Awọn ilana fiimu tinrin opitika, sọfitiwia apẹrẹ ati imọ-ẹrọ ti a bo

1 Awọn ilana ti awọn fiimu opitika

asd-15
asd-26

Ninu nkan yii, a yoo ṣafihan awọn ipilẹ ti awọn fiimu tinrin opiti, sọfitiwia apẹrẹ ti a lo nigbagbogbo ati imọ-ẹrọ ibori.

Ilana ipilẹ ti idi ti awọn fiimu opiti le ṣaṣeyọri awọn iṣẹ alailẹgbẹ bii ifasilẹ-itumọ, iṣaro giga tabi pipin ina jẹ kikọlu fiimu tinrin ti ina. Tinrin fiimu ti wa ni maa kq ti ọkan tabi diẹ ẹ sii awọn ẹgbẹ ti ga refractive Atọka awọn ohun elo fẹlẹfẹlẹ ati kekere refractive Ìwé fẹlẹfẹlẹ miiran superimposed. Awọn ohun elo Layer fiimu jẹ gbogbo awọn oxides, awọn irin tabi awọn fluorides. Nipa ṣeto nọmba naa, sisanra ati awọn ipele fiimu ti o yatọ si fiimu naa, Iyatọ ti itọka ifasilẹ laarin awọn ipele le ṣe atunṣe kikọlu ti awọn ina ina laarin awọn ipele fiimu lati gba awọn iṣẹ ti a beere.

Jẹ ki a mu atako-irohin ti o wọpọ bi apẹẹrẹ lati ṣe apejuwe iṣẹlẹ yii. Ni ibere lati mu iwọn tabi din kikọlu, awọn opitika sisanra ti awọn ti a bo Layer jẹ nigbagbogbo 1/4 (QWOT) tabi 1/2 (HWOT). Ninu aworan ti o wa ni isalẹ, atọka itọka ti alabọde isẹlẹ jẹ n0, ati atọka itọka ti sobusitireti jẹ ns. Nitorina, aworan ti itọka ifasilẹ ti ohun elo fiimu ti o le gbe awọn ipo ifagile kikọlu le ṣe iṣiro. Imọlẹ ina ti o ṣe afihan nipasẹ oke oke ti fiimu fiimu jẹ R1, Imọlẹ ina ti o ṣe afihan nipasẹ isalẹ ti fiimu jẹ R2. Nigbati sisanra opiti ti fiimu naa jẹ iwọn gigun 1/4, iyatọ ọna opopona laarin R1 ati R2 jẹ iwọn gigun 1/2, ati awọn ipo kikọlu ti pade, nitorinaa n ṣe kikọlu kikọlu iparun. Iṣẹlẹ.

asd (3)

Ni ọna yii, kikankikan ti tan ina ti o ṣe afihan di kekere pupọ, nitorinaa iyọrisi idi ti iṣipopada.

2 Optical tinrin film oniru software

Lati le dẹrọ awọn onimọ-ẹrọ lati ṣe apẹrẹ awọn eto fiimu ti o pade ọpọlọpọ awọn iṣẹ kan pato, sọfitiwia apẹrẹ fiimu tinrin ti ni idagbasoke. Sọfitiwia apẹrẹ ṣepọ awọn ohun elo ibora ti o wọpọ ati awọn aye wọn, kikopa Layer fiimu ati awọn algoridimu ti o dara ju ati awọn iṣẹ itupalẹ, ṣiṣe ki o rọrun fun awọn onimọ-ẹrọ lati dagbasoke ati itupalẹ. Orisirisi film awọn ọna šiše. Sọfitiwia apẹrẹ fiimu ti o wọpọ lo jẹ bi atẹle:

A.TFCalc

TFcalc jẹ ohun elo gbogbo agbaye fun apẹrẹ fiimu tinrin opiti ati itupalẹ. O le ṣee lo lati ṣe apẹrẹ ọpọlọpọ awọn oriṣi ti egboogi-iṣaro, irisi giga, bandpass, spectroscopic, alakoso ati awọn eto fiimu miiran. TFcalc le ṣe apẹrẹ eto fiimu ti o ni ilọpo meji lori sobusitireti, pẹlu to awọn ipele fiimu 5,000 lori oju kan. O ṣe atilẹyin igbewọle ti awọn agbekalẹ akopọ fiimu ati pe o le ṣe adaṣe ọpọlọpọ awọn oriṣi ina: gẹgẹbi awọn ina konu, awọn ina itanjẹ laileto, ati bẹbẹ lọ. reflectivity, transmittance, absorbance, alakoso, ellipsometry paramita ati awọn miiran afojusun ti awọn fiimu eto. Sọfitiwia naa ṣepọ awọn iṣẹ itupalẹ lọpọlọpọ, gẹgẹ bi ifarabalẹ, gbigbe, gbigba, itupalẹ paramita ellipsometry, ọna kika kaakiri aaye ina, irisi eto fiimu ati itupalẹ awọ gbigbe, iṣiro iṣakoso gara, ifarada Layer fiimu ati itupalẹ ifamọ, itupalẹ ikore, ati bẹbẹ lọ. Ni wiwo iṣiṣẹ ti TFcalc jẹ bi atẹle:

asd (4)

Ni wiwo iṣiṣẹ ti o han loke, nipasẹ titẹ sii awọn paramita ati awọn ipo aala ati iṣapeye, o le gba eto fiimu ti o pade awọn iwulo rẹ. Awọn isẹ ti jẹ jo o rọrun ati ki o rọrun lati lo.

B. Macleod pataki

Macleod pataki jẹ itupalẹ fiimu opiti pipe ati package sọfitiwia apẹrẹ pẹlu wiwo iṣiṣẹ ọpọlọpọ iwe-aṣẹ otitọ. O le pade ọpọlọpọ awọn ibeere ni apẹrẹ ibori opiti, lati awọn fiimu ti o rọrun-Layer nikan si awọn fiimu iwoye ti o muna. , o tun le ṣe iṣiro pipin multiplexing wefulenti (WDM) ati ipon wefulenti pipin multiplexing (DWDM) Ajọ. O le ṣe apẹrẹ lati ibere tabi mu awọn aṣa to wa tẹlẹ, ati pe o le ṣe iwadii awọn aṣiṣe ninu apẹrẹ. O jẹ ọlọrọ ni awọn iṣẹ ati agbara.

Ni wiwo apẹrẹ ti sọfitiwia naa han ni aworan ni isalẹ:

asd (5)

C. OptiLayer

Sọfitiwia OptiLayer ṣe atilẹyin fun gbogbo ilana ti awọn fiimu tinrin opiti: awọn paramita - apẹrẹ - iṣelọpọ - itupalẹ inversion. O pẹlu awọn ẹya mẹta: OptiLayer, OptiChar, ati OptiRE. Wa ti tun OptiReOpt ìmúdàgba ọna asopọ ìkàwé (DLL) ti o le mu awọn iṣẹ ti awọn software.

OptiLayer ṣe ayẹwo iṣẹ igbelewọn lati apẹrẹ si ibi-afẹde, ṣaṣeyọri ibi-afẹde apẹrẹ nipasẹ iṣapeye, ati ṣe itupalẹ aṣiṣe iṣelọpọ iṣaaju. OptiChar ṣe ayẹwo iṣẹ iyatọ laarin awọn abuda ohun elo ohun elo Layer ati awọn abuda iwoye ti o wa labẹ ọpọlọpọ awọn ifosiwewe pataki ni ilana fiimu tinrin, ati gba awoṣe ohun elo Layer ti o dara julọ ati ojulowo ati ipa ti ifosiwewe kọọkan lori apẹrẹ lọwọlọwọ, n tọka si lilo Kini Kini awọn okunfa nilo lati ṣe akiyesi nigbati o ṣe apẹrẹ awọn ohun elo yii? OptiRE ṣe idanwo awọn abuda iwoye ti awoṣe apẹrẹ ati awọn abuda iwoye ti awoṣe ti a ṣe iwọn idanwo lẹhin iṣelọpọ. Nipasẹ iyipada imọ-ẹrọ, a gba diẹ ninu awọn aṣiṣe ti ipilẹṣẹ lakoko iṣelọpọ ati ifunni wọn pada si ilana iṣelọpọ lati ṣe itọsọna iṣelọpọ. Awọn modulu ti o wa loke le ni asopọ nipasẹ iṣẹ ile-ikawe ọna asopọ ti o ni agbara, nitorinaa riri awọn iṣẹ bii apẹrẹ, iyipada ati ibojuwo akoko gidi ni lẹsẹsẹ awọn ilana lati apẹrẹ fiimu si iṣelọpọ.

3 Imọ-ẹrọ ibora

Gẹgẹbi awọn ọna fifin oriṣiriṣi, o le pin si awọn ẹka meji: imọ-ẹrọ ti a bo kemikali ati imọ-ẹrọ ibora ti ara. Imọ-ẹrọ ti a bo kemikali ti pin ni akọkọ si fifin immersion ati fifin sokiri. Imọ-ẹrọ yii jẹ idoti diẹ sii ati pe ko ni iṣẹ fiimu ti ko dara. O ti wa ni rọpọ rọpo nipasẹ iran tuntun ti imọ-ẹrọ ibora ti ara. Ti a bo ti ara ti wa ni ti gbe jade nipa igbale evaporation, ion plating, ati be be lo Vacuum Bora jẹ ọna kan ti evaporating (tabi sputtering) awọn irin, agbo ati awọn miiran fiimu awọn ohun elo ni a igbale lati fi wọn lori sobusitireti lati wa ni ti a bo. Ni agbegbe igbale, ohun elo ti a bo ni awọn idoti ti o dinku, eyiti o le ṣe idiwọ ifoyina ti dada ohun elo ati ṣe iranlọwọ rii daju isokan irisi ati sisanra ti fiimu naa, nitorinaa o lo pupọ.

Labẹ awọn ipo deede, titẹ oju aye 1 jẹ nipa 10 si agbara ti 5 Pa, ati titẹ afẹfẹ ti o nilo fun ideri igbale jẹ gbogbo 10 si agbara ti 3 Pa ati loke, eyiti o jẹ ti ibora igbale giga. Ninu ibora igbale, oju ti awọn paati opiti nilo lati jẹ mimọ pupọ, nitorinaa iyẹwu igbale lakoko sisẹ tun nilo lati jẹ mimọ pupọ. Lọwọlọwọ, ọna lati gba agbegbe igbale mimọ ni gbogbogbo lati lo igbale. Awọn ifasoke kaakiri epo, fifa molikula tabi fifa fifa ni a lo lati yọ igbale kuro ati gba agbegbe igbale giga. Awọn ifasoke kaakiri epo nilo omi itutu ati fifa fifalẹ. Wọn tobi ni iwọn ati ki o jẹ agbara giga, eyi ti yoo fa idoti si ilana ti a bo. Awọn ifasoke molikula nigbagbogbo nilo fifa fifalẹ lati ṣe iranlọwọ ninu iṣẹ wọn ati pe o jẹ gbowolori. Ni idakeji, awọn ifasoke afẹfẹ ko fa idoti. , ko nilo fifa afẹyinti, ni ṣiṣe giga ati igbẹkẹle ti o dara, nitorina o dara julọ fun ideri igbale opitika. Iyẹwu inu ti ẹrọ ti a bo igbale ti o wọpọ ni a fihan ni aworan ni isalẹ:

Ninu ibora igbale, ohun elo fiimu gbọdọ jẹ kikan si ipo gaseous ati lẹhinna fi silẹ sori dada ti sobusitireti lati ṣe fẹlẹfẹlẹ fiimu kan. Gẹgẹbi awọn ọna fifin oriṣiriṣi, o le pin si awọn oriṣi mẹta: alapapo evaporation gbona, alapapo sputtering ati ion plating.

Alapapo igbona igbona nigbagbogbo nlo okun waya resistance tabi fifa irọbi giga-igbohunsafẹfẹ lati ṣe igbona crucible, ki ohun elo fiimu ti o wa ninu crucible jẹ kikan ati vaporized lati fẹlẹfẹlẹ kan ti a bo.

Alapapo sputtering ti pin si meji orisi: Ion tan ina sputtering alapapo ati magnetron sputtering alapapo. Ion tan ina sputtering alapapo nlo ohun ion ibon lati emit ohun ion tan ina. Tan ina ion ṣe bombard ibi-afẹde ni igun isẹlẹ kan ti o si sputers jade Layer dada rẹ. awọn ọta, eyi ti o fi sori dada ti sobusitireti lati ṣe fiimu tinrin. Aila-nfani akọkọ ti ion beam sputtering ni pe agbegbe ti bombarded lori dada ibi-afẹde ti kere ju ati pe oṣuwọn ifisilẹ jẹ kekere. Alapapo sputtering Magnetron tumọ si pe awọn elekitironi yara si ọna sobusitireti labẹ iṣẹ ti aaye ina. Lakoko ilana yii, awọn elekitironi kọlu pẹlu awọn ọta gaasi argon, ionizing nọmba nla ti awọn ions argon ati awọn elekitironi. Awọn elekitironi fo si ọna sobusitireti, ati awọn ions argon jẹ kikan nipasẹ aaye ina. Ibi-afẹde naa ni isare ati bombard labẹ iṣe ti ibi-afẹde, ati awọn ọta ibi-afẹde didoju ninu ibi-afẹde naa ni a gbe sori sobusitireti lati ṣe fiimu kan. Magnetron sputtering jẹ ijuwe nipasẹ iwọn iṣelọpọ fiimu giga, iwọn otutu sobusitireti kekere, ifaramọ fiimu ti o dara, ati pe o le ṣaṣeyọri ibora agbegbe nla.

Ion plating tọka si ọna ti o nlo itujade gaasi lati jẹ ki gaasi ionize ni apakan tabi awọn nkan ti o yọ kuro, ati awọn idogo awọn nkan ti a gbe jade lori sobusitireti labẹ bombu ti awọn ions gaasi tabi awọn ions nkan ti a gbe kuro. Ion plating jẹ apapo igbale evaporation ati imọ-ẹrọ sputtering. O daapọ awọn anfani ti evaporation ati sputtering lakọkọ ati ki o le ndan workpieces pẹlu eka fiimu awọn ọna šiše.

4 Ipari

Ninu nkan yii, a kọkọ ṣafihan awọn ipilẹ ipilẹ ti awọn fiimu opiti. Nipa ṣeto nọmba ati sisanra ti fiimu naa ati iyatọ ninu itọka ifasilẹ laarin awọn ipele fiimu ti o yatọ, a le ṣaṣeyọri kikọlu ti awọn ina ina laarin awọn ipele fiimu, nitorinaa gbigba iṣẹ Layer Film ti a beere. Nkan yii lẹhinna ṣafihan sọfitiwia apẹrẹ fiimu ti o wọpọ lati fun gbogbo eniyan ni oye alakoko ti apẹrẹ fiimu. Ni apakan kẹta ti nkan naa, a fun ni ifihan alaye si imọ-ẹrọ ti a bo, ni idojukọ lori imọ-ẹrọ ibora igbale ti o lo pupọ ni iṣe. Mo gbagbọ pe nipasẹ kika nkan yii, gbogbo eniyan yoo ni oye ti o dara julọ ti ibora opiti. Ninu nkan ti o tẹle, a yoo pin ọna idanwo ibora ti awọn paati ti a bo, nitorinaa duro aifwy.

Olubasọrọ:

Email:info@pliroptics.com ;

Foonu/Whatsapp/Wechat:86 19013265659

ayelujara:www.pliroptics.com

Ṣafikun: Ilé 1, No.1558, opopona oye, qingbaijiang, chengdu, sichuan, china


Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹrin Ọjọ 10-2024