د فلم پیرامیټر ازموینه - لیږد او انعکاس

د پورته نظری ملکیتونو سربیره ، د نظری فلم پرت میخانیکي او کیمیاوي ملکیتونه هم باید په پام کې ونیول شي ، پشمول د پوښ مقاومت ، ټینګښت ، د فلم پرت محلول. سربیره پردې ، د پوښ کولو وروسته د نظری سطح کیفیت هم باید په پام کې ونیول شي ، پشمول د پیټینګ ، سکریچونو ، کثافاتو ، داغونو او نورو اړتیاو په شمول.
2 د سپیکٹرو فوټومیټر اصول

پدې مقاله کې ، موږ د فلم ازموینې میتودونو نظری ملکیتونو باندې تمرکز کوو ترڅو په عمل کې د فلم پیرامیټرو ازموینې لپاره اصلي سپیکٹرو فوټومیټر (سپیکٹرو فوټومیټر) او ایلیپسومیټر (ایلیپسومیټر) معرفي کړو ، سپیکٹرو فوټومیټر کولی شي د نظری لیږد ، انعکاس او جذب ځانګړتیاوې معاینه کړي. محصولات ellipsometer کولای شي د فلم د طبقو ضخامت او قطبي ځانګړتياوې اندازه کړي، او د دواړو اصول يو شان دي.
د دې ډول وسیلې جوړښت د بیم تولید چینل او د بیم ترلاسه کونکي چینل په دوه برخو ویشل کیدی شي ، کله چې د برخې لیږد ازموینې ته اړتیا وي ، اجزا د دوه چینلونو په مینځ کې ځای په ځای کیږي ، ترڅو بیم د نمونې څخه تیریږي، کله چې د برخې انعکاس ازمویل ته اړتیا وي، اجزا د دوه چینلونو په ورته اړخ کې ځای پرځای کیږي، ترڅو بیم د نمونې لخوا منعکس شي. د مثال په توګه، د نمونې د لیږد اندازه کولو لپاره د سپیکٹرو فوټومیټر اصول په لاندې شکل کې ښودل شوي:

په پورته شکل کې، کیڼ اړخ د بیم د تولید چینل دی، چې د رڼا د خپریدو لپاره د پراخو طیفیک رڼا سرچینې کاروي، او بیا د جار د ویشلو او د سلیټ د انتخاب له لارې، د رڼا یو ځانګړي طول موج تولیدوي، بیم له لارې تیریږي. collimator 1، په collimated beam بدلیږي، او بیا د پولرائزر څخه تیریږي چې کولی شي زاویه وګرځوي، په قطبي رڼا بدلیږي، او قطبي رڼا د 2 collimator 2 راټولولو وروسته د سپیکٹروسکوپ لخوا په 2 بیمونو ویشل کیږي. د رڼا بیم د حوالې کشف کونکي ته منعکس کیږي، چیرته چې راټول شوي رڼا بیم د ریفرنس په توګه کارول کیږي ترڅو د رڼا سرچینې د بدلونونو له امله د انرژی جریان سم کړي، او بل رڼا بیم د نمونې څخه تیریږي، د 3 collimator او collimator لخوا بیا شکل کیږي. 4، او د ازموینې په لرې ښي پای کې کشف کونکي ته ننوځي. په حقیقي ازموینه کې، د انرژی دوه ارزښتونه د آزموینې نمونې په مینځلو او اخیستلو سره ترلاسه کیږي، او د نمونې لیږد د انرژي پرتله کولو سره ترلاسه کیدی شي.
د ایلیپسومیټر اصول د پورتنۍ سپیکٹرو فوټومیټر اصول سره ورته دي ، پرته له دې چې د بیم لیږلو چینل او ترلاسه کونکي چینل کې د 1/4 څپې پلیټ د جبران عنصر په توګه اضافه کیږي ، او په ترلاسه کونکي چینل کې پولرائزر هم اضافه کیږي. د دې لپاره چې د نمونې د قطبي کولو ځانګړتیاوې په ډیر انعطاف سره تحلیل شي. په ځینو مواردو کې، ellipsometer به په مستقیم ډول د پراخه سپیکٹرم رڼا سرچینه وکاروي، او د ترلاسه کولو په پای کې یو سلیټ او سپلیټر سپیکٹرومیټر غوره کړي، د خطي سري کشف کونکي سره یوځای، د اجزا د فعالیت ازموینې ترلاسه کولو لپاره.
3. د لیږد ازموینه

د لیږدونې ازموینې کې، د رڼا بیم ترلاسه کولو د کشف کونکي انعکاس څخه مخنیوي لپاره، د ادغام ساحه اکثرا د رسیدونکي په توګه کارول کیږي، اصول په لاندې ډول ښودل شوي:

لکه څنګه چې د پورتنۍ شمیرې څخه لیدل کیدی شي، د ادغام ساحه د غار ساحه ده چې په داخلي دیوال کې د سپینې توزیع انعکاس کوټ مواد سره پوښل شوي، او د بال دیوال کې د کړکۍ سوري شتون لري چې د پیښې د رڼا د رڼا سوري په توګه کارول کیږي. او د ر lightا کشف کونکي ترلاسه کونکي سوري. په دې توګه، رڼا چې د ادغام ساحې ته ننوځي څو ځله د داخلي دیوال پوښښ له لارې منعکس کیږي، په داخلي دیوال کې یونیفورم رڼا جوړوي، او د کشف کونکي لخوا ترلاسه کیږي.
د مثال په توګه، د یوې وسیلې جوړښت چې د نظری پلیټ لیږد ازموینې لپاره کارول کیږي لاندې ښودل شوي

په پورته شکل کې، ازمول شوي نمونه د تعدیل په میز کې ځای پرځای شوي چې په x او y لارښوونو کې لیږدول کیدی شي. د نمونې لیږد د تنظیم کولو میز د کمپیوټر کنټرول لخوا په هر موقعیت کې ازمول کیدی شي. د ټول فلیټ شیشې لیږد توزیع د سکین کولو ازموینې لخوا هم ترلاسه کیدی شي ، او د ازموینې حل د بیم د ځای اندازې پورې اړه لري.
4. د انعکاس ازموینه

د نظري فلم انعکاس اندازه کولو لپاره، معمولا دوه لارې شتون لري، یو یې نسبي اندازه او بل یې مطلق اندازه ده. د نسبي اندازه کولو میتود د پیژندل شوي انعکاس سره منعکس کونکي ته اړتیا لري ترڅو د پرتله کولو ازموینې لپاره د حوالې په توګه وکارول شي. په عمل کې، د ریفرنس عکس انعکاس ته اړتیا لري په منظم ډول د فلم پرت د عمر یا ککړتیا سره. له همدې امله، دا میتود احتمالي اندازه کولو تېروتنې لري. د مطلق انعکاس اندازه کولو میتود د نمونې ځای په ځای کولو پرته د ازموینې وسیلې انعکاس کولو انعکاس ته اړتیا لري. په لاندې شکل کې، د کلاسیک VW وسیلې جوړښت د نمونې د انعکاس مطلق اندازه کولو لپاره ورکړل شوی:

په پورته شکل کې کیڼ اړخ د V شکل جوړښت ښیي چې درې عکسونه لري، M1، M2 او M3. لومړی، په دې حالت کې د رڼا شدت ارزښت ازمول شوی او د P1 په توګه ثبت شوی. بیا، په سم شکل کې، د ازموینې لاندې نمونه کېښودل کیږي، او د M2 عکس د W شکل جوړښت رامینځته کولو لپاره پورتنۍ حالت ته وګرځول شي. د اندازه شوي نمونې مطلق انعکاس ترلاسه کیدی شي. دا وسیله هم ښه کیدی شي، د بیلګې په توګه، د آزموینې لاندې نمونه هم د یو خپلواک څرخولو میز سره سمبال شوې، ترڅو د ازموینې لاندې نمونه هرې زاویه ته وګرځول شي، د M2 عکس د ورته انعکاس موقعیت ته په ګرځولو سره، د ترلاسه کولو لپاره. د بیم محصول، د دې لپاره چې د نمونې انعکاس په څو زاویو کې ازموینه شي.
د مثال په توګه، د یوې وسیلې جوړښت چې د نظری پلیټ انعکاس ازموینې لپاره کارول کیږي لاندې ښودل شوي:

په پورته شکل کې، ازمول شوې نمونه د x/y ژباړې د تعدیل په میز کې ځای پر ځای شوې، او د نمونې انعکاس په هر ځای کې د تنظیم کولو میز د کمپیوټر کنټرول له لارې ازموینه کیدی شي. د سکینګ ازموینې له لارې ، د ټول فلیټ شیشې د انعکاس توزیع نقشه هم ترلاسه کیدی شي.

اړیکه:
Email:jasmine@pliroptics.com ;
تلیفون/واټس اپ/ویچټ: 86 19013265659
ویب پاڼه: www.pliroptics.com

اضافه کړئ: ودانۍ 1، نمبر 1558، استخباراتي سړک، کینګ بایجیانګ، چینګدو، سیچوان، چین