1 groundир асты җимерелүенең төшенчәләре һәм сәбәпләре
Оптик компонентларның асты өслеге зарарлыгы (SSD, җир өстендәге зыян) гадәттә көчле лазер системалары һәм литография машиналары кебек югары төгәл оптик кушымталарда искә алына, һәм аның барлыгы оптик компонентларның соңгы эшкәртү төгәллеген чикли һәм сурәтләүгә тагын да тәэсир итә. оптик системаларның эшләве, шуңа күрә аңа җитәрлек игътибар бирергә кирәк. Subир асты җимерелүе гадәттә элемент өслегендәге ярыклар һәм эчке стресс катламнары белән характерлана, алар кайбер калдыкларның фрагментлашуы һәм якын өслектәге материаль составның деформациясе аркасында килеп чыга. Subир асты җимерү моделе түбәндәгечә күрсәтелә: өске катлам - чистартылган чокыр катламы, аннары ярак җитешсезлеге катламы һәм стресс деформация катламы - аскы катлам, ә зыянсыз матди катлам - эчке катлам. Алар арасында ярак җитешсезлеге катламы һәм стресс деформациясе катламы җир асты зыяннары.
Оптик материалларның җир асты зарарлыгы моделе
Материалның оптик компонентлары, гадәттә, пыяла, керамика һәм башка каты һәм ватык материаллар, компонентларның эре эшкәртү этабында, тегермән формалаштыру, яхшы тарту һәм тупас бизәү процессларын үтәргә кирәк, бу процессларда механик тарту һәм химик реакцияләр бар. һәм роль уйныйлар. Элемент өслеге белән контакттагы абразив яки абразив корал тигез булмаган кисәкчәләрнең зурлыгына ия, һәм элемент өслегендәге һәр контакт ноктасының көче бертөрле түгел, шуңа күрә конвекс һәм конвейк катламы һәм эчке ярык катламы булачак пыяла өслегендә җитештерелергә тиеш. Ярылган катламда булган материал - тарту процессы вакытында ватылган, ләкин өслектән төшмәгән компонент, шуңа күрә җир өстендәге зыян барлыкка киләчәк. Иркен кисәкчәләрнең абразив тартуы яки CNC тартумы, бу күренеш материал өслегендә барлыкка киләчәк. Subир өстендәге зыянның фактик эффекты түбәндәге рәсемдә күрсәтелгән:
Subир асты зыянын күрсәтү
2 subир асты зыянын үлчәү ысуллары
Subир өстендәге зыянны игътибарсыз калдырып булмый, аны оптик компонент җитештерүчеләре нәтиҗәле контрольдә тотарга тиеш. Аны эффектив контрольдә тоту өчен, компонент өслегендәге җир асты зыянының күләмен төгәл ачыкларга һәм ачыкларга кирәк, узган гасыр башыннан ук кешеләр зурлыкны үлчәү һәм бәяләү өчен төрле ысуллар уйлап таптылар. компонентның җир асты зарарының оптик компонентка тәэсир итү режимы буенча аны ике категориягә бүлеп була: деструктив үлчәү һәм җимергеч булмаган үлчәү (деструктив булмаган тест).
Деструктив үлчәү ысулы, исеменнән күренгәнчә, оптик элементның өслек структурасын үзгәртергә кирәк, шулай итеп күзәтү җиңел булмаган җир асты зыянын ачыкларга, аннары микроскоп һәм башка коралларны кулланырга. үлчәү ысулы, бу ысул гадәттә күп вакыт ала, ләкин аның үлчәү нәтиҗәләре ышанычлы һәм төгәл. Деструктив булмаган үлчәү ысуллары, компонент өслегенә өстәмә зыян китермиләр, яктылык, тавыш яки башка электромагнит дулкыннарын кулланалар, һәм җир өстендәге зыян катламын табалар, һәм катламда булган милек үзгәрүләрен кулланалар. SSD, мондый ысуллар чагыштырмача уңайлы һәм тиз, ләкин гадәттә сыйфатлы күзәтү. Бу классификация буенча, җир өстендәге зыянны ачыклау ысуллары түбәндәге рәсемдә күрсәтелгән:
Subир асты зыянын ачыклау ысулларын классификацияләү һәм кыскача мәгълүмат
Бу үлчәү ысулларының кыскача тасвирламасы:
A. rимергеч ысуллар
а) бизәү ысулы
Магнитореологик бизәү барлыкка килгәнче, оптик эшчеләр, гадәттә, оптик компонентларның суб-өске зыянын анализлау өчен, ягъни оптик өслекне облигация почмагы буенча кисеп, эчке өслекне формалаштыру өчен, аннары облиц өслеген бизәү өчен кулланалар. Гомумән алганда, полировка җир асты зыянын көчәйтмәячәк дип санала. SSD катламының ярыклары химик реагентлар белән чумдыру коррозиясе аша ачыкланачак. Subир өстендәге зыян катламының тирәнлеге, озынлыгы һәм бүтән мәгълүматлары чумганнан соң омтылган өслекне оптик күзәтү белән үлчәнергә мөмкин. Соңрак, галимнәр тупны сүндерү ысулын уйлап таптылар (шарны сүндерү), бу сферик полировка коралын кулланып, тартканнан соң, чокырны ыргытканнан соң, чокырның тирәнлеге мөмкин кадәр тирән булырга тиеш, анализ чокыр ягы җир өстендәге зыян турында мәгълүматны ала ала.
Оптик элементларның җир асты зыянын ачыклау өчен гомуми ысуллар
Магнитореологик полировка (МРФ) - оптик компонентларны чистарту өчен магнит сыеклык полосасын кулланган техника, ул традицион асфальт / полиуретан полировкасыннан аерылып тора. Традицион бизәү ысулында, полировка коралы гадәттә оптик өслектә зур нормаль көч куя, ә Полишинг әфәнде оптик өслекне тангеналь юнәлештә алып ташлый, шуңа күрә Полишинг әфәнде оптик өслекнең төп асты зыянын үзгәртми. Шуңа күрә, Полишинг әфәнде оптик өслектә трюкны чистарту өчен кулланылырга мөмкин. Аннары оригиналь оптик өслекнең җир асты зыянының күләмен бәяләү өчен полировка өлкәсе анализлана.
а) ябыштыру ысулын блоклау
Бу ысул шулай ук җир асты зыянын сынау өчен кулланылган. Чынлыкта, бер үк форма һәм материал белән квадрат үрнәкне сайлагыз, үрнәкнең ике өслеген чистартыгыз, аннары үрнәкнең ике бизәлгән өслеген ябыштыру өчен ябыштыргыч кулланыгыз, аннары ике үрнәкнең якларын бер үк вакытта тарттырыгыз. вакыт. Тегермәннән соң, ике квадрат үрнәкне аеру өчен химик реагентлар кулланыла. Тегермән этаплары аркасында китерелгән җир асты зыянының зурлыгын микроскоп ярдәмендә аерылган балкып торган өслекне күзәтеп бәяләргә мөмкин. Методның схематик схемасы түбәндәгечә:
Блок ябыштыргыч ысулы белән җир асты зыянын ачыклауның схематик схемасы
Бу ысулның кайбер чикләүләре бар. Ябыштырылган өслек булганга, ябыштырылган өслекнең торышы, тартканнан соң материал эчендәге җир асты зыянын тулысынча чагылдыра алмый, шуңа күрә үлчәү нәтиҗәләре билгеле бер дәрәҗәдә SSD ситуациясен чагылдыра ала.
а) Химик эфир
Бу ысул оптик өслекнең бозылган катламын эретү өчен тиешле химик агентлар куллана. Эрозия процессы тәмамланганнан соң, җир асты формасы һәм компонент өслегенең тупаслыгы һәм эрозия темпының индекс үзгәрүе белән бәяләнә. Гадәттә кулланыла торган химик реагентлар - гидрофлор кислотасы (HF), аммиак водород фторы (NH4HF) һәм башка коррозив матдәләр.
б) кисемтә ысулы
Ampleрнәк бүленде һәм сканерлау электрон микроскопы җир асты зыянының күләмен турыдан-туры күзәтү өчен кулланыла.
в) буяуны импреграцияләү ысулы
Optирнең оптик элементының өслек катламында күп санлы микрокреклар булганлыктан, оптик субстрат белән төс контрастын яки субстрат белән контраст ясый алган буяулар материалга басылырга мөмкин. Әгәр субстрат кара материалдан булса, флуоресцент буяулар кулланырга мөмкин. Соңыннан оптик яки электрон рәвештә җиңел тикшерелергә мөмкин. Ярыклар гадәттә бик яхшы һәм материал эчендә, буяуның үтеп керү тирәнлеге җитмәгәндә, ул микрокрекның чын тирәнлеген күрсәтә алмый. Ярык тирәнлеген мөмкин кадәр төгәлрәк алу өчен, буяуларны импрегинацияләү өчен берничә ысул тәкъдим ителде: механик препресс һәм салкын изостатик басу, һәм бик аз концентрацияләрдә буяу эзләрен ачыклау өчен электрон тикшерү микроанализы (EPMA) куллану.
В, җимергеч булмаган ысуллар
а) бәяләү ысулы
Бәяләү ысулы, нигездә, абразив материалның кисәкчәләр зурлыгына һәм компонентның өслек тупаслыгы күләменә карап, җир өстендәге зыянның тирәнлеген бәяли. Тикшерүчеләр абразив материалның кисәкчәләр зурлыгы белән җир асты зарарының тирәнлеге арасындагы бәйләнешне, шулай ук компонентның өслеге тупаслыгы белән суб-таблицаның туры килүен ачыклау өчен күп санлы сынаулар кулланалар. өслеккә зыян. Хәзерге компонент өслегенең җир асты зыянын аларның корреспонденцияләрен кулланып бәяләргә мөмкин.
б) Оптик килешү томографиясе (ОКТ)
Оптик килешү томографиясе, аның төп принцибы - Мишельсон интерфейсы, үлчәнгән мәгълүматны ике яктылык интерфейс сигналлары аша бәяли. Бу ысул гадәттә биологик тукымаларны күзәтү һәм тукыманың җир асты төзелешенең кроссекцион томографиясен бирү өчен кулланыла. ОКТ техникасы оптик өслекнең җир асты зыянын күзәтү өчен кулланылганда, чыннан да ярак тирәнлеген алу өчен үлчәнгән үрнәкнең реактив индекс параметры каралырга тиеш. Билгеле булганча, метод 500μm тирәнлектә, вертикаль резолюциясе 20μмнан яхшырак. Ләкин, оптик материалларны SSD ачыклау өчен кулланылганда, SSD катламыннан чагылган яктылык чагыштырмача зәгыйфь, шуңа күрә комачаулык формалаштыру кыен. Моннан тыш, өслекнең таралуы үлчәү нәтиҗәләренә дә тәэсир итәчәк, һәм үлчәү төгәллеген яхшыртырга кирәк.
в) Лазер тарату ысулы
Фотометрик өслектә лазер нурлары, җир асты зыянының зурлыгын бәяләү өчен лазерның таралу үзлекләрен кулланып, киң өйрәнелгән. Гадәттәгечә гомуми эчке рефекция микроскопиясе (TIRM), Конфокаль лазер сканерлау микроскопиясе (CLSM), һәм поляризация конокаль микроскопия (CPCM) кисешкән. поляризация конфокаль микроскопия һ.б.
г) акустик микроскопны сканерлау
Акустик микроскопияне (SAM) сканерлау, ультратавышны ачыклау ысулы буларак, җимергеч булмаган сынау ысулы, ул эчке кимчелекләрне ачыклау өчен киң кулланыла. Бу ысул гадәттә шома өслекләр белән үрнәкләрне үлчәү өчен кулланыла. Ampleрнәкнең өслеге бик тупас булганда, чәчелгән дулкыннар тәэсире аркасында үлчәү төгәллеге кимиячәк.
3 subир асты зыянын контрольдә тоту ысуллары
Бу безнең төп максат - оптик компонентларның җир асты зыянын эффектив контрольдә тоту һәм SSDSны тулысынча бетерүче компонентлар алу. Гадәттәгечә, җир өстендәге зыянның тирәнлеге абразив кисәкчәләр зурлыгына пропорциональ, абразив кисәкчәләрнең зурлыгы кечерәк булса, җир асты зыяннары түбәнрәк, шуңа күрә, тарту гранулитасын киметеп, тулысынча тарту, сез җир өстендәге зыян дәрәҗәсен эффектив рәвештә яхшырта аласыз. Этапларда җир өстендәге зыянны контрольдә тоту схемасы түбәндәге рәсемдә күрсәтелгән:
Subир асты зарарлары этапларда контрольдә тотыла
Тегермәннең беренче этабы буш өслектәге җир асты зыянын тулысынча бетерәчәк һәм бу этапта яңа җир асты җирен чыгарачак, аннары икенче этапта тарту өчен, беренче этапта барлыкка килгән SSD-ны бетерергә һәм яңа җир асты зыянын китерергә кирәк. тагын, үз чиратында эшкәртү, һәм абразивның кисәкчәләренең зурлыгын һәм чисталыгын контрольдә тоту, һәм ниһаять көтелгән оптик өслекне алу. Бу шулай ук йөзләгән еллар дәвамында оптик җитештерү эшкәртү стратегиясе.
Моннан тыш, тарту процессыннан соң, компонентның өслеген сайлау җир асты зыянын эффектив рәвештә бетерә ала, шуның белән өслекнең сыйфатын яхшырта һәм эшкәртү эффективлыгын күтәрә.
Контакт:
Email:jasmine@pliroptics.com ;
Телефон / Ватсап / Вечат: 86 19013265659
веб ：www.pliroptics.com
Кушу: 1 нче бина, 51558, разведка юлы, ingинбайҗян, Ченгду, Сичуан, Китай
Пост вакыты: 18-2024 апрель
