1 نظرياتي فلمن جا اصول
هن آرٽيڪل ۾، اسان آپٽيڪل پتلي فلمن جا اصول متعارف ڪنداسين، عام طور تي استعمال ٿيل ڊيزائن سافٽ ويئر ۽ ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي.
ان جو بنيادي اصول ڇو نظرياتي فلمون منفرد ڪم حاصل ڪري سگھن ٿيون جهڙوڪ اينٽي ريفريڪشن، هاءِ ريفليڪيشن يا لائٽ اسپلٽنگ، روشني جي پتلي فلم مداخلت آهي. ٿلهي فلمون عام طور تي هڪ يا وڌيڪ گروپن تي مشتمل هونديون آهن هاءِ ريفريڪٽو انڊيڪس مادي پرت ۽ گهٽ ريفريڪٽو انڊيڪس مادي پرتون جيڪي متبادل طور تي سپرمپوز ٿيل هونديون آهن. اهي فلم پرت مواد عام طور تي آڪسائيڊ، دھات يا فلورائڊ آهن. فلم جي تعداد، ٿلهي ۽ مختلف فلمي تہن کي ترتيب ڏيڻ سان، تہن جي وچ ۾ اضطراب واري انڊيڪس ۾ فرق فلمي تہن جي وچ ۾ روشني جي بيم جي مداخلت کي منظم ڪري سگھي ٿو گھربل ڪم حاصل ڪرڻ لاء.
اچو ته هن رجحان کي واضح ڪرڻ لاءِ مثال طور هڪ عام مخالف عڪس ڪوٽنگ وٺون. مداخلت کي وڌائڻ يا گھٽائڻ لاء، ڪوٽنگ جي پرت جي نظرياتي ٿلهي عام طور تي 1/4 (QWOT) يا 1/2 (HWOT) آهي. هيٺ ڏنل شڪل ۾، واقعن جي وچولي جي اپوزيشن انڊيڪس n0 آهي، ۽ ذيلي ذخيري جو اپوزيشن انڊيڪس ns آهي. تنهن ڪري، فلم مواد جي refractive انڊيڪس جي هڪ تصوير جنهن ۾ مداخلت منسوخي حالتن پيدا ڪري سگهي ٿو حساب ڪري سگهجي ٿو. فلم جي پرت جي مٿئين مٿاڇري کان عڪاسي ٿيندڙ روشني شعاع R1 آهي، فلم جي هيٺين مٿاڇري کان ظاهر ٿيندڙ روشني شعاع R2 آهي. جڏهن فلم جي نظرياتي ٿلهي 1/4 ويڪرائي ڦاڪ آهي، R1 ۽ R2 جي وچ ۾ نظري رستي جو فرق 1/2 ويڪرائي ڦاڪ آهي، ۽ مداخلت جون حالتون ملن ٿيون، اهڙيء طرح مداخلت تباهي واري مداخلت پيدا ڪري ٿي. رجحان.
اهڙيءَ طرح، ظاھر ٿيل شعاع جي شدت تمام گھٽ ٿي ويندي آھي، اھڙيءَ طرح ظاھر ڪرڻ جو مقصد حاصل ڪري سگھجي ٿو.
2 آپٽيڪل پتلي فلم ڊيزائن سافٽ ويئر
ٽيڪنيشين کي سهولت ڏيڻ لاءِ فلم سسٽم ڊزائين ڪرڻ لاءِ جيڪي مختلف مخصوص ڪمن کي پورا ڪن ٿا، پتلي فلم ڊيزائن سافٽ ويئر تيار ڪيو ويو آهي. ڊيزائن سافٽ ويئر عام طور تي استعمال ٿيل ڪوٽنگ مواد ۽ انهن جي پيٽرولن، فلم جي پرت جي تخليق ۽ اصلاح جي الگورتھم ۽ تجزيي جي ڪمن کي ضم ڪري ٿو، ٽيڪنالاجي کي ترقي ۽ تجزيو ڪرڻ لاء آسان بڻائي ٿو. مختلف فلم سسٽم. عام طور تي استعمال ٿيل فلم ڊيزائن سافٽ ويئر هن ريت آهن:
A.TFCalc
TFCalc هڪ آفاقي اوزار آهي نظرياتي پتلي فلم ڊيزائن ۽ تجزيو لاءِ. اهو مختلف قسم جي مخالف عڪس، اعلي-عڪس، بينڊ پاس، spectroscopic، مرحلو ۽ ٻين فلم سسٽم کي ڊزائين ڪرڻ لاء استعمال ڪري سگهجي ٿو. TFCalc ھڪڙي مٿاڇري تي 5,000 فلمي تہن سان گڏ، ھڪڙي سبسٽرٽ تي ڊبل رخا فلم سسٽم ٺاھي سگھي ٿو. اهو فلم اسٽيڪ فارمولن جي ان پٽ کي سپورٽ ڪري ٿو ۽ مختلف قسمن جي روشني کي ترتيب ڏئي سگهي ٿو: جهڙوڪ ڪون بيم، بي ترتيب تابڪاري بيم، وغيره. ٻيو ته، سافٽ ويئر ڪي خاص اصلاحي افعال آهن، ۽ طريقا استعمال ڪري سگھن ٿا جهڙوڪ انتهائي قدر ۽ مختلف طريقن کي بهتر ڪرڻ لاء. عکاسي، منتقلي، جذب، مرحلو، ellipsometry پيٽرولر ۽ فلم سسٽم جا ٻيا مقصد. سافٽ ويئر مختلف تجزياتي افعال کي ضم ڪري ٿو، جهڙوڪ عکاس، ٽرانسميشن، جذب، ellipsometry پيٽرولر تجزيي، برقي فيلڊ جي شدت جي تقسيم وکر، فلم سسٽم جي عڪاسي ۽ ٽرانسميشن رنگ تجزيو، ڪرسٽل ڪنٽرول وکر حساب ڪتاب، فلم پرت رواداري ۽ حساسيت تجزيي، ليليل، وغيره. TFCalc جو آپريشن انٽرفيس ھيٺ ڏنل آھي:
مٿي ڏيکاريل آپريشن انٽرفيس ۾، پيٽرول ۽ حد جي حالتن کي داخل ڪندي ۽ بهتر ڪرڻ سان، توهان هڪ فلم سسٽم حاصل ڪري سگهو ٿا جيڪو توهان جي ضرورتن کي پورو ڪري ٿو. آپريشن نسبتا سادو ۽ استعمال ڪرڻ آسان آهي.
B. لازمي ميڪلوڊ
لازمي ميڪلوڊ هڪ مڪمل آپٽيڪل فلم تجزيو ۽ ڊزائين سافٽ ويئر پيڪيج آهي حقيقي ملٽي دستاويزي آپريشن انٽرفيس سان. اهو نظرياتي ڪوٽنگ ڊيزائن ۾ مختلف ضرورتن کي پورو ڪري سگهي ٿو، سادي واحد-پرت فلمن کان سخت اسپيڪٽروسکوپي فلمن تائين. ، اهو پڻ ويجهڙائي ڪري سگھي ٿو ويجهڙائي واري ڊويزن ملٽي پلڪسنگ (WDM) ۽ گھڻائي موج جي ڊيگهه ڊويزن ملٽي پلڪسنگ (DWDM) فلٽر. اهو شروع کان ڊزائين ڪري سگھي ٿو يا موجوده ڊيزائن کي بهتر ڪري سگھي ٿو، ۽ ڊزائن ۾ غلطين کي سروي ڪري سگھي ٿو. اهو ڪم ۽ طاقتور ۾ مالا مال آهي.
سافٽ ويئر جي ڊيزائن انٽرفيس هيٺ ڏنل شڪل ۾ ڏيکاريل آهي:
سي OptiLayer
OptiLayer سافٽ ويئر آپٽيڪل پتلي فلمن جي پوري عمل کي سپورٽ ڪري ٿو: پيرا ميٽرز - ڊيزائن - پيداوار - ڦيرو تجزيو. ان ۾ ٽي حصا شامل آھن: OptiLayer، OptiChar، ۽ OptiRE. اتي پڻ آھي OptiReOpt متحرڪ لنڪ لائبريري (DLL) جيڪو سافٽ ويئر جي ڪم کي وڌائي سگھي ٿو.
OptiLayer جانچ ڪري ٿو تشخيصي فنڪشن کي ڊيزائن کان ٽارگيٽ تائين، حاصل ڪري ٿو ڊيزائن جي حدف کي اصلاح ذريعي، ۽ انجام ڏئي ٿو اڳڀرائي جي غلطي جو تجزيو. OptiChar پتلي فلم نظريي ۾ مختلف اهم عنصرن جي تحت پرت جي مادي اسپيڪٽرل خاصيتن ۽ ان جي ماپيل اسپيڪٽرل خاصيتن جي وچ ۾ فرق جي فنڪشن کي جانچي ٿو، ۽ هڪ بهتر ۽ حقيقي پرت مادي ماڊل حاصل ڪري ٿو ۽ موجوده ڊيزائن تي هر عنصر جو اثر، استعمال جي نشاندهي ڪري ٿو. عنصرن کي غور ڪرڻ جي ضرورت آهي جڏهن مواد جي هن پرت کي ڊزائين ڪرڻ؟ OptiRE ڊيزائن جي ماڊل جي چشمي خاصيتن جي جانچ ڪري ٿو ۽ ماڊل جي چشمي خاصيتن کي پيداوار کان پوء تجرباتي طور تي ماپي ٿو. انجنيئرنگ جي ڦيرڦار ذريعي، اسان پيداوار دوران پيدا ٿيل ڪجهه غلطيون حاصل ڪندا آهيون ۽ پيداوار جي رهنمائي ڪرڻ لاء انهن کي پيداوار جي عمل ڏانهن موٽايو. مٿين ماڊلز کي متحرڪ لنڪ لائبريري فنڪشن ذريعي ڳنڍجي سگھجي ٿو، ان سان فلم جي ڊيزائن کان وٺي پروڊڪشن تائين عملن جي سلسلي ۾ ڊزائن، ترميم ۽ حقيقي وقت جي نگراني جھڙوڪ ڪمن کي حقيقي ڪرڻ.
3 ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي
مختلف پلاٽنگ طريقن جي مطابق، ان کي ٻن ڀاڱن ۾ ورهائي سگھجي ٿو: ڪيميائي ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي ۽ جسماني ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي. ڪيميائي ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي خاص طور تي وسرندڙ پليٽنگ ۽ اسپري پليٽنگ ۾ ورهايل آهي. هي ٽيڪنالاجي وڌيڪ آلودگي آهي ۽ خراب فلم جي ڪارڪردگي آهي. اهو تدريجي طور تي جسماني ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي جي نئين نسل سان تبديل ٿي رهيو آهي. فزيڪل ڪوٽنگ ويڪيوم evaporation، آئن پليٽنگ وغيره جي ذريعي ڪئي ويندي آهي. ويڪيوم ڪوٽنگ هڪ طريقو آهي جنهن ۾ ڌاتن، مرکبن ۽ ٻين فلمي مواد کي خال ۾ evaporating (يا ڦاٽڻ) جو طريقو آهي ته جيئن انهن کي ڪوٽنگ ٿيڻ واري سبسٽريٽ تي جمع ڪيو وڃي. ويڪيوم ماحول ۾، ڪوٽنگ جي سامان ۾ ٿورڙي نجاست هوندي آهي، جيڪا مواد جي مٿاڇري جي آڪسائيڊشن کي روڪي سگهي ٿي ۽ فلم جي اسپيڪٽرل يونيفارميت ۽ ٿلهي استحڪام کي يقيني بڻائڻ ۾ مدد ڪري ٿي، تنهنڪري ان کي وڏي پيماني تي استعمال ڪيو ويندو آهي.
عام حالتن ۾، 1 فضائي دٻاءُ 10 کان 5 Pa جي طاقت تائين هوندو آهي، ۽ ويڪيوم ڪوٽنگ لاءِ گهربل هوا جو دٻاءُ عام طور تي 10 کان 3 Pa ۽ ان کان مٿي هوندو آهي، جيڪو اعليٰ ويڪيوم ڪوٽنگ سان تعلق رکي ٿو. ويڪيوم ڪوٽنگ ۾، آپٽيڪل اجزاء جي مٿاڇري کي تمام صاف هجڻ جي ضرورت آهي، تنهنڪري پروسيسنگ دوران ويڪيوم چيمبر پڻ تمام صاف هجڻ جي ضرورت آهي. في الحال، صاف ويڪيوم ماحول حاصل ڪرڻ جو طريقو عام طور تي ويڪيومنگ استعمال ڪرڻ آهي. تيل جي پکيڙ پمپ، هڪ ماليڪيولر پمپ يا ڪنڊينسيشن پمپ استعمال ڪيو ويندو آهي خلا کي ڪڍڻ ۽ اعليٰ ويڪيوم ماحول حاصل ڪرڻ لاءِ. تيل جي ڦهلائڻ واري پمپ کي ٿڌو پاڻي ۽ هڪ پٺتي پيل پمپ جي ضرورت هوندي آهي. اهي سائيز ۾ وڏا آهن ۽ اعلي توانائي استعمال ڪن ٿا، جيڪو ڪوٽنگ جي عمل کي آلودگي جو سبب بڻائيندو. ماليڪيولر پمپن کي عام طور تي انهن جي ڪم ۾ مدد ڪرڻ لاءِ پٺتي پيل پمپ جي ضرورت هوندي آهي ۽ قيمتي هوندا آهن. ان جي ابتڙ، ڪنڊينسيشن پمپ آلودگي جو سبب نه بڻجن ٿا. ، هڪ پٺتي پيل پمپ جي ضرورت نه رکندو آھي، اعلي ڪارڪردگي ۽ سٺي reliability آهي، تنهنڪري ان کي نظريي ويڪيوم ڪوٽنگ لاء سڀ کان مناسب آهي. هڪ عام ويڪيوم ڪوٽنگ مشين جي اندروني چيمبر هيٺ ڏنل شڪل ۾ ڏيکاريل آهي:
ويڪيوم ڪوٽنگ ۾، فلم جي مواد کي گيس واري حالت ۾ گرم ڪرڻ جي ضرورت آهي ۽ پوء فلم جي پرت ٺاهڻ لاء سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي جمع ڪيو وڃي ٿو. مختلف پليٽنگ طريقن جي مطابق، ان کي ٽن قسمن ۾ ورهائي سگھجي ٿو: حرارتي بخاري حرارتي، اسپٽرنگ حرارتي ۽ آئن پليٽ.
حرارتي بخارات جي گرمائش عام طور تي صليب کي گرم ڪرڻ لاءِ مزاحمتي تار يا اعليٰ فريڪوئنسي انڊڪشن استعمال ڪندي آهي، انهي ڪري ته صليب ۾ موجود فلمي مواد کي گرم ڪيو ويندو آهي ۽ ڪوٽنگ ٺاهڻ لاءِ بخار ٿي ويندو آهي.
اسپٽرنگ حرارتي ٻن قسمن ۾ ورهايل آهي: آئن بيم اسپٽرنگ حرارتي ۽ magnetron اسپٽرنگ حرارتي. آئن بيم اسپٽرنگ حرارتي آئن بيم کي خارج ڪرڻ لاءِ آئن گن استعمال ڪندو آهي. آئن شعاع هڪ خاص واقعي واري زاويه تي ٽارگيٽ تي بمباري ڪري ٿو ۽ ان جي مٿاڇري جي پرت کي ڦٽو ڪري ٿو. ايٽم، جيڪي ذيلي ذخيري جي مٿاڇري تي هڪ پتلي فلم ٺاهڻ لاء جمع ڪن ٿا. آئن بيم اسپٽرنگ جو بنيادي نقصان اهو آهي ته ٽارگيٽ جي سطح تي بمباري وارو علائقو تمام ننڍڙو آهي ۽ جمع ڪرڻ جي شرح عام طور تي گهٽ آهي. Magnetron sputtering Heating جو مطلب آهي ته اليڪٽران هڪ برقي فيلڊ جي عمل هيٺ سبسٽريٽ ڏانهن تيز ٿين ٿا. هن عمل دوران، اليڪٽران ارگون گيس جي ايٽمن سان ٽڪرائجن ٿا، وڏي تعداد ۾ آرگن آئنز ۽ اليڪٽرانن کي آئنائيز ڪرڻ. اليڪٽران سبسٽرٽ طرف اڏامندا آهن، ۽ آرگن آئنز برقي ميدان سان گرم ٿيندا آهن. ٽارگيٽ کي تيز ڪيو ويندو آهي ۽ ٽارگيٽ جي عمل هيٺ بمباري ڪئي ويندي آهي، ۽ ٽارگيٽ ۾ غير جانبدار ٽارگيٽ ايٽم هڪ فلم ٺاهڻ لاء سبسٽريٽ تي جمع ڪيا ويندا آهن. Magnetron sputtering اعلي فلم ٺهڻ جي شرح، گهٽ substrate گرمي پد، سٺي فلم adhesion، ۽ وڏي-ايريا ڪوٽنگ حاصل ڪري سگهو ٿا جي خاصيت آهي.
آئن پليٽنگ هڪ طريقو ڏانهن اشارو ڪري ٿو جيڪو جزوي طور تي گئس يا بخار ٿيل مادو کي آئنائيز ڪرڻ لاءِ گيس خارج ڪرڻ کي استعمال ڪري ٿو، ۽ گئس آئنز يا بخار ٿيل مادو آئن جي بمباري هيٺ سبسٽريٽ تي بخار ٿيل مادو جمع ڪري ٿو. آئن پليٽنگ ويڪيوم evaporation ۽ sputtering ٽيڪنالاجي جو هڪ ميلاپ آهي. اهو evaporation ۽ sputtering جي عملن جي فائدن کي گڏ ڪري ٿو ۽ پيچيده فلم نظام سان workpieces کوٽ ڪري سگهو ٿا.
4 نتيجو
هن آرٽيڪل ۾، اسان پهريون ڀيرو بصري فلمن جي بنيادي اصولن کي متعارف ڪرايو. فلم جي تعداد ۽ ٿلهي کي ترتيب ڏيڻ ۽ مختلف فلمي تہن جي وچ ۾ اضطراب واري انڊيڪس ۾ فرق کي ترتيب ڏيڻ سان، اسان فلمي تہن جي وچ ۾ روشني جي شعاعن جي مداخلت کي حاصل ڪري سگھون ٿا، اھڙي طرح گھربل فلم پرت فنڪشن حاصل ڪري سگھون ٿا. اهو آرٽيڪل پوءِ عام طور تي استعمال ٿيل فلم ڊيزائن سافٽ ويئر متعارف ڪرائي ٿو هر ڪنهن کي فلم جي ڊيزائن جي ابتدائي سمجھڻ لاءِ. مضمون جي ٽئين حصي ۾، اسان ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي جو تفصيلي تعارف ڏيون ٿا، ويڪيوم ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي تي ڌيان ڏئي ٿو جيڪا عملي طور تي وڏي پيماني تي استعمال ٿئي ٿي. مان سمجهان ٿو ته هن مضمون پڙهڻ ذريعي، هر ڪنهن کي نظرياتي ڪوٽنگ جي بهتر سمجھ هوندي. ايندڙ آرٽيڪل ۾، اسان شيئر ڪنداسين ڪوٽنگ ٽيسٽنگ جو طريقو ڪوٽنگ ٿيل اجزاء جي، تنهنڪري ڏسندا رهو.
رابطو:
Email:info@pliroptics.com ;
فون / واٽس ايپ / وي چيٽ: 86 19013265659
شامل ڪريو: بلڊنگ 1، نمبر 1558، انٽيليجنس روڊ، qingbaijiang، چينگدو، سچوان، چين
پوسٽ جو وقت: اپريل-10-2024
