1 Performance paramita lẹhin ti a bo
Ninu nkan ti tẹlẹ, a ṣafihan awọn iṣẹ, awọn ipilẹ, sọfitiwia apẹrẹ ati awọn ilana iṣipopada ti o wọpọ ti awọn fiimu tinrin opiti. Ninu nkan yii, a ṣafihan idanwo ti awọn paramita ti a bo lẹhin. Awọn paramita iṣẹ ti dada ti paati lẹhin ti a bo pẹlu Gbigbe (Transmittance), Reflectance (R), Absorptance (A), bbl Ni afikun, gbigba (Transmittance) ati bẹbẹ lọ. Ẹya ti o tuka S (Scatter) ti oju fiimu tun nilo lati ni idanwo ati itupalẹ.
Gbigbe T jẹ ipin ti ina kikankikan ti o kọja nipasẹ fiimu si agbara ina isẹlẹ naa. Ifarabalẹ R jẹ ipin ti agbara kikankikan ti o han nipasẹ oju ti a bo si agbara isẹlẹ naa. Gbigba A jẹ ipin ti agbara ina ti o gba nipasẹ ipele fiimu si agbara ina isẹlẹ naa. Fun awọn paramita mẹta wọnyi, awọn ibatan wọnyi wa:
T + R + A = 1
Iyẹn ni, apao ti gbigbe, ifarabalẹ ati gbigba ti Layer fiimu jẹ igbagbogbo 1. Eyi tumọ si pe lẹhin ti ina ina ti o kọja nipasẹ awo ilu, apakan ti o kọja, apakan rẹ ti han, ati iyokù ti wa ni gba nipasẹ awọn awo ilu.
Lori awọnopitika paatiyiya, awọn gbigbe tabi reflectivity ti awọn fiimu dada ni a maa n beere, ati awọn julọ.Oniranran ibiti o ati isẹlẹ Angle labẹ awọn ohun elo ipinle nilo lati wa ni telẹ kedere. Ti o ba tun nilo polarization, ibiti awọn ipinlẹ polarization nilo lati ni asọye ni kedere. Gẹgẹbi apẹẹrẹ, awọn ibeere ti a bo ni nọmba ti o wa ni isalẹ ni pe ni 770nm, ifarabalẹ nilo ko kere ju 88% ni iṣẹlẹ iwọn 45, ati ni 550nm, gbigbe nilo ko kere ju 70% ni iṣẹlẹ iṣẹlẹ 45.
Ni afikun si awọn ohun-ini opitika ti o wa loke, awọn ohun-ini ẹrọ ati awọn ohun-ini kemikali ti Layer fiimu opiti tun nilo lati gbero, pẹlu atako yiya, iduroṣinṣin, solubility ti Layer fiimu naa. Ni afikun, didara dada opiti lẹhin ibora tun nilo lati gbero, pẹlu awọn ibeere fun pitting, scratches, dọti, awọn abawọn, abbl.
2 Ilana ti spectrophotometer
Ninu iwe yii, a dojukọ awọn ohun-ini opiti ti awọn ọna idanwo fiimu lati ṣafihan, ni iṣe, Spectrophotometer akọkọ (Spectrophotometer) ati Ellipsometer (Ellipsometer) lati ṣe idanwo awọn aye fiimu, spectrophotometer le ṣe idanwo gbigbe, afihan ati awọn abuda gbigba ti opitika. awọn ọja. Awọn ellipsometer le wiwọn awọn sisanra ati polarization abuda ti fiimu Layer, ati awọn opo ti awọn mejeeji ni iru.
Ilana ti iru ẹrọ bẹẹ le pin si awọn ẹya meji ti ikanni iran ina ati ikanni gbigba ina, nigbati gbigbe ti paati nilo lati ni idanwo, a gbe paati naa si aarin awọn ikanni meji, nitorinaa tan ina naa. gba nipasẹ awọn ayẹwo, nigbati awọn reflectivity ti awọn paati nilo lati wa ni idanwo, awọn paati ti wa ni gbe lori kanna ẹgbẹ ti awọn ikanni meji, ki awọn tan ina ti wa ni afihan nipasẹ awọn ayẹwo. Gẹgẹbi apẹẹrẹ, ipilẹ ti spectrophotometer lati wiwọn gbigbe ti ayẹwo ni a fihan ni nọmba atẹle:
Ni aworan ti o wa loke, opin osi ni ikanni iran tan ina, ni lilo orisun ina ti o pọju lati tan ina, ati lẹhinna nipasẹ pipin ti grating ati yiyan ti slit, ti o jade ni iwọn gigun ti ina kan pato, tan ina naa kọja nipasẹ. awọn collimator 1, di a collimated tan ina, ati ki o si koja nipasẹ awọn polarizer ti o le n yi awọn Angle, di a polarized ina, ati awọn polarized ina ti pin si 2 nibiti nipasẹ awọn spectroscope lẹhin collimator 2 ti wa ni jọ. Imọlẹ ina kan ṣe afihan sinu aṣawari itọkasi, nibiti a ti lo ina ina ti a gba bi itọkasi lati ṣe atunṣe fifẹ agbara nitori awọn iyipada ti orisun ina, ati ina ina miiran ti o kọja nipasẹ apẹẹrẹ, ti wa ni atunṣe nipasẹ collimator 3 ati collimator. 4, ati ki o wọ inu aṣawari ni apa ọtun ọtun ti idanwo naa. Ninu idanwo gangan, awọn iye agbara meji ni a gba nipasẹ fifi sinu ati mu ayẹwo idanwo naa, ati gbigbejade ti ayẹwo le ṣee gba nipasẹ ifiwera agbara naa.
Ilana ti ellipsometer jẹ iru si ipilẹ ti spectrophotometer ti o wa loke, ayafi ti a fi kun awo igbi igbi 1/4 ti o yiyi gẹgẹbi ẹya isanpada ninu ikanni fifiranṣẹ tan ina ati ikanni gbigba, ati pe a tun ṣafikun polarizer ni ikanni gbigba. , ki awọn abuda polarization ti apẹẹrẹ le ṣe itupalẹ diẹ sii ni irọrun. Ni awọn igba miiran, ellipsometer yoo tun lo taara orisun ina ti o gbooro, ati gba slit ati splitter spectrometer ni opin gbigba, ni idapo pẹlu aṣawari orun laini, lati ṣaṣeyọri idanwo iṣẹ ti paati naa.
3. Idanwo ti gbigbe
Ninu idanwo gbigbe, lati yago fun afihan ti aṣawari ti o ngba ina ina, aaye isọpọ nigbagbogbo ni a lo bi olugba, ipilẹ naa han bi atẹle:
Gẹgẹbi a ti le rii lati inu eeya ti o wa loke, aaye isọpọ jẹ aaye iho ti a bo pẹlu ohun elo ti o tan kaakiri funfun lori ogiri inu, ati pe iho window kan wa lori ogiri bọọlu, eyiti a lo bi iho ina ti ina isẹlẹ naa. ati iho gbigba ti oluwari ina. Ni ọna yii, ina ti nwọle si aaye isọpọ jẹ afihan ni ọpọlọpọ igba nipasẹ ideri ogiri ti inu, ti o n ṣe itanna aṣọ kan lori ogiri inu, ati pe o gba nipasẹ oluwari.
Bi apẹẹrẹ, awọn be ti a ẹrọ ti a lo lati se idanwo awọn transmittance ti ẹya opitika awo han ni isalẹ
Ni aworan ti o wa loke, a gbe ayẹwo idanwo sori tabili atunṣe ti o le yipada ni awọn itọnisọna x ati y. Gbigbe ti ayẹwo le ṣe idanwo ni eyikeyi ipo nipasẹ iṣakoso kọnputa ti tabili atunṣe. Pinpin gbigbe ti gbogbo gilasi alapin tun le gba nipasẹ idanwo ọlọjẹ, ati ipinnu idanwo naa da lori iwọn iranran ti tan ina naa.
4. Reflectivity igbeyewo
Fun wiwọn ti afihan fiimu opiti, awọn ọna meji nigbagbogbo wa, ọkan jẹ wiwọn ibatan ati ekeji jẹ wiwọn pipe. Ọna wiwọn ojulumo nilo olufihan kan pẹlu irisi ti a mọ lati ṣee lo bi itọkasi fun idanwo lafiwe. Ni iṣe, ifarabalẹ ti digi itọkasi nilo lati ṣe iwọn deede pẹlu ti ogbo tabi idoti ti Layer fiimu naa. Nitorinaa, ọna yii ni awọn aṣiṣe wiwọn ti o pọju. Ọna ti wiwọn ifasilẹ pipe nilo isọdiwọn ti ifasilẹ ti ẹrọ idanwo laisi gbigbe apẹẹrẹ. Ninu nọmba ti o wa ni isalẹ, eto ti ẹrọ VW Ayebaye ni a fun ni lati ṣaṣeyọri wiwọn pipe ti afihan ti apẹẹrẹ:
Nọmba ti osi ninu nọmba ti o wa loke fihan ẹya-ara V ti o ni awọn digi mẹta, M1, M2 ati M3. Ni akọkọ, iye kikankikan ina ni ipo yii ni idanwo ati gbasilẹ bi P1. Lẹhinna, ni nọmba ti o tọ, ayẹwo ti o wa labẹ idanwo ni a fi sinu, ati digi M2 ti yiyi si ipo ti o ga julọ lati ṣe agbekalẹ apẹrẹ ti W. Awọn idi reflectivity ti awọn won ayẹwo le ti wa ni gba. Ẹrọ yii tun le ni ilọsiwaju, fun apẹẹrẹ, apẹẹrẹ ti o wa labẹ idanwo tun ni ipese pẹlu tabili yiyi ti ominira, ki apẹẹrẹ ti o wa labẹ idanwo le yiyi si eyikeyi igun, nipa yiyi digi M2 si ipo iṣaro ti o baamu, lati ṣaṣeyọri tan ina wu, ki awọn reflectivity ti awọn ayẹwo le ti wa ni idanwo ni ọpọ awọn agbekale.
Gẹgẹbi apẹẹrẹ, eto ẹrọ ti a lo lati ṣe idanwo iṣipaya ti awo opiti kan ni a fihan ni isalẹ:
Ninu nọmba ti o wa loke, a gbe ayẹwo idanwo naa sori tabili atunṣe itumọ x / y, ati pe a le ṣe idanwo ifarabalẹ ti ayẹwo ni eyikeyi ipo nipasẹ iṣakoso kọnputa ti tabili atunṣe. Nipasẹ idanwo ọlọjẹ, maapu pinpin afihan ti gbogbo gilasi alapin le tun gba.
Olubasọrọ:
Email:jasmine@pliroptics.com ;
Foonu/Whatsapp/Wechat:86 19013265659
ayelujara: www.pliroptics.com
Ṣafikun: Ilé 1, No.1558, opopona oye, qingbaijiang, chengdu, sichuan, china
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹrin Ọjọ 23-2024
