1 ආලේපනයෙන් පසු කාර්ය සාධන පරාමිතීන්
පෙර ලිපියෙන් අපි දෘශ්‍ය තුනී පටලවල ක්‍රියාකාරීත්වය, මූලධර්ම, සැලසුම් මෘදුකාංග සහ පොදු ආලේපන ක්‍රම හඳුන්වා දුන්නෙමු. මෙම ලිපියෙන් අපි පශ්චාත් ආලේපන පරාමිතීන් පරීක්ෂා කිරීම හඳුන්වා දෙන්නෙමු. ආලේපනයෙන් පසු සංරචකයේ මතුපිට කාර්ය සාධන පරාමිතීන් සම්ප්රේෂණය (සම්ප්රේෂණය), පරාවර්තනය (R), අවශෝෂණය (A) ආදිය ඇතුළත් වේ. ඊට අමතරව, අවශෝෂණය (සම්ප්රේෂණය) සහ එසේ ය. චිත්රපට මතුපිට විසිරීමේ ලක්ෂණය වන S (Scatter) ද පරීක්ෂා කර විශ්ලේෂණය කළ යුතුය.
සම්ප්රේෂණ T යනු චිත්‍රපටය හරහා ගමන් කරන ආලෝක තීව්රතා ශක්තියේ සිද්ධි ආලෝක ශක්තියේ අනුපාතයයි. පරාවර්තක R යනු ආෙල්පනයේ මතුපිටින් පිළිබිඹු වන තීව්රතා ශක්තියේ සිදුවීම් ශක්තියේ අනුපාතයයි. අවශෝෂණ A යනු චිත්රපට ස්තරය මගින් අවශෝෂණය කරන ආලෝක ශක්තියේ සිදුවීම් ආලෝක ශක්තියේ අනුපාතයයි. මෙම පරාමිති තුන සඳහා, පහත සම්බන්ධතා පවතී:
T + R + A = 1
එනම්, චිත්රපට ස්ථරයේ සම්ප්රේෂණය, පරාවර්තනය සහ අවශෝෂණය යන එකතුව නියත 1 වේ. මෙයින් අදහස් කරන්නේ ආලෝක කදම්භය පටලය හරහා ගිය පසු, එයින් කොටසක් පසුකර, එයින් කොටසක් පරාවර්තනය වන අතර ඉතිරිය පටලය මගින් අවශෝෂණය වේ.
මතදෘශ්ය සංරචකයචිත්‍ර, චිත්රපට මතුපිට සම්ප්රේෂණය හෝ පරාවර්තනය සාමාන්‍යයෙන් අවශ්ය වන අතර, යෙදුම් තත්ත්වය යටතේ වර්ණාවලි පරාසය සහ සිද්ධි කෝණය පැහැදිලිව නිර්වචනය කළ යුතුය. ධ්‍රැවීකරණය ද අවශ්ය නම්, ධ්රැවීකරණ තත්ත්‍වයේ පරාසය පැහැදිලිව නිර්වචනය කළ යුතුය. උදාහරණයක් ලෙස, පහත රූපයේ ඇති ආෙල්පන අවශ්‍යතා නම්, 770nm දී, පරාවර්තකතාව අංශක 45 දී 88% ට නොඅඩු විය යුතු අතර, 550nm දී, සම්ප්රේෂණය අංශක 45 දී 70% ට නොඅඩු විය යුතුය.
ඉහත දෘෂ්‍ය ගුණාංග වලට අමතරව, දෘශ්‍ය පටල ස්ථරයේ යාන්ත්‍රික හා රසායනික ගුණාංග ද සලකා බැලිය යුතු අතර, චිත්රපට ස්ථරයේ ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය, තද බව, ද්‍රාව්‍යතාව ඇතුළුව. මීට අමතරව, ආලේපනයෙන් පසු දෘශ්‍ය පෘෂ්ඨයේ ගුණාත්මකභාවය ද සැලකිල්ලට ගත යුතු අතර, වළවල්, සීරීම්, අපිරිසිදු, පැල්ලම් ආදිය සඳහා අවශ්‍යතා ද ඇතුළත් ය.
2 වර්ණාවලීක්ෂ ඡායාමාපකයේ මූලධර්මය
මෙම ලිපියෙන් අපි චිත්රපට පරීක්ෂණ ක්‍රමවල දෘශ්‍ය ගුණාංග කෙරෙහි අවධානය යොමු කරමු, ප්රායෝගිකව, චිත්රපට පරාමිතීන් පරීක්ෂා කිරීම සඳහා ප්‍රධාන වර්ණාවලි ඡායාරූපමානය (Spectrofotometer) සහ Ellipsometer (Ellipsometer) හඳුන්වාදීම, වර්ණාවලීක්ෂයට දෘශ්‍ය සම්ප්රේෂණය, පරාවර්තනය සහ අවශෝෂණ ලක්ෂණ පරීක්ෂා කළ හැකිය. නිෂ්පාදන. ඉලිප්සෝමීටරයට පටල ස්ථරයේ ඝණකම සහ ධ්රැවීකරණ ලක්ෂණ මැනිය හැකි අතර, දෙකෙහිම මූලධර්මය සමාන වේ.
එවැනි උපකරණයක ව්‍යුහය කදම්භ උත්පාදන නාලිකාවේ සහ කදම්භ ලබන නාලිකාවේ කොටස් දෙකකට බෙදිය හැකි අතර, සංරචකයේ සම්ප්රේෂණය පරීක්ෂා කිරීමට අවශ්ය වූ විට, සංරචකය නාලිකා දෙකේ මැද තබා ඇති අතර එමඟින් කදම්බය නියැදිය හරහා ගමන් කරයි, සංරචකයේ පරාවර්තනය පරීක්ෂා කිරීමට අවශ්ය වූ විට, සංරචකය නාලිකා දෙකේ එකම පැත්තක තබා ඇති අතර එමඟින් කදම්භය සාම්පලයෙන් පිළිබිඹු වේ. උදාහරණයක් ලෙස, නියැදියක සම්ප්රේෂණය මැනීම සඳහා වර්ණාවලි ඡායාරූපමානයක මූලධර්මය පහත රූපයේ දැක්වේ:
ඉහත රූපයේ, වම් කෙළවර කදම්භ උත්පාදන නාලිකාව වන අතර, ආලෝකය විමෝචනය කිරීම සඳහා පුළුල් වර්ණාවලි ආලෝක ප්‍රභවයක් භාවිතා කරයි, ඉන්පසු දැලක බෙදීම සහ ස්ලිට් තෝරාගැනීම හරහා, ආලෝකයේ නිශ්චිත තරංග ආයාමයක් ප්‍රතිදානය කරයි, කදම්බය හරහා ගමන් කරයි. collimator 1, collimated කදම්භයක් බවට පත් වේ, පසුව කෝණය භ්‍රමණය කළ හැකි ධ්‍රැවීකරණය හරහා ගමන් කරයි, ධ්‍රැවීකරණය වූ ආලෝකයක් බවට පත් වේ, සහ collimator 2 එකතු කිරීමෙන් පසු වර්ණාවලීක්ෂය මගින් ධ්‍රැවීකරණය වූ ආලෝකය කිරණ 2 කට බෙදා ඇත. ආලෝක කදම්භයක් සමුද්දේශ අනාවරකයට පරාවර්තනය වන අතර එහිදී ආලෝක ප්‍රභවයේ උච්චාවචනයන් හේතුවෙන් ශක්ති ප්ලාවිතය නිවැරදි කිරීමට යොමුවක් ලෙස එකතු කරන ලද ආලෝක කදම්භයක් භාවිතා කරන අතර තවත් ආලෝක කදම්භයක් නියැදිය හරහා ගමන් කරයි, එය කොලිමේටර් 3 සහ කොලිමේටරය මගින් නැවත හැඩගස්වනු ලැබේ. 4, සහ පරීක්ෂණයේ දකුණු කෙළවරේ අනාවරකයට ඇතුල් වේ. සත්‍ය පරීක්ෂණයේදී පරීක්ෂා කරන ලද නියැදිය ඇතුල් කිරීමෙන් සහ පිටතට ගැනීමෙන් ශක්ති අගයන් දෙකක් ලබා ගන්නා අතර ශක්තිය සංසන්දනය කිරීමෙන් සාම්පලයේ සම්ප්රේෂණය ලබා ගත හැකිය.
ඉලිප්සෝමීටරයේ මූලධර්මය ඉහත වර්ණාවලි ඡායාරූපමානයේ මූලධර්මයට සමාන වේ, කදම්භ යැවීමේ නාලිකාවේ සහ ලැබීමේ නාලිකාවේ වන්දි මූලද්‍රව්‍යයක් ලෙස භ්‍රමණය වන 1/4 තරංග තහඩුවක් එකතු කර ඇති අතර, ලැබෙන නාලිකාවේ ධ්‍රැවීකරණයක් ද එකතු වේ. , එවිට නියැදියේ ධ්රැවීකරණ ලක්ෂණ වඩාත් නම්‍යශීලී ලෙස විශ්ලේෂණය කළ හැක. සමහර අවස්ථා වලදී, ellipsometer සෘජුවම පුළුල් වර්ණාවලී ආලෝක ප්‍රභවයක් භාවිතා කරන අතර, සංරචකයේ කාර්ය සාධන පරීක්ෂණය සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා රේඛීය අරා අනාවරකයක් සමඟ ඒකාබද්ධව ලැබෙන අන්තයේ ස්ලිට් සහ ස්ප්ලිටර් වර්ණාවලීක්ෂයක් භාවිතා කරයි.
3. සම්ප්රේෂණ පරීක්ෂණය
සම්ප්රේෂණ පරීක්ෂණයේදී, ආලෝක කදම්භය ලබා ගන්නා අනාවරකයේ පරාවර්තනය වළක්වා ගැනීම සඳහා, අනුකලනය කරන ගෝලය ග්‍රාහකය ලෙස බොහෝ විට භාවිතා වේ, මූලධර්මය පහත පරිදි දැක්වේ:
ඉහත රූපයෙන් පෙනෙන පරිදි, අනුකලිත ගෝලය යනු අභ්යන්තර බිත්තියේ සුදු විසරණ පරාවර්තන ආලේපන ද්‍රව්‍ය වලින් ආලේප කරන ලද ආවාට ගෝලයක් වන අතර, බෝල බිත්තියේ ජනේල සිදුරක් ඇති අතර එය ආලෝකයේ ආලෝක කුහරය ලෙස භාවිතා කරයි. සහ ආලෝක අනාවරකයේ ලැබෙන කුහරය. මේ ආකාරයෙන්, ඒකාබද්ධ ගෝලයට ඇතුළු වන ආලෝකය අභ්යන්තර බිත්ති ආලේපනය හරහා කිහිප වතාවක් පරාවර්තනය වී අභ්යන්තර බිත්තිය මත ඒකාකාර ආලෝකයක් සාදනු ලබන අතර, අනාවරකය මගින් එය ලබා ගනී.
උදාහරණයක් ලෙස, දෘශ්‍ය තහඩුවක සම්ප්රේෂණය පරීක්ෂා කිරීමට භාවිතා කරන උපාංගයක ව්‍යුහය පහත දැක්වේ
ඉහත රූපයේ, පරීක්ෂා කරන ලද නියැදිය x සහ y දිශාවන්ට මාරු කළ හැකි ගැලපුම් වගුවක් මත තබා ඇත. ගැලපුම් වගුවේ පරිගණක පාලනය මගින් නියැදියේ සම්ප්රේෂණය ඕනෑම ස්ථානයක පරීක්ෂා කළ හැකිය. සම්පූර්ණ පැතලි වීදුරුවේ සම්ප්රේෂණ ව්‍යාප්තිය ස්කෑන් පරීක්ෂණයෙන් ද ලබා ගත හැකි අතර, පරීක්ෂණයේ විභේදනය කදම්භයේ ස්ථාන ප්‍රමාණය මත රඳා පවතී.
4. පරාවර්තක පරීක්ෂණය
දෘශ්‍ය පටල පරාවර්තනය මැනීම සඳහා සාමාන්‍යයෙන් ක්‍රම දෙකක් ඇත, එකක් සාපේක්ෂ මිනුම් වන අතර අනෙක නිරපේක්ෂ මිනුම් වේ. සාපේක්ෂ මිනුම් ක්රමයට සංසන්දනාත්මක පරීක්ෂණය සඳහා යොමුවක් ලෙස දන්නා පරාවර්තනයක් සහිත පරාවර්තකයක් අවශ්ය වේ. ප්රායෝගිකව, සමුද්දේශ දර්පණයේ පරාවර්තනය චිත්රපට ස්ථරයේ වයස්ගත වීම හෝ දූෂණය සමඟ නිතිපතා ක්රමාංකනය කිරීම අවශ්ය වේ. එබැවින්, මෙම ක්රමයට විභව මිනුම් දෝෂ ඇත. නිරපේක්ෂ පරාවර්තන මිනුම් ක්රමයට නියැදිය තැබීමෙන් තොරව පරීක්ෂණ උපාංගයේ පරාවර්තනය ක්රමාංකනය කිරීම අවශ්ය වේ. පහත රූපයේ, නියැදියේ පරාවර්තනයේ නිරපේක්ෂ මිනුම් ලබා ගැනීම සඳහා සම්භාව්‍ය VW උපාංගයේ ව්‍යුහය ලබා දී ඇත:
ඉහත රූපයේ වම් රූපයේ දැක්වෙන්නේ M1, M2 සහ M3 යන දර්පණ තුනකින් සමන්විත V හැඩැති ව්‍යුහයකි. පළමුව, මෙම මාදිලියේ ආලෝක තීව්රතා අගය පරීක්ෂා කර P1 ලෙස සටහන් කර ඇත. ඉන්පසුව, නිවැරදි රූපයේ, පරීක්ෂණයට ලක්ව ඇති නියැදිය දමා, M2 දර්පණය W-හැඩැති ව්යුහයක් සෑදීමට ඉහළ ස්ථානයට කරකවනු ලැබේ. මනින ලද නියැදියේ නිරපේක්ෂ පරාවර්තනය ලබා ගත හැකිය. මෙම උපාංගය ද වැඩිදියුණු කළ හැක, නිදසුනක් ලෙස, පරීක්ෂණයට ලක්වන නියැදිය ස්වාධීන භ්‍රමණ වගුවකින් ද සමන්විත වේ, එවිට පරීක්ෂණයට ලක්වන නියැදිය ඕනෑම කෝණයකට කරකැවිය හැකි අතර, M2 දර්පණය අනුරූප පරාවර්තන ස්ථානයට කරකැවීමෙන්, කදම්භ ප්‍රතිදානය, එවිට නියැදියේ පරාවර්තනය බහු කෝණවලින් පරීක්ෂා කළ හැක.
උදාහරණයක් ලෙස, දෘශ්‍ය තහඩුවක පරාවර්තකතාව පරීක්ෂා කිරීමට භාවිතා කරන උපාංගයක ව්‍යුහය පහත දැක්වේ.
ඉහත රූපයේ, පරීක්ෂා කරන ලද නියැදිය x/y පරිවර්තන ගැලපුම් වගුව මත තබා ඇති අතර, ගැලපුම් වගුවේ පරිගණක පාලනය හරහා නියැදියේ පරාවර්තනය ඕනෑම ස්ථානයකදී පරීක්ෂා කළ හැක. ස්කෑනිං පරීක්ෂණය හරහා සම්පූර්ණ පැතලි වීදුරුවේ පරාවර්තන බෙදාහැරීමේ සිතියම ද ලබා ගත හැකිය.
අමතන්න:
Email:jasmine@pliroptics.com ;
දුරකථන/Whatsapp/Wechat:86 19013265659
වෙබ්: www.pliroptics.com
එකතු කරන්න:ගොඩනැගිල්ල 1, අංක 1558, බුද්ධි මාර්ගය, කිංබයිජියැන්ග්, චෙංඩු, සිචුවාන්, චීනය
පසු කාලය: අප්රේල්-23-2024
