1 Kanuni za filamu za macho
Katika makala hii, tutaanzisha kanuni za filamu nyembamba za macho, programu ya kawaida ya kubuni na teknolojia ya mipako.
Kanuni ya msingi ya kwa nini filamu za macho zinaweza kufikia utendaji wa kipekee kama vile kutoakisi, kuakisi juu au kupasuliwa kwa mwanga ni kuingiliwa kwa filamu nyembamba ya mwanga. Filamu nyembamba kwa kawaida huundwa na kikundi kimoja au zaidi cha tabaka za nyenzo za kielelezo cha juu cha refractive na tabaka za nyenzo za faharasa ya refractive ya chini zikiwa zimewekwa juu zaidi. Nyenzo hizi za safu ya filamu kwa ujumla ni oksidi, metali au floridi. Kwa kuweka nambari, unene na tabaka tofauti za filamu za filamu, Tofauti katika faharisi ya refractive kati ya tabaka inaweza kudhibiti kuingiliwa kwa miale ya mwanga kati ya tabaka za filamu ili kupata kazi zinazohitajika.
Wacha tuchukue mipako ya kawaida ya kuzuia kutafakari kama mfano ili kuonyesha jambo hili. Ili kuongeza au kupunguza kuingiliwa, unene wa macho wa safu ya mipako ni kawaida 1/4 (QWOT) au 1/2 (HWOT). Katika takwimu hapa chini, faharisi ya refractive ya kati ya tukio ni n0, na index ya refractive ya substrate ni ns. Kwa hiyo, picha ya index ya refractive ya nyenzo za filamu ambayo inaweza kuzalisha hali ya kufuta kuingiliwa inaweza kuhesabiwa. Mwangaza wa mwanga unaoonyeshwa na uso wa juu wa safu ya filamu ni R1, Nuru ya mwanga iliyoonyeshwa na uso wa chini wa filamu ni R2. Wakati unene wa macho wa filamu ni 1/4 wavelength, tofauti ya njia ya macho kati ya R1 na R2 ni 1/2 wavelength, na hali ya kuingiliwa hukutana, hivyo kuzalisha kuingiliwa kwa uharibifu wa kuingiliwa. Uzushi.
Kwa njia hii, ukubwa wa boriti iliyoonyeshwa inakuwa ndogo sana, na hivyo kufikia madhumuni ya kupinga kutafakari.
2 Programu ya kubuni filamu nyembamba ya macho
Ili kuwezesha mafundi kubuni mifumo ya filamu inayokidhi kazi mbalimbali mahususi, programu nyembamba ya kubuni filamu imetengenezwa. Programu ya usanifu huunganisha nyenzo za mipako zinazotumiwa kwa kawaida na vigezo vyake, uigaji wa safu ya filamu na algorithms ya uboreshaji na kazi za uchambuzi, na kuifanya iwe rahisi kwa mafundi kukuza na kuchambua. Mifumo mbalimbali ya filamu. Programu ya kawaida ya kubuni filamu ni kama ifuatavyo.
A.TFCalc
TFCalc ni zana ya ulimwengu kwa muundo na uchambuzi wa filamu nyembamba. Inaweza kutumika kutengeneza aina mbalimbali za anti-reflection, high-reflection, bandpass, spectroscopic, awamu na mifumo mingine ya filamu. TFCalc inaweza kubuni mfumo wa filamu wa pande mbili kwenye substrate, yenye hadi safu 5,000 za filamu kwenye uso mmoja. Inaauni uwekaji wa fomula za rafu za filamu na inaweza kuiga aina mbalimbali za mwanga: kama vile miale ya koni, miale ya mionzi isiyo na mpangilio, n.k. Pili, programu ina vipengele fulani vya uboreshaji, na inaweza kutumia mbinu kama vile thamani ya juu zaidi na mbinu tofauti ili kuboresha reflectivity, transmittance, absorbance, awamu, ellipsometry vigezo na malengo mengine ya mfumo wa filamu. Programu huunganisha vipengele mbalimbali vya uchanganuzi, kama vile kuakisi, upitishaji, uwezo wa kunyonya, uchanganuzi wa kigezo cha ellipsometry, mkondo wa usambazaji wa ukubwa wa uwanja wa umeme, uakisi wa mfumo wa filamu na uchanganuzi wa rangi ya upitishaji, hesabu ya curve ya udhibiti wa fuwele, uvumilivu wa safu ya filamu na uchanganuzi wa unyeti , uchambuzi wa mavuno, n.k. Kiolesura cha uendeshaji wa TFCalc ni kama ifuatavyo:
Katika kiolesura cha uendeshaji kilichoonyeshwa hapo juu, kwa kuingiza vigezo na masharti ya mipaka na kuboresha, unaweza kupata mfumo wa filamu unaokidhi mahitaji yako. Operesheni ni rahisi na rahisi kutumia.
B. Macleod Muhimu
Essential Macleod ni uchambuzi kamili wa filamu za macho na kifurushi cha programu cha kubuni kilicho na kiolesura cha kweli cha utendakazi wa hati nyingi. Inaweza kukidhi mahitaji mbalimbali katika muundo wa mipako ya macho, kutoka kwa filamu rahisi za safu moja hadi filamu kali za spectroscopic. , inaweza pia kutathmini vichungi vya mgawanyiko wa urefu wa wimbi (WDM) na vichujio mnene vya mgawanyiko wa urefu wa wimbi (DWDM). Inaweza kubuni kutoka mwanzo au kuboresha miundo iliyopo, na inaweza kuchunguza makosa katika muundo. Ni tajiri katika utendaji na nguvu.
Muundo wa muundo wa programu unaonyeshwa kwenye takwimu hapa chini:
C. OptiLayer
Programu ya OptiLayer inasaidia mchakato mzima wa filamu nyembamba za macho: vigezo - kubuni - uzalishaji - uchambuzi wa inversion. Inajumuisha sehemu tatu: OptiLayer, OptiChar, na OptiRE. Pia kuna maktaba ya kiungo chenye nguvu ya OptiReOpt (DLL) ambayo inaweza kuboresha utendaji wa programu.
OptiLayer huchunguza kazi ya tathmini kutoka kwa muundo hadi lengwa, kufikia lengo la muundo kupitia uboreshaji, na kufanya uchanganuzi wa makosa ya kabla ya utayarishaji. OptiChar inachunguza kazi ya tofauti kati ya sifa za spectral ya nyenzo za safu na sifa zake za spectral zilizopimwa chini ya mambo mbalimbali muhimu katika nadharia nyembamba ya filamu, na hupata mfano bora wa nyenzo wa safu na ushawishi wa kila kipengele kwenye muundo wa sasa, akionyesha matumizi mambo yanahitajika kuzingatiwa wakati wa kubuni safu hii ya vifaa? OptiRE inachunguza sifa za spectral za muundo wa kubuni na sifa za spectral za modeli zilizopimwa kwa majaribio baada ya uzalishaji. Kupitia ubadilishaji wa uhandisi, tunapata baadhi ya hitilafu zinazozalishwa wakati wa uzalishaji na kuzirejesha kwenye mchakato wa uzalishaji ili kuongoza uzalishaji. Moduli zilizo hapo juu zinaweza kuunganishwa kupitia utendaji kazi wa maktaba ya kiungo, na hivyo kutambua vitendaji kama vile muundo, urekebishaji na ufuatiliaji wa wakati halisi katika mfululizo wa michakato kutoka kwa muundo wa filamu hadi uzalishaji.
3 Teknolojia ya mipako
Kulingana na njia tofauti za uwekaji, inaweza kugawanywa katika vikundi viwili: teknolojia ya mipako ya kemikali na teknolojia ya mipako ya mwili. Teknolojia ya mipako ya kemikali imegawanywa zaidi katika mchovyo wa kuzamishwa na mchovyo wa dawa. Teknolojia hii inachafua zaidi na ina utendaji duni wa filamu. Hatua kwa hatua inabadilishwa na kizazi kipya cha teknolojia ya mipako ya kimwili. Mipako ya kimwili inafanywa na uvukizi wa utupu, uwekaji wa ioni, nk. Mipako ya utupu ni njia ya kuyeyusha (au kunyunyiza) metali, misombo na nyenzo nyingine za filamu katika utupu ili kuziweka kwenye substrate inayopakwa. Katika mazingira ya utupu, vifaa vya mipako vina uchafu mdogo, ambayo inaweza kuzuia oxidation ya uso wa nyenzo na kusaidia kuhakikisha usawa wa spectral na unene wa filamu, hivyo hutumiwa sana.
Katika hali ya kawaida, shinikizo 1 la anga ni karibu 10 kwa nguvu ya 5 Pa, na shinikizo la hewa linalohitajika kwa mipako ya utupu kwa ujumla ni 10 kwa nguvu ya 3 Pa na hapo juu, ambayo ni ya mipako ya juu ya utupu. Katika mipako ya utupu, uso wa vipengele vya macho unahitaji kuwa safi sana, hivyo chumba cha utupu wakati wa usindikaji pia kinahitaji kuwa safi sana. Hivi sasa, njia ya kupata mazingira safi ya utupu kwa ujumla ni kutumia vacuuming. Pampu za kusambaza mafuta, pampu ya molekuli au pampu ya condensation hutumiwa kutoa utupu na kupata mazingira ya juu ya utupu. Pampu za kusambaza mafuta zinahitaji maji ya baridi na pampu inayounga mkono. Wao ni ukubwa mkubwa na hutumia nishati ya juu, ambayo itasababisha uchafuzi wa mchakato wa mipako. Pampu za molekuli kawaida huhitaji pampu inayounga mkono ili kusaidia katika kazi zao na ni ghali. Kwa kulinganisha, pampu za condensation hazisababishi uchafuzi wa mazingira. , hauhitaji pampu ya kuunga mkono, ina ufanisi wa juu na uaminifu mzuri, hivyo inafaa zaidi kwa mipako ya utupu wa macho. Chumba cha ndani cha mashine ya kawaida ya mipako ya utupu imeonyeshwa kwenye takwimu hapa chini:
Katika mipako ya utupu, nyenzo za filamu zinahitajika kuwashwa kwa hali ya gesi na kisha kuwekwa kwenye uso wa substrate ili kuunda safu ya filamu. Kulingana na njia tofauti za uwekaji, inaweza kugawanywa katika aina tatu: inapokanzwa kwa uvukizi wa joto, inapokanzwa kwa sputtering na ion plating.
Kupokanzwa kwa uvukizi wa mafuta kwa kawaida hutumia waya wa upinzani au introduktionsutbildning ya masafa ya juu ili joto crucible, ili nyenzo ya filamu katika crucible ni moto na vaporized kuunda mipako.
Kupokanzwa kwa sputtering kugawanywa katika aina mbili: inapokanzwa sputtering boriti ya ion na magnetron sputtering inapokanzwa. Upashaji joto wa boriti ya ioni hutumia bunduki ya ioni kutoa mwalo wa ayoni. Boriti ya ioni hulenga shabaha kwa pembe fulani ya tukio na hutawanya safu yake ya uso. atomi, ambazo huwekwa kwenye uso wa substrate ili kuunda filamu nyembamba. Hasara kuu ya kunyunyiza kwa boriti ya ioni ni kwamba eneo lililopigwa mabomu kwenye uso unaolengwa ni dogo sana na kiwango cha uwekaji kwa ujumla ni cha chini. Kupokanzwa kwa sumaku ya sputtering inamaanisha kuwa elektroni huharakisha kuelekea substrate chini ya hatua ya uwanja wa umeme. Wakati wa mchakato huu, elektroni hugongana na atomi za gesi ya argon, ionizing idadi kubwa ya ioni za argon na elektroni. Elektroni huruka kuelekea substrate, na ioni za argon huwashwa na uwanja wa umeme. Lengo huharakishwa na kupigwa mabomu chini ya hatua ya lengwa, na atomi zisizoegemea upande wowote katika lengwa huwekwa kwenye substrate ili kuunda filamu. Kunyunyiza kwa sumaku ni sifa ya kiwango cha juu cha malezi ya filamu, joto la chini la substrate, wambiso mzuri wa filamu, na inaweza kufikia mipako ya eneo kubwa.
Uwekaji wa ioni hurejelea njia inayotumia utiririshaji wa gesi ili kuongeza ioni ya gesi au dutu inayoyeyuka, na kuweka vitu vinavyovukizwa kwenye substrate chini ya mlipuko wa ayoni za gesi au ioni za dutu zilizovukizwa. Uwekaji wa Ion ni mchanganyiko wa uvukizi wa utupu na teknolojia ya kunyunyiza. Inachanganya faida za michakato ya uvukizi na sputtering na inaweza kufunika vifaa vya kazi na mifumo tata ya filamu.
4 Hitimisho
Katika makala hii, sisi kwanza kuanzisha kanuni za msingi za filamu za macho. Kwa kuweka nambari na unene wa filamu na tofauti katika ripoti ya refractive kati ya tabaka tofauti za filamu, tunaweza kufikia kuingiliwa kwa mihimili ya mwanga kati ya tabaka za filamu, na hivyo kupata kazi inayohitajika ya safu ya Filamu. Makala haya kisha yanatanguliza programu ya usanifu wa filamu inayotumika sana ili kumpa kila mtu uelewa wa awali wa muundo wa filamu. Katika sehemu ya tatu ya makala, tunatoa utangulizi wa kina wa teknolojia ya mipako, kwa kuzingatia teknolojia ya mipako ya utupu ambayo hutumiwa sana katika mazoezi. Ninaamini kwamba kwa kusoma makala hii, kila mtu atakuwa na ufahamu bora wa mipako ya macho. Katika makala inayofuata, tutashiriki njia ya kupima mipako ya vipengele vilivyowekwa, hivyo endelea kukaa.
Anwani:
Email:info@pliroptics.com ;
Simu/Whatsapp/Wechat:86 19013265659
mtandao:www.pliroptics.com
Ongeza:Jengo 1, Na.1558, barabara ya kijasusi, qingbaijiang, chengdu, sichuan, china
Muda wa kutuma: Apr-10-2024
