1 Параметрҳои иҷрои пас аз молидани
Дар мақолаи қаблӣ мо вазифаҳо, принсипҳо, нармафзори тарроҳӣ ва усулҳои маъмули пӯшонидани филмҳои тунуки оптикиро муаррифӣ кардем. Дар ин мақола мо санҷиши параметрҳои пас аз пӯшишро муаррифӣ мекунем. Параметрҳои иҷрои сатҳи ҷузъ пас аз молидани гузаранда (Интиқоли), Инъикос (R), азхудкунии (A) ва ғайраҳоро дар бар мегиранд. Илова бар ин, ҷаббида (Интиқол) ва ғайра. Хусусияти парокандашавии S (Scatter) сатњи плёнка низ бояд санљида ва тањлил карда шавад.
Интиқоли T ин таносуби энергияи шиддатнокии рӯшноӣ, ки аз плёнка мегузарад, ба энергияи рӯшноӣ мебошад. Инъикос R ин таносуби энергияи шиддатест, ки дар сатҳи рӯйпӯш инъикос ёфтааст, ба энергияи афтанда. Абсорбсияи А таносуби энергияи рӯшноӣ, ки қабати плёнка ҷаббида мешавад, ба энергияи рӯшноии афтанда аст. Барои ин се параметр, муносибатҳои зерин вуҷуд доранд:
T + R + A = 1
Яъне ҷамъи гузаранда, инъикоскунанда ва абсорбсияи қабати плёнка доимӣ аст 1. Ин маънои онро дорад, ки баъди аз мембрана гузаштани шуои рӯшноӣ як қисми он аз мембрана мегузарад, як қисми он инъикос мешавад ва қисми боқимонда аз тарафи мембрана ҷаббида мешавад.
Дарҷузъи оптикӣрасмҳо, гузаранда ё инъикоси сатҳи филм одатан талаб карда мешавад ва диапазони спектрӣ ва кунҷи паҳншавӣ дар ҳолати татбиқ бояд дақиқ муайян карда шавад. Агар поляризатсия низ талаб карда шавад, диапазони њолатњои поляризатсияро аник муайян кардан лозим аст. Мисол, талаботи пӯшиш дар расми зер ин аст, ки дар 770 нм инъикоскунанда бояд дар сатҳи 45 дараҷа на камтар аз 88% бошад ва дар 550 нм, интиқол бояд на камтар аз 70% дар сатҳи 45 дараҷа бошад.
Илова ба хосиятҳои оптикии боло, хосиятҳои механикӣ ва химиявии қабати плёнкаи оптикӣ, аз ҷумла муқовимати фарсудашавӣ, устуворӣ, ҳалшавандагии қабати плёнка низ бояд ба назар гирифта шаванд. Илова бар ин, сифати сатҳи оптикӣ пас аз пӯшиш низ бояд ба назар гирифта шавад, аз ҷумла талабот ба чуқурӣ, харошидан, лой, доғҳо ва ғайра.
2 Принсипи спектрофотометр
Дар ин мақола, мо ба хосиятҳои оптикии усулҳои санҷиши филм тамаркуз мекунем, то дар амал ҷорӣ кардани Спектрофотометри асосӣ (Спектрофотометр) ва Эллипсометр (Эллипсометр) барои санҷиши параметрҳои филм, спектрофотометр метавонад хусусиятҳои интиқол, инъикос ва азхудкунии оптикиро санҷад. махсулот. Эллипсометр ғафсӣ ва поляризатсияи қабати плёнкаро чен карда метавонад ва принсипи ҳарду якхела аст.
Сохтори чунин дастгоҳро метавон ба ду қисмати канали тавлиди чӯб ва канали қабулкунандаи чӯб тақсим кард, вақте ки интиқоли ҷузъро санҷидан лозим аст, компонент дар мобайни ду канал ҷойгир карда мешавад, то чӯбро аз намуна мегузарад, вақте ки инъикоскунандаи ҷузъро санҷидан лозим аст, компонент дар як тарафи ду канал ҷойгир карда мешавад, то чӯбро намуна инъикос кунад. Ба сифати мисол, принсипи спектрофотометр барои чен кардани гузариши намуна дар расми зерин нишон дода шудааст:
Дар расми боло, канори чапи канали тавлиди чӯб аст, ки бо истифода аз манбаи васеи спектри рӯшноӣ барои паҳн кардани рӯшноӣ ва сипас тавассути тақсим кардани тор ва интихоби сӯрох, дарозии мавҷи мушаххаси нурро бароварда, чӯб аз он мегузарад. коллиматор 1 ба шуои коллиматсия табдил меёбад ва баъд аз поляризаторе, ки Кунҷро давр зада метавонад, мегузарад, ба нури қутбӣ табдил меёбад ва нури қутбӣ ба воситаи спектроскоп пас аз ҷамъ овардани коллиматор 2 ба 2 шуо тақсим мешавад. Шуои рӯшноӣ дар детектори истинодӣ инъикос карда мешавад, ки дар он чӯби нури ҷамъшуда ҳамчун истинод барои ислоҳ кардани дрейфти энергия аз тағирёбии манбаи рӯшноӣ истифода мешавад ва чӯби нури дигар аз намуна мегузарад, тавассути коллиматор 3 ва коллиматор тағир дода мешавад. 4, ва ба детектор дар охири рости санҷиш ворид мешавад. Дар санҷиши воқеӣ, ду арзиши энергия тавассути гузоштан ва гирифтани намунаи санҷидашуда ба даст оварда мешавад ва интиқоли намунаро тавассути муқоисаи энергия ба даст овардан мумкин аст.
Принсипи эллипсометр ба принсипи спектрофотометри дар боло зикршуда монанд аст, ба истиснои он ки плитаи мавҷи гардиши 1/4 ҳамчун унсури ҷуброн дар канали ирсолкунанда ва канали қабулкунанда ва поляризатор низ дар канали қабулкунанда илова карда мешавад. , то ки хусусиятҳои поляризатсияи намуна бештар фасеҳтар таҳлил карда шаванд. Дар баъзе мавридҳо, эллипсометр инчунин мустақиман манбаи нури васеи спектрро истифода мебарад ва дар охири қабул спектрометри сӯрох ва тақсимкунандаро дар якҷоягӣ бо детектори массиви хатӣ барои ноил шудан ба санҷиши кори ҷузъ истифода мебарад.
3. Санҷиши интиқол
Дар санҷиши интиқол, барои пешгирӣ кардани инъикоси детекторе, ки чӯби нурро қабул мекунад, аксар вақт ҳамчун қабулкунанда сфераи интегралӣ истифода мешавад, принсип чунин нишон дода шудааст:
Тавре ки аз расми боло дида мешавад, кураи муттаҳидкунанда як кураи холигӣ мебошад, ки дар девори дарунӣ бо маводи рӯйпӯши сафеди паҳншудаи инъикос фаро гирифта шудааст ва дар девори тӯб сӯрохи тиреза мавҷуд аст, ки он ҳамчун сӯрохи нури рӯшноӣ истифода мешавад. ва сурохии кабулкунандаи детектори нур. Хамин тавр, нуре, ки ба кураи интегралй медарояд, ба воситаи руйпуши девори дарунй якчанд маротиба инъикос карда, дар девори дарунй равшании якхела ба вучуд оварда, ба воситаи детектор кабул карда мешавад.
Ҳамчун мисол, сохтори дастгоҳе, ки барои санҷиши интиқоли пластинкаи оптикӣ истифода мешавад, дар зер нишон дода шудааст
Дар расми боло, намунаи санҷидашуда дар ҷадвали танзимкунӣ ҷойгир карда шудааст, ки онро метавон дар самтҳои x ва y иваз кард. Интиқоли намунаро дар ҳама гуна мавқеъ тавассути назорати компютерии ҷадвали танзимкунӣ санҷидан мумкин аст. Тақсимоти интиқоли тамоми шишаи ҳамворро инчунин тавассути санҷиши сканерӣ ба даст овардан мумкин аст ва ҳалли санҷиш аз андозаи нуқтаи чӯб вобаста аст.
4. Санҷиши рефлексия
Барои андозагирии инъикоси филми оптикӣ одатан ду роҳ вуҷуд дорад, яке андозагирии нисбӣ ва дигаре ченаки мутлақ. Усули андозагирии нисбӣ як рефлекторро бо инъикоси маълум талаб мекунад, ки ҳамчун истинод барои санҷиши муқоиса истифода шавад. Дар амал, инъикоси оинаи истинод бояд бо пиршавӣ ё олудашавии қабати филм мунтазам калибровка карда шавад. Аз ин рӯ, ин усул хатогиҳои эҳтимолии андозагирӣ дорад. Усули ченкунии мутлақи инъикоскунанда калибрченкунии инъикоскунандаи дастгоҳи санҷиширо бидуни ҷойгир кардани намуна талаб мекунад. Дар расми зер сохтори дастгоҳи классикии VW барои ноил шудан ба андозагирии мутлақи инъикоскунандаи намуна оварда шудааст:
Тасвири чапи расми боло сохтори V-шаклро нишон медиҳад, ки аз се оина, M1, M2 ва M3 иборат аст. Аввалан, арзиши шиддатнокии рӯшноӣ дар ин режим санҷида мешавад ва ҳамчун P1 сабт карда мешавад. Сипас, дар расми рост, намунаи санҷидашуда гузошта мешавад ва оинаи M2 ба ҳолати боло табдил дода, сохтори W-шаклро ташкил медиҳад. Инъикоси мутлақи намунаи ченакро гирифтан мумкин аст. Ин дастгоҳ инчунин метавонад такмил дода шавад, масалан, намунаи озмоишшуда инчунин бо мизи гардиши мустақил муҷаҳҳаз карда шудааст, то намунаи санҷишшаванда метавонад ба ҳар кунҷ бо гардиши оинаи M2 ба мавқеи мувофиқи инъикос гарданд, то баромади чӯбро, ба тавре ки инъикоси намуна метавонад дар кунҷҳои гуногун санҷида шавад.
Ҳамчун мисол, сохтори дастгоҳе, ки барои санҷиши инъикоси пластинкаи оптикӣ истифода мешавад, дар зер нишон дода шудааст:
Дар расми боло, намунаи санҷидашуда дар ҷадвали танзими тарҷумаи x/y ҷойгир карда шудааст ва инъикоскунандаи намуна метавонад дар ҳама мавқеъ тавассути назорати компютерии ҷадвали танзим санҷида шавад. Тавассути санҷиши сканер, харитаи тақсимоти инъикоси тамоми шишаи ҳамворро низ ба даст овардан мумкин аст.
Тамос:
Email:jasmine@pliroptics.com ;
Телефон/Whatsapp/Wechat: 86 19013265659
Веб: www.pliroptics.com
Илова: Бинои 1, №1558, роҳи иктишофӣ, Цинбайцзян, Ченгду, Сичуан, Чин
Вақти фиристодан: апрел-23-2024
