1 د نظري فلمونو اصول
پدې مقاله کې به موږ د نظري پتلي فلمونو اصول معرفي کړو، په عام ډول کارول شوي ډیزاین سافټویر او کوټینګ ټیکنالوژي.
د دې اصلي اصل چې ولې آپټیکل فلمونه کولی شي ځانګړي دندې ترلاسه کړي لکه د انعکاس ضد ، لوړ انعکاس یا د ر lightا ویشل د رڼا پتلي فلم مداخله ده. پتلي فلمونه معمولا د لوړ انعکاس شاخص موادو پرتونو او د ټیټ انعکاس شاخص مادي پرتونو څخه یو یا څو ګروپونه په بدیل ډول لوړ شوي. دا فلم پرت مواد عموما اکسایډونه، فلزات یا فلورایډونه دي. د فلم د شمیر، ضخامت او مختلف فلم پرتونو په ترتیب کولو سره، د پرتونو ترمنځ د انعکاس شاخص کې توپیر کولی شي د فلم پرتونو ترمنځ د رڼا بیم مداخله تنظیم کړي ترڅو اړین دندې ترلاسه کړي.
راځئ چې د دې پدیدې د روښانه کولو لپاره د مثال په توګه یو عام انعکاس ضد کوټینګ واخلو. د مداخلې د اعظمي یا کمولو لپاره، د کوټینګ پرت نظری ضخامت معمولا 1/4 (QWOT) یا 1/2 (HWOT) وي. په لاندې شکل کې، د پیښې منځنۍ انعکاس شاخص n0 دی، او د سبسټریټ انعکاس شاخص ns دی. له همدې امله، د فلم د موادو د انعکاس شاخص انځور چې کولای شي د مداخلې د لغوه شرايطو توليد محاسبه شي. د فلم د پورتنۍ سطحې لخوا منعکس شوي رڼا بیم R1 دی، د رڼا بیم د فلم د ښکته سطح لخوا منعکس شوی R2 دی. کله چې د فلم نظری ضخامت 1/4 طول موج وي، د R1 او R2 تر منځ د نظری لارې توپیر 1/2 طول موج دی، او د مداخلې شرایط پوره کیږي، په دې توګه د مداخلې ویجاړونکي مداخله تولیدوي. پدیده.
په دې توګه، د منعکس شوي بیم شدت خورا کوچنی کیږي، په دې توګه د انعکاس ضد هدف ترلاسه کوي.
2 د نظری پتلی فلم ډیزاین سافټویر
د فلم سیسټمونو ډیزاین کولو لپاره تخنیکانو ته د اسانتیا لپاره چې مختلف ځانګړي دندې پوره کوي ، د پتلي فلم ډیزاین سافټویر رامینځته شوی. د ډیزاین سافټویر په عام ډول کارول شوي کوټینګ توکي او د دوی پیرامیټرې ، د فلم پرت سمول او د اصلاح کولو الګوریتمونه او تحلیلي دندې مدغم کوي ، د تخنیکرانو لپاره رامینځته کول او تحلیل کول اسانه کوي. د فلم بیلابیل سیسټمونه. د فلم ډیزاین سافټویر معمولا کارول کیږي په لاندې ډول دي:
A.TFCalc
TFCalc د نظری پتلی فلم ډیزاین او تحلیل لپاره یو نړیوال وسیله ده. دا د انعکاس ضد ، لوړ انعکاس ، بانډ پاس ، سپیکٹروسکوپیک ، مرحلې او نورو فلم سیسټمونو مختلف ډولونو ډیزاین کولو لپاره کارول کیدی شي. TFCalc کولی شي د دوه اړخیزه فلم سیسټم په سبسټریټ کې ډیزاین کړي، په یوه سطح کې تر 5,000 پورې د فلم پرتونو سره. دا د فلم سټیک فارمولونو داخلولو ملاتړ کوي او کولی شي مختلف ډوله روښنايي انډول کړي: لکه د شنک بیمونه ، تصادفي وړانګې بیمونه او داسې نور. دوهم ، سافټویر د اصلاح کولو ځانګړي دندې لري ، او کولی شي د مطلوب کولو لپاره خورا ارزښت او تغیراتي میتودونه وکاروي. انعکاس، لیږد، جاذبه، مرحله، ellipsometry پیرامیټونه او د فلم سیسټم نور اهداف. سافټویر مختلف تحلیلي دندې مدغم کوي ، لکه انعکاس ، لیږد ، جاذبیت ، د ellipsometry پیرامیټر تحلیل ، د بریښنایی ساحې شدت توزیع وکر ، د فلم سیسټم انعکاس او د لیږد رنګ تحلیل ، د کرسټال کنټرول وکر محاسبه ، د فلم پرت زغم او حساسیت تحلیل ، یلییلډ ، او داسې نور. د TFCalc د عملیاتو انٹرفیس په لاندې ډول دی:
د عملیاتو انٹرفیس کې چې پورته ښودل شوي ، د پیرامیټونو او حدودو شرایطو داخلولو او اصلاح کولو سره ، تاسو کولی شئ د فلم سیسټم ترلاسه کړئ چې ستاسو اړتیاوې پوره کوي. عملیات نسبتا ساده او کارول اسانه دي.
ب. اړین میکلیوډ
لازمي میکلیوډ د ریښتیني ملټي سند عملیاتو انٹرفیس سره د بشپړ نظری فلم تحلیل او ډیزاین سافټویر کڅوړه ده. دا کولی شي د آپټیکل کوټینګ ډیزاین کې مختلف اړتیاوې پوره کړي ، د ساده واحد پرت فلمونو څخه تر سخت سپیکٹروسکوپي فلمونو پورې. ، دا کولی شي د طول موج ویش ملټي پلیکسینګ (WDM) او د کثافاتو طول موج ډیویژن ملټي پلیکسینګ (DWDM) فلټرونه هم ارزونه وکړي. دا کولی شي له سکریچ څخه ډیزاین کړي یا موجوده ډیزاینونه اصلاح کړي، او کولی شي په ډیزاین کې غلطی سروې کړي. دا په دندو کې بډایه او ځواکمن دی.
د سافټویر ډیزاین انٹرفیس په لاندې شکل کې ښودل شوی:
C. OptiLayer
د OptiLayer سافټویر د نظری پتلی فلمونو ټولې پروسې ملاتړ کوي: پیرامیټونه - ډیزاین - تولید - انعطاف تحلیل. پدې کې درې برخې شاملې دي: OptiLayer، OptiChar، او OptiRE. دلته د OptiReOpt متحرک لینک کتابتون (DLL) هم شتون لري چې کولی شي د سافټویر دندې ته وده ورکړي.
OptiLayer د ډیزاین څخه هدف ته د ارزونې فعالیت معاینه کوي، د ډیزاین هدف د اصلاح کولو له لارې ترلاسه کوي، او د تولید څخه مخکې د تېروتنې تحلیل ترسره کوي. OptiChar د پتلي فلم تیوري کې د مختلف مهم فکتورونو لاندې د پرت مادي طیفیک ځانګړتیاو او د هغې اندازه شوي تمثیلي ځانګړتیاو ترمینځ د توپیر فعالیت معاینه کوي ، او د غوره او ریښتیني پرت مادي ماډل ترلاسه کوي او په اوسني ډیزاین کې د هر فاکتور نفوذ ، کارول په ګوته کوي څه. فکتورونه باید په پام کې ونیول شي کله چې د موادو د دې طبقې ډیزاین کول؟ OptiRE د ډیزاین ماډل طیفې ځانګړتیاوې معاینه کوي او د ماډل طیفې ځانګړتیاوې د تولید وروسته په تجربه کې اندازه کیږي. د انجینرۍ انعطاف له لارې ، موږ د تولید پرمهال رامینځته شوي ځینې غلطۍ ترلاسه کوو او د تولید لارښود کولو لپاره یې د تولید پروسې ته بیرته ورکوو. پورتني ماډلونه د متحرک لینک کتابتون فعالیت له لارې وصل کیدی شي ، پدې توګه د فلم ډیزاین څخه تر تولید پورې په یو لړ پروسو کې د ډیزاین ، ترمیم او ریښتیني وخت نظارت په څیر دندې درک کوي.
3 د کوټینګ ټیکنالوژي
د مختلف پلیټینګ میتودونو له مخې ، دا په دوه کټګوریو ویشل کیدی شي: د کیمیاوي کوټینګ ټیکنالوژي او فزیکي کوټینګ ټیکنالوژي. د کیمیاوي کوټینګ ټیکنالوژي په عمده ډول د ډوبیدو پلیټینګ او سپری پلیټینګ ویشل شوې. دا ټیکنالوژي ډیره ککړه ده او د فلم ضعیف فعالیت لري. دا په تدریجي ډول د فزیکي کوټینګ ټیکنالوژۍ نوي نسل لخوا ځای په ځای کیږي. فزیکی کوٹنگ د ویکیوم تبخیر، آئن پلیټینګ او داسې نورو په واسطه ترسره کیږي. د ویکیوم کوټینګ د تبخیر (یا توییدل) فلزات، مرکبات او نور فلمي مواد په خلا کې د کوټ کولو لپاره په سبسټریټ کې جمع کولو طریقه ده. په خلا چاپیریال کې، د کوټینګ تجهیزات لږ ناپاکۍ لري، کوم چې کولی شي د موادو د سطحې اکسیډریشن مخه ونیسي او د فلم د طیف یونیفورم او ضخامت ثابتولو کې مرسته وکړي، نو دا په پراخه توګه کارول کیږي.
په نورمال حالت کې، د 1 اتموسفیر فشار د 10 څخه تر 5 Pa پورې دی، او د ویکیوم کوټ کولو لپاره د هوا فشار په عموم ډول د 10 څخه د 3 Pa او پورته څخه پورته وي، کوم چې د لوړ ویکیوم کوټینګ پورې اړه لري. په ویکیوم کوټینګ کې، د نظری اجزاو سطحه باید ډیره پاکه وي، نو د پروسس کولو پرمهال د ویکیوم چیمبر هم باید خورا پاک وي. اوس مهال ، د پاک خلا چاپیریال ترلاسه کولو لاره عموما د ویکیوم کولو کارول دي. د تیلو د خپریدو پمپونه، یو مالیکولر پمپ یا د کنډسینشن پمپ د خلا ایستلو او د لوړ خلا چاپیریال ترلاسه کولو لپاره کارول کیږي. د تیلو توزیع پمپونه یخ اوبو او ملاتړی پمپ ته اړتیا لري. دوی په اندازې کې لوی دي او لوړه انرژي مصرفوي، کوم چې د کوټینګ پروسې ته د ککړتیا لامل کیږي. مالیکولر پمپونه معمولا د دوی په کار کې د مرستې لپاره ملاتړي پمپ ته اړتیا لري او ګران دي. په مقابل کې، د تودوخې پمپونه د ککړتیا لامل نه کیږي. ، د ملاتړ پمپ ته اړتیا نلري ، لوړ موثریت او ښه اعتبار لري ، نو دا د آپټیکل ویکیوم کوټینګ لپاره خورا مناسب دی. د عام ویکیوم کوټینګ ماشین داخلي خونې په لاندې شکل کې ښودل شوي:
په ویکیوم کوټینګ کې، د فلم مواد باید ګازي حالت ته تودوخه شي او بیا د سبسټریټ په سطح کې زیرمه شي ترڅو د فلم پرت جوړ کړي. د مختلف پلیټینګ میتودونو له مخې ، دا په دریو ډولونو ویشل کیدی شي: د تودوخې تبخیر تودوخې ، د تودوخې تودوخې او د آئن پلیټینګ.
د تودوخې تبخیر تودوخه معمولا د کروسیبل تودوخې لپاره د مقاومت تار یا د لوړې فریکونسۍ انډکشن کاروي ، ترڅو په کرسیبل کې د فلم مواد تودوخه شي او بخار شي ترڅو کوټ جوړ کړي.
د تودوخې تودوخه په دوه ډوله ویشل شوې ده: د ion beam sputtering heating او magnetron sputtering heating. د آیون بیم سپټرینګ تودوخه د آیون بیم خارجولو لپاره د آیون ټوپک کاروي. د آیون بیم هدف د پیښې په یو مشخص زاویه کې بمباري کوي او د هغې د سطحې طبقه تویوي. اتومونه، کوم چې د سبسټریټ په سطحه کې جمع کیږي ترڅو یو پتلی فلم جوړ کړي. د ion beam sputtering اصلي زیان دا دی چې د هدف په سطحه بمبار شوې ساحه خورا کوچنۍ ده او د ذخیره کولو کچه عموما ټیټه وي. د میګنیټرون سپټرینګ تودوخه پدې معنی ده چې الکترون د بریښنایی ساحې د عمل لاندې د سبسټریټ په لور ګړندی کیږي. د دې پروسې په جریان کې، برقیان د ارګون ګاز اتومونو سره ټکر کوي، د ارګون ایونونو او الکترونونو لوی شمیر ionizing. الکترونونه د سبسټریټ په لور پرواز کوي، او ارګون ایونونه د بریښنایی ساحې لخوا تودوخه کیږي. هدف ګړندی کیږي او د هدف د عمل لاندې بمباري کیږي ، او په هدف کې غیر جانبدار هدف اتومونه د فلم جوړولو لپاره په سبسټریټ کې زیرمه کیږي. Magnetron sputtering د لوړ فلم جوړونې نرخ، د ټیټ سبسټریټ تودوخې، د ښه فلم چپکولو، او کولی شي د لوی ساحې پوښښ ترلاسه کړي.
د آیون پلیټینګ هغه میتود ته اشاره کوي چې د ګاز خارج شوي مادې په جزوي ډول د ګاز یا تبخیر شوي موادو ایونیز کولو لپاره کاروي ، او بخار شوي مادې د ګاز ایونونو یا بخار شوي مادې ایونونو بمبارۍ لاندې په سبسټریټ کې زیرمه کوي. د آیون پلیټینګ د ویکیوم تبخیر او سپټرینګ ټیکنالوژۍ ترکیب دی. دا د تبخیر او تودوخې پروسې ګټې سره یوځای کوي او د پیچلي فلم سیسټمونو سره د ورک پیس کوټ کولی شي.
4 پایله
په دې مقاله کې، موږ لومړی د نظری فلمونو بنسټیز اصول معرفي کوو. د فلم د شمیر او ضخامت په ټاکلو او د مختلف فلم پرتونو ترمنځ د انعکاس شاخص کې توپیر سره، موږ کولی شو د فلم پرتونو ترمنځ د رڼا بیم مداخله ترلاسه کړو، په دې توګه د اړین فلم پرت فعالیت ترلاسه کوو. دا مقاله بیا په عام ډول کارول شوي فلم ډیزاین سافټویر معرفي کوي ترڅو هرڅوک د فلم ډیزاین لومړنۍ پوهه ورکړي. د مقالې په دریمه برخه کې، موږ د کوټینګ ټیکنالوژۍ تفصيلي پیژندنه ورکوو، د ویکیوم کوټینګ ټیکنالوژۍ تمرکز کوي چې په پراخه توګه په عمل کې کارول کیږي. زه باور لرم چې د دې مقالې په لوستلو سره، هرڅوک به د نظری کوټینګ په اړه ښه پوهه ولري. په راتلونکې مقاله کې، موږ به د لیپت شوي اجزاوو د کوټینګ ازموینې طریقه شریکه کړو، نو پاتې شئ.
اړیکه:
Email:info@pliroptics.com ;
تلیفون/واټس اپ/ویچټ: 86 19013265659
اضافه کړئ: ودانۍ 1، نمبر 1558، استخباراتي سړک، کینګ بایجیانګ، چینګدو، سیچوان، چین
د پوسټ وخت: اپریل 10-2024
