1 Mataupu faavae o ata tifaga mata
I totonu o lenei tusiga, o le a matou faʻalauiloaina mataupu faavae o ata tifaga manifinifi, e masani ona faʻaaogaina polokalame mamanu ma tekonolosi faʻapipiʻi.
O le mataupu faavae o le mafuaʻaga e mafai ai e ata tifaga ona ausia ni galuega faʻapitoa e pei o le anti-reflection, maualuga ata poʻo le vaeluaina o le malamalama o le faʻalavelave manifinifi ata o le malamalama. O ata manifinifi e masani ona faia i se tasi po'o le sili atu vaega o fa'amaufa'ailoga maualuga fa'amaufa'ailoga fa'amea ma fa'amaufa'ailoga fa'ailoga fa'amaufa'ailoga e fa'apipi'i. O mea fa'apipi'i ata e masani lava o oxides, metals po'o fluoride. E ala i le faʻatulagaina o le numera, mafiafia ma faʻasologa o ata tifaga eseese o le ata, O le eseesega i le faʻailoga faʻasolosolo i le va o laupepa e mafai ona faʻatonutonuina le faʻalavelaveina o faʻamalama malamalama i le va o laupepa ata e maua ai galuega manaʻomia.
Se'i o tatou faia se fa'ata'ita'iga masani e fa'ata'ita'i ai le fa'ata'ita'iga e fa'ailoa ai lea tulaga. Ina ia faʻateleina pe faʻaitiitia le faʻalavelave, o le mafiafia opitika o le faʻapipiʻi faʻapipiʻi e masani lava 1/4 (QWOT) poʻo 1/2 (HWOT). I le ata o loʻo i lalo, o le faʻailoga faʻasolosolo o le faʻalavelave faʻalavelave o le n0, ma o le faʻailoga faʻasolosolo o le substrate o le ns. O le mea lea, o se ata o le faʻailoga faʻasolosolo o mea ata tifaga e mafai ona maua ai faʻalavelave faʻaleaogaina tulaga e mafai ona fuafua. O le ave moli o loʻo faʻaalia e le pito i luga o le ata tifaga o le R1, O le moli moli e faʻaalia e le pito i lalo ole ata o le R2. Afai o le mafiafia opitika o le ata tifaga o le 1/4 wavelength, o le eseesega o le auala i le va o le R1 ma le R2 o le 1/2 wavelength, ma o le faʻalavelave faʻalavelave e faʻafeiloaʻi, ma faʻaalia ai le faʻalavelave faʻalavelave faʻalavelave. Fa'ailoga.
I lenei auala, o le malosi o le laʻau faʻaalia e matua laʻititi lava, ma maua ai le faʻamoemoega o le anti-manatunatu.
2 Optical ata manifinifi mamanu polokalame
Ina ia faafaigofieina le au tekinisia e mamanuina faiga ata tifaga e fetaui ma galuega patino eseese, ua atiaʻe le polokalame ata tifaga manifinifi. O le polokalame mamanu e tu'ufa'atasia ai mea fa'apipi'i e masani ona fa'aaogaina ma o latou ta'otoga, ata ata fa'atusa fa'ata'ita'iga ma fa'ata'ita'iga algorithms ma au'ili'ili galuega, e fa'afaigofie ai mo tekinisia ona atina'e ma au'ili'ili. Faiga ata tifaga eseese. E masani ona fa'aogaina polokalame ata tifaga e fa'apea:
A.TFCalc
TFCalc ose meafaigaluega lautele mo ata ata manifinifi mamanu ma auiliiliga. E mafai ona faʻaaogaina e faʻataʻitaʻia ai ituaiga eseese o le anti-manatunatu, maualuga-mafaufauga, bandpass, spectroscopic, vaega ma isi faiga ata tifaga. E mafai e le TFCalc ona mamanuina se faiga ata tifaga e lua itu i luga o se substrate, ma e oʻo atu i le 5,000 ata tifaga i luga o le tasi luga. E lagolagoina le faʻaogaina o ata faʻapipiʻi ata ma e mafai ona faʻataʻitaʻiina ituaiga eseese o moli: e pei o cone beams, random radiation beams, ma isi. Lona lua, o le polokalama o loʻo i ai ni galuega faʻapitoa, ma e mafai ona faʻaogaina metotia e pei o le taua tele ma auala eseese e faʻamalieina ai le reflectivity, transmittance, absorbance, vaega, ellipsometry parameters ma isi sini o le faiga ata. O loʻo tuʻufaʻatasia e le polokalama faʻapitoa galuega suʻesuʻe, e pei o le reflectivity, transmittance, absorbance, ellipsometry parameter suʻesuʻega, faʻasologa o le eletise eletise eletise, ata tifaga ata ma suʻesuʻega lanu felauaiga, faʻataʻitaʻiga faʻataʻitaʻiga tioata, faʻapalepale ata tifaga ma suʻesuʻega maaleale, Suʻesuʻega fua, ma isi. O le faʻaogaina o le TFCalc e faʻapea:
I le faʻaogaina o faʻataʻitaʻiga o loʻo faʻaalia i luga, e ala i le faʻapipiʻiina o tapulaʻa ma tulaga tuaoi ma le faʻamalosia, e mafai ona e maua se ata tifaga e fetaui ma ou manaʻoga. O le gaioiga e fai si faigofie ma faigofie ona faʻaoga.
B. Essential Macleod
Essential Macleod o se suʻesuʻega ata tifaga atoatoa ma mamanu polokalama faʻapipiʻi faʻatasi ai ma se faʻaoga moni faʻapipiʻi tele-pepa. E mafai ona fa'amalieina mana'oga 'ese'ese i le fa'ailoga fa'apipi'i fa'apitoa, mai ata faigofie fa'ato'a tasi i ata fa'ata'oto fa'apitoa. , e mafai foi ona iloilo galu umi vaevaega multiplexing (WDM) ma mafiafia galu vaevaega multiplexing (DWDM) filiga. E mafai ona mamanuina mai le maoaʻe pe faʻamalieina mamanu o loʻo iai, ma mafai ona suʻesuʻeina mea sese i le mamanu. E tamaoaiga i galuega ma mamana.
O lo'o fa'aalia le ata o lo'o i lalo:
C. OptiLayer
OptiLayer software e lagolagoina le faagasologa atoa o ata manifinifi opitika: tapula'a - mamanu - gaosiga - su'esu'ega inversion. E aofia ai vaega e tolu: OptiLayer, OptiChar, ma OptiRE. O lo'o iai fo'i le OptiReOpt dynamic link library (DLL) e mafai ona fa'aleleia ai galuega a le polokalame.
E su'esu'e e OptiLayer le galuega su'esu'e mai le mamanu i le fa'amoemoe, ausia le fa'amoemoe e ala i le fa'ata'ita'iina, ma fa'atino au'ili'ili sese a'o le'i gaosia. OptiChar suʻesuʻeina le eseesega o galuega tauave i le va o le tulaga o mea spectral uiga ma ona fua spectral uiga i lalo o mea taua eseese i manatu ata tifaga manifinifi, ma maua ai se ata sili atu ma le moni o mea papa ma le aafiaga o itu taitasi i le mamanu o loo i ai nei, faasino mai le faaaogaina O le a mea taua e tatau ona iloiloina pe a mamanuina lenei vaega o mea? OptiRE su'esu'e uiga fa'apitoa o le fa'ata'ita'iga fa'ata'ita'iga ma uiga fa'ata'ita'i o le fa'ata'ita'iga e fuaina fa'ata'ita'i pe a uma le gaosiga. E ala i le fesuiaiga o inisinia, matou te maua ai ni mea sese na faia i le taimi o le gaosiga ma fafaga i latou i le gaosiga o le gaosiga e taʻitaʻia ai le gaosiga. O modules o loʻo i luga e mafai ona faʻafesoʻotaʻi e ala i le galuega a le potutusi fesoʻotaʻiga malosi, ma iloa ai galuega e pei o le mamanu, suiga ma le mataʻituina o taimi moni i se faasologa o faiga mai le ata tifaga i le gaosiga.
3 Fa'apipi'i tekinolosi
E tusa ai ma metotia faʻapipiʻi eseese, e mafai ona vaevaeina i ni vaega se lua: vailaʻau faʻapipiʻi vailaʻau ma tekonolosi faʻapipiʻi faaletino. O tekinolosi fa'alavani vaila'au e masani ona vaevaeina i le fa'atofuina fa'atofu ma fa'apalapala. O lenei tekinolosi e sili atu ona faʻaleagaina ma e leaga le faʻatinoina o ata. O loʻo faasolosolo malie ona suia e se augatupulaga fou o tekinolosi faʻapipiʻi faʻapitoa. O le ufiufi faaletino e faia e ala i le vacuum evaporation, ion plating, ma isi. Vacuum coating o se auala e faʻafefe ai (poʻo sputtering) uʻamea, faʻapipiʻi ma isi mea ata tifaga i totonu o se masini e teu ai i luga o le substrate e ufiufi. I totonu o se siosiomaga gaogao, o mea faʻapipiʻi e itiiti ni mea leaga, e mafai ona puipuia ai le faʻamaʻiina o le meafaitino ma fesoasoani e faʻamautinoa le tutusa o le vaʻaia ma le mafiafia o le ata, o lea e faʻaaogaina lautele.
I lalo o tulaga masani, 1 le mamafa o le ea e tusa ma le 10 i le mana o le 5 Pa, ma o le mamafa o le ea e manaʻomia mo le faʻapipiʻiina o le vacuum e masani lava 10 i le mana o le 3 Pa ma luga atu, lea e aofia ai le maualuga o le paʻu gaogao. I totonu o le paʻu gaogao, o le pito i luga o vaega opitika e manaʻomia ona mama tele, o le mea lea e manaʻomia ai foi ona mama le potu vacuum i le taimi o gaioiga. I le taimi nei, o le auala e maua ai se siosiomaga gaogao mama e masani lava ona faʻaogaina le faʻaogaina. Suau'u fa'asalalau pamu, O se pamu mole po'o pamu condensation o lo'o fa'aaogaina e aveese mai ai le gaogao ma maua ai se siosiomaga gaogao maualuga. O pamu fa'asalalauina ole suau'u e mana'omia le vai malulu ma se pamu fa'aola. E tetele i latou ma faʻaaogaina le malosi maualuga, lea o le a mafua ai le filogia i le faʻagasologa o le ufiufi. O pamu molecular e masani ona manaʻomia se pamu lagolago e fesoasoani ia latou galuega ma e taugata. I se eseesega, o pamu condensation e le mafua ai le filogia. , e le manaʻomia se pamu lagolago, e maualuga le lelei ma le faʻatuatuaina lelei, o lea e sili ona talafeagai mo le faʻaogaina o masini masini. O le potu i totonu o se masini faʻapipiʻi gaogao masani o loʻo faʻaalia i le ata o loʻo i lalo:
I totonu o le paʻu gaogao, e manaʻomia le faʻamafanafanaina o mea ata i se tulaga kasa ona tuʻu ai lea i luga o le mea e fai ai se ata tifaga. E tusa ai ma auala eseese plating, e mafai ona vaevaeina i ni ituaiga se tolu: vevela evaporation vevela, sputtering faʻavevela ma ion plating.
O le vevela vevela vevela e masani ona faʻaaogaina le uaea tetee poʻo le faʻaoso maualuga e faʻavevela ai le faʻamalo, ina ia faʻavevela ma faʻafefete le mea ata tifaga i totonu o le ipu faʻapipiʻi e fai ai se ufiufi.
O le fa'avevela o le fa'avevela e vaevaeina i ni ituaiga se lua: fa'avevela fa'avevela fa'amaneta ma fa'avevela fa'amaneta. Ion beam sputtering fa'avevela e fa'aaoga ai se fana fa'aaono e fa'aosoina ai se fa'alava kaoni. E osofa'ia e le ion beam le taulaiga i se tulaga fa'afuase'i fa'afuase'i ma fa'aoso i fafo lona vaega i luga. atoms, e teuina i luga o le mea'ai e fai ai se ata manifinifi. O le fa'aletonu autu o le fa'afefe o le ion beam o le vaega lea na tu'i i luga o le fa'amoemoe e la'ititi tele ma o le fa'aputuina e masani lava ona maualalo. Magnetron sputtering faʻavevela o lona uiga o le eletise e faʻavavevave agai i le meaʻai i lalo o le gaioiga a se eletise eletise. I le taimi o lenei faagasologa, electrons collided ma argon kasa atoms, ionizing se numera tele o argon ions ma electrons. E lele le electrons agai i le substrate, ma o le argon ions e faamafanafanaina e le eletise eletise. O le sini e faʻavavevave ma osofaʻia i lalo o le gaioiga a le faʻamoemoe, ma o le faʻaituau faʻamauina atoms i totonu o le sini e teuina i luga o le substrate e fai ai se ata tifaga. Magnetron sputtering o loʻo faʻaalia i le maualuga o le faʻatulagaina o ata tifaga, maualalo le vevela o le substrate, faʻapipiʻi lelei ata tifaga, ma e mafai ona ausia le faʻapipiʻiina o vaega tetele.
Ion plating e fa'atatau i se auala e fa'aogaina ai le kesi e fa'amalo ai se vaega o le kasa po'o mea fa'amama, ma fa'aputu mea fa'asao i luga o se mea'ai i lalo o le pomuina o kasa po'o mea fa'asao. Ion plating o se tuufaatasiga o vacuum evaporation ma sputtering tekinolosi. E tu'ufa'atasia le lelei o le fa'asao ma le sputtering fa'agasologa ma e mafai ona fa'aofuina mea faigaluega ma faiga fa'aata fa'alavelave.
4 Faaiuga
I lenei tusiga, matou te faʻaalia muamua mataupu faavae o ata tifaga mata. E ala i le faʻatulagaina o le numera ma le mafiafia o le ata ma le eseesega i le faʻailoga faʻasolosolo i le va o faʻasologa o ata tifaga eseese, e mafai ona tatou ausia le faʻalavelaveina o faʻamalama malamalama i le va o le ata tifaga, ma maua ai le galuega manaʻomia o le ata. O lenei tusiga o loʻo faʻaalia ai le faʻaaogaina masani o polokalame ata tifaga e tuʻuina atu ai i tagata uma se malamalamaaga muamua i le mamanu ata. I le vaega lona tolu o le tusiga, matou te tuʻuina atu se faʻamatalaga auiliili i tekinolosi faʻapipiʻi, e taulaʻi atu i le masini faʻapipiʻi masini e faʻaaogaina lautele i le faʻatinoga. Ou te talitonu e ala i le faitauina o lenei tusiga, o le a maua e tagata uma se malamalama sili atu i le faʻapipiʻiina o mata. I le isi tusiga, o le a matou faʻasoa le metotia o suʻega faʻapipiʻi o vaega faʻapipiʻi, o lea ia nofo faʻalogo.
Fa'afeso'ota'i:
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Taimi meli: Apr-10-2024
