1 Örtükden soň öndürijilik parametrleri
Öňki makalada optiki inçe filmleriň funksiýalaryny, ýörelgelerini, dizaýn programma üpjünçiligini we umumy örtük usullaryny hödürledik. Bu makalada örtükden soňky parametrleriň synagyny hödürleýäris. Örtükden soň komponentiň üstündäki öndürijilik parametrleri Transmittance (Transmittance), Reflectance (R), Absorptance (A) we ş.m. Mundan başga-da, siňdiriş (Transmittance) we ş.m. Filmiň üstündäki dargamak häsiýetli S (ýaýradyjy) hem synagdan geçirilmeli we derňelmeli.
Geçiriji T, filmden geçýän ýagtylyk intensiwliginiň energiýasynyň hadysanyň ýeňil energiýasyna bolan gatnaşygydyr. R şöhlelenmesi, örtügiň üstünde görkezilen intensiwlik energiýasynyň hadysanyň energiýasyna bolan gatnaşygydyr. Absorbsiýa A, film gatlagy tarapyndan sorulýan ýagtylyk energiýasynyň hadysanyň ýagtylyk energiýasyna bolan gatnaşygydyr. Bu üç parametr üçin aşakdaky gatnaşyklar bar:
T + R + A = 1
Filmagny, film gatlagynyň geçişiniň, şöhlelenmesiniň we siňdirilişiniň jemi hemişelikdir. Bu, ýagty şöhläniň membranadan geçenden soň, bir böleginiň geçendigini, bir böleginiň daşarda şöhlelenýändigini we galan bölegini aňladýandygyny aňladýar. membrana tarapyndan sorulýar.
Onoptiki komponentçyzgylar, filmiň üstaşyr geçirilmegi ýa-da şöhlelendirilmegi adatça talap edilýär we amaly ýagdaýdaky spektral diapazon we hadysalar burçy anyk kesgitlenmeli. Polýarizasiýa hem zerur bolsa, polýarizasiýa ýagdaýlarynyň diapazony anyk kesgitlenmeli. Mysal üçin, aşakdaky suratda örtük talaplary 770nm-de, şöhlelendiriş 45 gradus hadysada 88% -den, 550nm-de bolsa, 45 gradus hadysada 70% -den az bolmaly däldir.
Aboveokardaky optiki häsiýetlerden başga-da, optiki film gatlagynyň mehaniki we himiki aýratynlyklary, şol sanda könelişme garşylygy, berkligi, film gatlagynyň çözülişi ýaly göz öňünde tutulmalydyr. Mundan başga-da, örtükden soň optiki ýüzüň hiline, çukurlara, dyrnaçaklara, hapalara, tegmillere we ş.m. talaplary hem göz öňünde tutmalydyr.
2 Spektrofotometriň ýörelgesi
Bu ýazgyda filmiň parametrlerini barlamak üçin esasy spektrofotometr (Spektrofotometr) we Ellipsometr (Ellipsometr) bilen tanyşdyrmak üçin film synag usullarynyň optiki aýratynlyklaryna ünsi jemleýäris, spektrofotometr optiki geçiş, şöhlelendiriş we siňdiriş aýratynlyklaryny synap biler. önümleri. Ellipsometr film gatlagynyň galyňlygyny we polýarizasiýa aýratynlyklaryny ölçäp bilýär we ikisiniň hem prinsipi meňzeýär.
Şeýle enjamyň gurluşyny şöhle öndüriji kanalyň we şöhläni kabul edýän kanalyň iki bölegine bölmek bolar, komponentiň geçişi synagdan geçirilmeli bolsa, komponent iki kanalyň ortasyna ýerleşdiriler, şonuň üçin şöhle nusgadan geçýär, komponentiň şöhlelendirişini barlamaly bolanda, komponent iki kanalyň bir tarapyna ýerleşdirilýär, şonuň üçin şöhle nusga bilen şöhlelenýär. Mysal hökmünde, nusganyň geçişini ölçemek üçin spektrofotometriň ýörelgesi aşakdaky suratda görkezilýär:
Aboveokardaky şekilde, çep ujy şöhle çykarmak üçin giň spektrli ýagtylyk çeşmesini ulanyp, şöhläniň bölüniş kanaly bolup, soňra gözenegiň bölünmegi we ýeri saýlamak arkaly belli bir tolkun uzynlygy çykýar, şöhle geçýär. kollimator 1, ýygnanan şöhlä öwrülýär, soňra bolsa burçy öwrüp bilýän polýarizatordan geçýär, polýarlaşan ýagtylyga öwrülýär we polýarizirlenen ýagtylyk 2-nji kollimator ýygnanandan soň spektroskop tarapyndan 2 şöhlä bölünýär. Lightagtylyk şöhlesi, şöhle çeşmesiniň üýtgemegi sebäpli energiýa süýşmesini düzetmek üçin ulanylýan salgylanma detektorynda şöhlelendirilýär we başga bir ýagtylyk şöhlesi nusgadan geçýär, kollimator 3 we kollimator tarapyndan üýtgedilýär. 4, synagyň iň sag tarapynda detektora girýär. Hakyky synagda, synagdan geçen nusgany goýmak we çykarmak arkaly iki sany energiýa gymmaty alynýar we energiýanyň deňeşdirilmegi arkaly nusganyň geçişini alyp bolýar.
Ellipsometriň ýörelgesi ýokardaky spektrofotometriň prinsipine meňzeýär, aýlanýan 1/4 tolkun plastinkasy şöhle iberýän kanalda we kabul ediş kanalynda öwezini dolmak elementi hökmünde goşulýar we kabul ediş kanalynda polýarizator hem goşulýar. , nusganyň polýarizasiýa aýratynlyklaryny has çeýe analiz edip bolar ýaly. Käbir hadysalarda ellipsometr giň spektrli ýagtylyk çeşmesini gönüden-göni ulanar we komponentiň öndürijilik synagyna ýetmek üçin çyzykly massiw detektory bilen birleşdirilen kabul ediş nokadynda bölek we bölüji spektrometr ulanar.
3. Geçiriş synagy
Geçiriş synagynda, ýagty şöhläni alýan detektoryň şöhlelenmeginiň öňüni almak üçin integrasiýa sferasy köplenç kabul ediji hökmünde ulanylýar, ýörelge aşakdaky ýaly görkezilýär:
Aboveokardaky suratdan görnüşi ýaly, birleşdiriji sfera, içki diwarda ak diffuz şöhlelendirme örtük materialy bilen örtülen boşluk sferasydyr we top diwarynda hadysanyň çyrasynyň ýeňil deşigi hökmünde ulanylýan penjire deşigi bar. we ýagtylyk detektorynyň kabul ediji deşigi. Şeýlelik bilen, integrasiýa sferasyna girýän ýagtylyk içki diwar örtügi arkaly birnäçe gezek şöhlelendirilip, içki diwarda birmeňzeş yşyklandyryş emele getirýär we detektor tarapyndan kabul edilýär.
Mysal üçin, optiki plastinkanyň geçirişini barlamak üçin ulanylýan enjamyň gurluşy aşakda görkezilýär
Aboveokardaky suratda synagdan geçen nusga x we y ugurlaryna üýtgedilip bilinjek düzediş tablisasyna ýerleşdirildi. Nusganyň geçirilişi, düzediş tablisasynyň kompýuter gözegçiligi arkaly islendik ýagdaýda synag edilip bilner. Tekiz aýnanyň tutuşlygyna paýlanyşyny skaner synagy arkaly hem alyp bolýar we synagyň çözgüdi şöhläniň ýer ululygyna baglydyr.
4. Oýlanma synagy
Optiki filmiň şöhlelendirişini ölçemek üçin adatça iki ýol bar, biri otnositel ölçeg, beýlekisi mutlak ölçeg. Deňeşdirme ölçeg usuly, deňeşdirme synagy üçin salgylanma hökmünde belli belli şöhlelendirilen reflektor talap edýär. Iş ýüzünde, aýnanyň şöhlelenmesi film gatlagynyň garramagy ýa-da hapalanmagy bilen yzygiderli kalibrlenmeli. Şonuň üçin bu usulda potensial ölçeg ýalňyşlyklary bar. Mutlak şöhlelendiriş ölçemegiň usuly, synag enjamynyň şöhlelenmesini nusga goýmazdan kalibrlemesini talap edýär. Aşakdaky suratda, nusganyň şöhlelendirişini mutlak ölçemek üçin nusgawy VW enjamynyň gurluşy berilýär:
Aboveokardaky suratda çep şekil, M1, M2 we M3 üç aýnadan ybarat V görnüşli gurluşy görkezýär. Ilki bilen bu re inimde ýagtylygyň intensiwligi bahasy P1 hökmünde synag edilýär we ýazga alynýar. Soňra, dogry şekilde synag astyndaky nusga goýulýar we M2 aýnasy W görnüşindäki gurluşy emele getirmek üçin ýokarky ýere aýlanýar. Ölçelenen nusganyň mutlak şöhlelenmesini alyp bolýar. Bu enjam hem kämilleşdirilip bilner, mysal üçin, synag astyndaky nusga garaşsyz aýlanýan stol bilen hem üpjün edilendir, şonuň üçin synag astyndaky nusga M2 aýnasyny degişli şöhlelendiriş ýagdaýyna öwrüp, islendik burça öwrüp biler. şöhläniň çykyşy, nusganyň şöhlelendirilişi birnäçe burçda synag edilip bilner.
Mysal üçin, optiki plastinkanyň şöhlelenmesini barlamak üçin ulanylýan enjamyň gurluşy aşakda görkezilýär:
Aboveokardaky suratda synag edilen nusga x / y terjime düzediş tablisasyna ýerleşdirildi we nusganyň şöhlelendirilişi sazlaýyş tablisasynyň kompýuter gözegçiligi arkaly islendik ýagdaýda synag edilip bilner. Skaner synagy arkaly tutuş tekiz aýnanyň şöhlelendiriş paýlanyş kartasyny hem alyp bolýar.
Habarlaşmak üçin:
Email:jasmine@pliroptics.com ;
Telefon / Whatsapp / Wechat: 86 19013265659
web ： www.pliroptics.com
Goşuň: 1-nji bina, 51558, aňtaw ýoly, qingbaijiang, chengdu, siçuan, Hytaý
Iş wagty: Apr-23-2024
