тодорхой тодорхойлох шаардлагатай. Хэрэв туйлшрал бас шаардлагатай бол туйлшралын мужийг тодорхой тодорхойлох шаардлагатай. Жишээлбэл, доорх зурагт бүрэх шаардлага нь 770 нм-ийн цацрагийн тусгал нь 45 градусын давтамжтай үед 88% -иас багагүй байх ёстой бөгөөд 550 нм-ийн цацрагийн дамжуулалт нь 45 градусын давтамжтай үед 70% -иас багагүй байх ёстой.
Дээр дурдсан оптик шинж чанаруудаас гадна оптик хальсны давхаргын механик болон химийн шинж чанарыг харгалзан үзэх шаардлагатай бөгөөд үүнд хальсны давхаргын элэгдлийн эсэргүүцэл, бат бөх чанар, уусах чадвар зэрэг орно. Нэмж дурдахад, бүрсэний дараа оптик гадаргуугийн чанарыг анхаарч үзэх хэрэгтэй, үүнд нүхжилт, зураас, шороо, толбо гэх мэт шаардлагыг харгалзан үзэх шаардлагатай.
2 Спектрофотометрийн зарчим
Энэхүү нийтлэлд бид хальсны туршилтын аргуудын оптик шинж чанарт анхаарлаа хандуулж, практикт үндсэн спектрофотометр (Спектрофотометр) ба эллипсометр (эллипсометр) -ийг нэвтрүүлэх, хальсны параметрүүдийг турших, спектрофотометр нь оптикийн дамжуулалт, тусгал, шингээлтийн шинж чанарыг шалгах боломжтой. бүтээгдэхүүн. Эллипсометр нь хальсны давхаргын зузаан ба туйлшралын шинж чанарыг хэмжих боломжтой бөгөөд хоёулангийнх нь зарчим ижил байна.
Ийм төхөөрөмжийн бүтцийг цацраг үүсгэх суваг ба цацраг хүлээн авах суваг гэсэн хоёр хэсэгт хувааж болох бөгөөд бүрэлдэхүүн хэсгийн дамжуулалтыг шалгах шаардлагатай үед бүрэлдэхүүн хэсгийг хоёр сувгийн дунд байрлуулж, цацраг дээжээр дамждаг бөгөөд бүрэлдэхүүн хэсгийн тусгалыг шалгах шаардлагатай үед бүрэлдэхүүн хэсгийг хоёр сувгийн нэг талд байрлуулж, дээжээр цацрагийг тусгана. Жишээ болгон, дээжийн дамжуулалтыг хэмжих спектрофотометрийн зарчмыг дараах зурагт үзүүлэв.
Дээрх зурагт зүүн төгсгөл нь өргөн хүрээний гэрлийн эх үүсвэрийг ашиглан гэрлийн цацраг үүсгэх суваг бөгөөд дараа нь сараалжыг хувааж, ангархайг сонгох замаар тодорхой долгионы урттай гэрлийг гаргаж, туяа дамжин өнгөрдөг. коллиматор 1, коллиматор цацраг болж, дараа нь өнцгийг эргүүлэх боломжтой туйлшруулагчаар дамжин өнгөрч, туйлширсан гэрэл болж, коллиматор 2-ыг цуглуулсны дараа туйлширсан гэрлийг спектроскопоор 2 цацрагт хуваана. Гэрлийн туяа нь лавлагаа детекторт тусгагдсан бөгөөд цуглуулсан гэрлийн туяа нь гэрлийн эх үүсвэрийн хэлбэлзлээс үүдэлтэй энергийн шилжилтийг засахын тулд лавлагаа болгон ашигладаг бөгөөд өөр гэрлийн туяа дээжээр дамжин өнгөрч, коллиматор 3 ба коллиматорын тусламжтайгаар хэлбэрийг нь өөрчилдөг. 4, мөн туршилтын баруун төгсгөлд байгаа детектор руу орно. Бодит туршилтанд соруулсан дээжийг оруулах, гаргах замаар хоёр энергийн утгыг олж авдаг бөгөөд дээжийн дамжуулалтыг энергийг харьцуулж олж авна.
Эллипсометрийн зарчим нь дээрх спектрофотометрийн зарчимтай төстэй бөгөөд зөвхөн цацраг илгээх суваг болон хүлээн авах сувагт нөхөн олговрын элемент болгон эргэдэг 1/4 долгионы хавтанг нэмж, хүлээн авах сувагт туйлшруулагчийг нэмдэг. , ингэснээр дээжийн туйлшралын шинж чанарыг илүү уян хатан шинжилж болно. Зарим тохиолдолд эллипсометр нь өргөн хүрээний гэрлийн эх үүсвэрийг шууд ашигладаг бөгөөд бүрэлдэхүүн хэсгийн гүйцэтгэлийг шалгахын тулд шугаман массив детектортой хослуулан хүлээн авах төгсгөлд ангархай, задлагч спектрометрийг ашигладаг.
3. Дамжуулах чадварыг шалгах
Дамжуулах туршилтын хувьд гэрлийн цацрагийг хүлээн авч буй детекторын тусгалаас зайлсхийхийн тулд интеграцийн бөмбөрцгийг хүлээн авагч болгон ихэвчлэн ашигладаг бөгөөд зарчмыг дараах байдлаар харуулав.
Дээрх зургаас харахад нэгтгэх бөмбөрцөг нь дотоод хананд цагаан сарнисан тусгал материалаар бүрсэн хөндий бөмбөрцөг бөгөөд бөмбөгний хананд туссан гэрлийн гэрлийн нүх болгон ашигладаг цонхны нүх байна. мөн гэрлийн мэдрэгчийн хүлээн авах нүх. Ийм байдлаар интеграцийн бөмбөрцөгт орж буй гэрлийг дотоод хананы бүрээсээр хэд хэдэн удаа тусгаж, дотоод хананд жигд гэрэлтүүлэг үүсгэж, детектороор хүлээн авдаг.
Жишээлбэл, оптик хавтангийн дамжуулалтыг шалгахад ашигладаг төхөөрөмжийн бүтцийг доор үзүүлэв
Дээрх зурагт туршсан дээжийг x ба y чиглэлд шилжүүлэх боломжтой тохируулгын ширээн дээр байрлуулсан болно. Дээжийн дамжуулалтыг тохируулах хүснэгтийн компьютерийн удирдлагаар дурын байрлалд шалгаж болно. Бүх хавтгай шилний дамжуулалтын хуваарилалтыг сканнердах туршилтаар олж авах боломжтой бөгөөд туршилтын нарийвчлал нь цацрагийн толбоны хэмжээнээс хамаарна.
4. Тусгах чадварын тест
Оптик хальсны тусгалыг хэмжихэд ихэвчлэн хоёр арга байдаг, нэг нь харьцангуй хэмжилт, нөгөө нь туйлын хэмжилт юм. Харьцангуй хэмжилтийн арга нь харьцуулах туршилтын лавлагаа болгон ашиглахын тулд мэдэгдэж буй тусгалтай цацруулагчийг шаарддаг. Практикт лавлагаа толины тусгалыг хальсны давхаргын хөгшрөлт, бохирдолтой холбоотойгоор тогтмол тохируулж байх шаардлагатай. Тиймээс энэ арга нь хэмжилтийн боломжит алдаатай байдаг. Үнэмлэхүй тусгалыг хэмжих арга нь дээжийг байрлуулахгүйгээр туршилтын төхөөрөмжийн тусгалыг тохируулахыг шаарддаг. Доорх зурагт дээжийн тусгалын үнэмлэхүй хэмжилтэнд хүрэхийн тулд сонгодог VW төхөөрөмжийн бүтцийг үзүүлэв.
Дээрх зургийн зүүн талын зураг нь M1, M2, M3 гэсэн гурван тольноос бүрдсэн V хэлбэрийн бүтцийг харуулж байна. Нэгдүгээрт, энэ горим дахь гэрлийн эрчмийн утгыг шалгаж, P1 гэж тэмдэглэнэ. Дараа нь зөв зурган дээр туршиж буй дээжийг хийж, M2 толин тусгалыг дээд байрлалд эргүүлж W хэлбэрийн бүтэц үүсгэнэ. Хэмжсэн дээжийн үнэмлэхүй тусгалыг олж авах боломжтой. Энэ төхөөрөмжийг мөн сайжруулж болно, жишээлбэл, туршилтанд хамрагдсан дээж нь бие даасан эргэдэг хүснэгтээр тоноглогдсон тул M2 толин тусгалыг харгалзах тусгалын байрлалд эргүүлснээр туршилтанд хамрагдсан дээжийг дурын өнцөгт эргүүлэх боломжтой. цацрагийн гаралт, ингэснээр дээжийн тусгалыг олон өнцгөөр шалгах боломжтой.
Жишээлбэл, оптик хавтангийн тусгалыг шалгахад ашигладаг төхөөрөмжийн бүтцийг доор үзүүлэв.
Дээрх зурагт шалгасан дээжийг x/y орчуулгын тохируулгын хүснэгтэд байрлуулсан бөгөөд тохируулгын хүснэгтийн компьютерийн удирдлагаар дамжуулан дээжийн тусгалыг дурын байрлалд шалгаж болно. Сканнердах туршилтаар бүх хавтгай шилний тусгалын тархалтын зургийг авах боломжтой.
Холбоо барих:
Email:jasmine@pliroptics.com ;
Утас/Whatsapp/Wechat:86 19013265659
вэб: www.pliroptics.com
Нэмэх: 1-р байр, №1558, тагнуулын зам, Чинбайжян, Чэнду, Сычуань, Хятад
Шуудангийн цаг: 2024 оны 4-р сарын 23
