1 Optiki filmleriň esaslary
Bu makalada optiki inçe filmleriň, köplenç ulanylýan dizaýn programma üpjünçiliginiň we örtük tehnologiýasynyň ýörelgeleri bilen tanyşdyrarys.
Optiki filmleriň anti-şöhlelenme, ýokary şöhlelendirme ýa-da ýagtylygyň bölünmegi ýaly üýtgeşik funksiýalara ýetip biljekdiginiň esasy ýörelgesi, ýagtylygyň inçe film päsgelçiligi. Inçe filmler, adatça ýokary refraktiw görkeziji material gatlaklaryndan we pes refraktiw görkeziji material gatlaklaryndan bir ýa-da birnäçe topardan durýar. Bu film gatlagynyň materiallary, umuman, oksidler, metallar ýa-da ftoridlerdir. Filmiň sanyny, galyňlygyny we dürli film gatlaklaryny bellemek bilen, gatlaklaryň arasyndaky refraktiw görkezijiniň tapawudy, zerur funksiýalary almak üçin film gatlaklarynyň arasyndaky ýagty şöhleleriň päsgelçiligini kadalaşdyryp biler.
Bu hadysany suratlandyrmak üçin mysal hökmünde umumy şöhlelendirme garşy örtük alalyň. Päsgelçiligi ulaltmak ýa-da azaltmak üçin örtük gatlagynyň optiki galyňlygy adatça 1/4 (QWOT) ýa-da 1/2 (HWOT) bolýar. Aşakdaky suratda, hadysanyň refraktiw görkezijisi n0, substratyň refraktiw görkezijisi ns. Şonuň üçin päsgelçiligi ýatyrmak şertlerini döredip biljek film materialynyň refraktiw görkezijisiniň suraty hasaplanyp bilner. Film gatlagynyň ýokarky ýüzünde şöhlelenýän ýagtylyk şöhlesi R1, filmiň aşaky ýüzünde şöhlelenýän şöhle şöhlesi R2. Filmiň optiki galyňlygy 1/4 tolkun uzynlygy bolanda, R1 bilen R2 arasyndaky optiki ýol tapawudy 1/2 tolkun uzynlygy bolup, päsgelçilik şertleri ýerine ýetirilýär, şeýlelik bilen päsgelçilik weýran ediji päsgelçilik döredýär. Fenomen.
Şeýlelik bilen, şöhlelenýän şöhläniň intensiwligi gaty kiçelýär we şeýlelik bilen şöhlelendirme maksadyna ýetýär.
2 Optiki inçe film dizaýn programma üpjünçiligi
Tehniki işgärlere dürli aýratyn funksiýalara laýyk gelýän film ulgamlaryny dizaýn etmek üçin ýeňil film dizaýn programma üpjünçiligi döredildi. Dizaýn programma üpjünçiligi, köplenç ulanylýan örtük materiallaryny we olaryň parametrlerini, film gatlagynyň simulýasiýasyny we optimizasiýa algoritmlerini we derňew funksiýalaryny birleşdirýär, bu tehnikleriň ösmegini we derňelmegini aňsatlaşdyrýar. Dürli film ulgamlary. Köplenç ulanylýan film dizaýn programma üpjünçiligi aşakdakylar:
A.TFCalc
TFCalc optiki inçe film dizaýny we derňewi üçin uniwersal guraldyr. Dürli anti-refleksiýa, ýokary şöhlelendiriji, zolakly geçiriji, spektroskopiki, faza we beýleki film ulgamlaryny dizaýn etmek üçin ulanylyp bilner. TFCalc, bir ýüzünde 5000-e çenli film gatlagy bolan substratda iki taraplaýyn film ulgamyny dizaýn edip biler. Film stak formulalarynyň girizilmegini goldaýar we dürli yşyklandyryş görnüşlerini simulirläp bilýär: konus şöhleleri, tötänleýin radiasiýa şöhleleri we ş.m. Ikinjiden, programma üpjünçiliginiň käbir optimizasiýa funksiýalary bar we optimizasiýa üçin aşa baha we üýtgeşik usullar ýaly usullary ulanyp biler. şöhlelendiriş, geçiriş, siňdiriş, faza, ellipsometri parametrleri we film ulgamynyň beýleki maksatlary. Programma üpjünçiligi, şöhlelendiriş, geçiriş, siňdiriş, ellipsometri parametrleriniň derňewi, elektrik meýdanynyň intensiwligini paýlamak egri, film ulgamynyň şöhlelenmesi we geçiriş reňkiniň derňewi, kristal dolandyryş egrisini hasaplamak, film gatlagyna çydamlylyk we duýgurlyk derňewi, hasyl derňewi we ş.m. ýaly dürli derňew funksiýalaryny birleşdirýär. TFCalc-iň iş interfeýsi aşakdaky ýaly:
Aboveokarda görkezilen operasiýa interfeýsinde parametrleri we serhet şertlerini girizmek we optimizirlemek arkaly islegleriňize laýyk film ulgamyny alyp bilersiňiz. Amal birneme ýönekeý we ulanmak aňsat.
B. Esasy Makleod
Essential Macleod, hakyky köp resminamaly iş interfeýsi bolan doly optiki film derňewi we dizaýn programma üpjünçiligi bukjasydyr. Optiki örtük dizaýnynda, ýönekeý bir gatlakly filmlerden başlap, berk spektroskopiki filmlere çenli dürli talaplary kanagatlandyryp biler. , şeýle hem tolkun uzynlygy bölüniş multiplexing (WDM) we dykyz tolkun uzynlygy bölüniş multiplexing (DWDM) süzgüçlerine baha berip biler. Noldan dizaýn edip ýa-da bar bolan dizaýnlary optimizirläp biler we dizaýndaky ýalňyşlyklary gözden geçirip biler. Funksiýalara baý we güýçli.
Programma üpjünçiliginiň dizaýn interfeýsi aşakdaky suratda görkezilýär:
C. OptiLayer
“OptiLayer” programma üpjünçiligi optiki inçe filmleriň tutuş prosesini goldaýar: parametrler - dizaýn - önümçilik - terslik derňewi. Üç bölegi öz içine alýar: OptiLayer, OptiChar we OptiRE. Şeýle hem programma üpjünçiliginiň funksiýalaryny güýçlendirip biljek OptiReOpt dinamiki baglanyşyk kitaphanasy (DLL) bar.
“OptiLayer” bahalandyryş funksiýasyny dizaýndan nyşana çenli gözden geçirýär, optimizasiýa arkaly dizaýn maksadyna ýetýär we önümçilikden öňki ýalňyşlyk derňewini geçirýär. “OptiChar” inçe film teoriýasyndaky dürli möhüm faktorlar boýunça gatlak material spektral häsiýetleri bilen ölçenen spektral häsiýetleriniň arasyndaky tapawut funksiýasyny gözden geçirýär we has gowy we real gatlak material modelini we her faktoryň häzirki dizaýna täsirini alýar, ulanylyşyny görkezýär materiallaryň bu gatlagyny düzeniňizde faktorlary göz öňünde tutmalymy? “OptiRE” dizaýn modeliniň spektral aýratynlyklaryny we önümçilikden soň eksperimental ölçenen modeliň spektral aýratynlyklaryny öwrenýär. In engineeringenerçilik öwrülişigi arkaly önümçilik wagtynda ýüze çykan käbir ýalňyşlyklary alýarys we önümçilige ugrukdyrmak üçin önümçilik prosesine gaýtaryp berýäris. Aboveokardaky modullary dinamiki baglanyşyk kitaphanasynyň funksiýasy arkaly baglanyşdyryp bolar, şeýlelik bilen film dizaýnyndan önümçilige çenli bir topar prosesde dizaýn, üýtgetmek we real wagt gözegçilik ýaly funksiýalary amala aşyryp bolar.
3 Örtük tehnologiýasy
Dürli örtük usullaryna görä, ony iki kategoriýa bölmek bolar: himiki örtük tehnologiýasy we fiziki örtük tehnologiýasy. Himiki örtük tehnologiýasy esasan suwa çümdürmek we pürküji örtüklere bölünýär. Bu tehnologiýa has hapalanýar we filmiň pes görkezijisine eýe. Graduallyuwaş-ýuwaşdan täze nesil fiziki örtük tehnologiýasy bilen çalşylýar. Fiziki örtük wakuum bugarmak, ion örtmek we ş.m. amala aşyrylýar. Wakuum örtügi metallary, birleşmeleri we beýleki film materiallaryny wakuumda bugarmak (ýa-da tüýkürmek) usulydyr. Wakuum gurşawynda örtük enjamlarynda az mukdarda hapalar bar, bu material ýüzüniň okislenmeginiň öňüni alyp biler we filmiň spektral birmeňzeşligini we galyňlygynyň yzygiderliligini üpjün edip biler, şonuň üçin giňden ulanylýar.
Adaty ýagdaýlarda, 1 atmosfera basyşy 5 Pa güýjüne 10 töweregi, wakuum örtük üçin zerur howa basyşy, adatça ýokary vakuum örtügine degişli 3 Pa we ondan ýokary güýçde 10 bolýar. Wakuum örtükde optiki komponentleriň üstü gaty arassa bolmaly, şonuň üçin gaýtadan işlenende wakuum kamerasy hem gaty arassa bolmaly. Häzirki wagtda arassa wakuum gurşawyny almagyň ýoly, adatça wakuum ulanmakdyr. Nebit diffuziýa nasoslary, vakuumy çykarmak we ýokary vakuum gurşawyny almak üçin molekulýar nasos ýa-da kondensasiýa nasosy ulanylýar. Nebit diffuziýa nasoslary sowadyjy suw we goldaw nasosy talap edýär. Ululygy uludyr we örtük prosesiniň hapalanmagyna sebäp boljak ýokary energiýa sarp edýär. Molekulýar nasoslar, adatça, işine kömek etmek üçin goldaw nasosyny talap edýär we gymmat. Munuň tersine, kondensasiýa nasoslary hapalanmaýar. , goldaw nasosyny talap etmeýär, ýokary netijeliligi we ygtybarlylygy bar, şonuň üçin optiki vakuum örtügi üçin iň amatlydyr. Umumy vakuum örtük maşynynyň içki otagy aşakdaky suratda görkezilýär:
Wakuum örtükde film materialyny gazly ýagdaýda gyzdyrmaly we film gatlagyny emele getirmek üçin substratyň ýüzüne goýmaly. Dürli örtük usullaryna görä, ony üç görnüşe bölmek bolar: termiki bugarmagy ýylatmak, tüýdükli ýyladyş we ion örtük.
Malylylyk bugarmak bilen ýyladyş, adatça çüýi gyzdyrmak üçin garşylyk simini ýa-da ýokary ýygylykly induksiýany ulanýar, şonuň üçin haçdaky film materialy gyzdyrylýar we örtük emele gelýär.
Tüýdükli ýyladyş iki görnüşe bölünýär: ion şöhlesini ýyrtmak we magnitron tüýdükli ýyladyş. Ion şöhlesini ýyrtmak, ion şöhlesini çykarmak üçin ion ýaragyny ulanýar. Ion şöhlesi belli bir hadysa burçunda nyşany bombalaýar we üstki gatlagyny dökýär. inçe film döretmek üçin substratyň ýüzüne goýýan atomlar. Ion şöhleleriniň dökülmeginiň esasy kemçiligi, nyşanyň üstüne bombalanan meýdanyň gaty az bolmagy we çöketligiň derejesi adatça pes bolmagydyr. Magnetron tüýdükli ýyladyş, elektron meýdanynyň täsiri astynda elektronlaryň substrata tarap çaltlaşýandygyny aňladýar. Bu prosesiň dowamynda elektronlar argon gaz atomlary bilen çaknyşyp, köp sanly argon ionlaryny we elektronlary ionlaşdyrýar. Elektronlar substrata tarap uçýarlar we argon ionlary elektrik meýdany bilen gyzdyrylýar. Maksat nyşanyň hereketi astynda çaltlaşdyrylýar we bombalanýar we nyşanda bitarap maksat atomlary film döretmek üçin substrata goýulýar. Magnetronyň dökülmegi ýokary film emele geliş tizligi, aşaky substratyň temperaturasy, filmiň gowy ýelmeşmegi bilen häsiýetlendirilýär we uly meýdany örtüp biler.
Ion örtük, gazy ýa-da bugarýan maddalary bölekleýin ionlaşdyrmak üçin bug çykaryşyny ulanýan we bugarýan maddalary gaz ionlarynyň ýa-da bugarýan madda ionlarynyň bombalanmagy astynda substrata goýýan usuly aňladýar. Ion örtük wakuum bugarmagy we tüýkürmek tehnologiýasynyň utgaşmasydyr. Bugarmagyň we dökülmegiň prosesleriniň artykmaçlyklaryny birleşdirýär we iş böleklerini çylşyrymly film ulgamlary bilen örtüp bilýär.
4 Netije
Bu makalada ilki bilen optiki filmleriň esasy ýörelgeleri bilen tanyşdyrýarys. Filmiň sanyny we galyňlygyny we dürli film gatlaklarynyň arasyndaky refraktiw görkezijiniň tapawudyny kesgitlemek bilen, film gatlaklarynyň arasynda ýagty şöhleleriň päsgelçiligini gazanyp bileris we şeýlelik bilen zerur Film gatlagy funksiýasyny alyp bileris. Soňra bu makala, hemmelere film dizaýnyna deslapky düşünje bermek üçin köplenç ulanylýan film dizaýn programma üpjünçiligi bilen tanyşdyrýar. Makalanyň üçünji bölüminde iş ýüzünde giňden ulanylýan wakuum örtük tehnologiýasyna ünsi jemläp, örtük tehnologiýasy barada jikme-jik maglumat berýäris. Bu makalany okamak bilen, her kimiň optiki örtüge has gowy düşünjekdigine ynanýaryn. Indiki makalada örtülen komponentleriň örtük synag usulyny paýlaşarys, şonuň üçin üns beriň.
Habarlaşmak üçin:
Email:info@pliroptics.com ;
Telefon / Whatsapp / Wechat: 86 19013265659
web ：www.pliroptics.com
Goşuň: 1-nji bina, 51558, aňtaw ýoly, qingbaijiang, chengdu, siçuan, Hytaý
Iş wagty: 10-2024-nji aprel
